带母体位置测量和闭环控制的混合概念

压电陶瓷和电机用于实现纳米精度

  • 压电陶瓷柔性铰链驱动器和直流伺服/滚珠螺杆驱动器的同步控制
  • 纳米范围内的可重复性
  • 直接计量:分辨率为2nm的线性编码器
  • 纳米精度的设置时间达毫秒级
  • 无摩擦压电陶瓷驱动器和柔性铰链解耦滚珠螺杆
  • 接近时空回和粘-滑效应的有源补偿
  • 恒定高速
  • 最小能量需求/散热下较大的驱动和保持力

用于两种驱动器的一种控制

电机(蓝色)和配备单个高分辨率线性编码器(绿色)的压电陶瓷促动器(黄色)的常规闭环控制可实现极其恒定的速度和较高的定位精度。

粘-滑效应

到达位置或空回时,粘-滑效应可就此被补偿。两种运动系统的闭环控制使用相同的高分辨率位置传感器,结果是一个运动系统的行程为几百毫米,而精度相当于一个基于压电陶瓷的纳米定位器。 分辨率和定位精度取决于所选用的位置传感器。

解耦运动

混合驱动器中,移动平台通过一个高度刚性的压电陶瓷促动器以及无空回、无摩擦的柔性铰链接头从机动化的驱动装置中解耦。定位模式中,设置为几纳米仅需几微秒,且最小增量可在编码器分辨率范围内得到可靠实现。 动态操作中,通过在机动化驱动器的运动中补偿不规则行为,压电陶瓷促动器可保证非常恒定的速度。


应用

混合平台非常适用于要求高精度测量和返回某一位置的应用,或者表面检测计量学,从而以纳米级精度准确到达某一目标位置。

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