N-510KHFS 高刚性NEXLINE®Z向位移台

高精度定位,带电容式传感器

PI N-510KHFS
闭环分辨率达2纳米
自锁,静止状态下无热量产生
混合压电驱动器可实现高刚性、长行程和快速响应
行程为400微米(粗)或40微米(精)
直接计量:带电容式传感器的单个控制回路
无磨损压电陶瓷步进驱动器,PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

规格

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数据表N-510KHFS

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N-510KHFS
混合Z向位移台,NEXLINE®和PICMA®直接驱动器,440微米,分辨率为2纳米

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数据表

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