磁轴承

具有纳米路径保真度的有源导向

新视角

空气轴承解决方案和磁性线性电机目前代表了半导体工业检测与制造系统的最高技术水平。然而,随着对实现纳米级精度或者对真空或氮保护气氛中应用的要求越来越多,此类系统很快就达到了极限。 新的视角由高精度磁性直接驱动提供,因为它们在很大程度上避免使用机械部件:减少摩擦和空回,更精确!


磁悬浮的特点

磁悬浮确保平面在线性和旋转上均具有优秀的导向精度:被动杆悬浮在磁场上,且由磁场有源导向。序列误差通过非常精确的非接触式传感器测量和补偿。与空气轴承相反,这也是非常准确的,磁轴承也可用于真空。高精度定位系统的新展望:PIMag®6-D是针对具有磁性驱动和6-D传感器的平面定位系统的一项研究。该系统可检测和补偿与理想路径在全部六个运动轴上的偏差。 高精度定位系统的新展望:PIMag®6-D 是针对具有磁性驱动和6-D传感器的平面定位系统的一项研究。该系统可检测和补偿与理想路径在全部六个运动轴上的偏差。

询问工程师

通过电子邮件或电话从当地PI销售工程师处快速获取解答。

产品

尤其是就磨损和动态性来说,音圈促动器和磁性线性驱动器与基于主轴的普通技术相比优势明显。由于其使用的机械部件很少,摩擦和空回都较小,精度更高。