压电驱动技术比较

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PICMA® / PICAPiezoWalk®PILine®PIShiftPiezoMike
原理Piezo步进超声波惯性惯性
分辨率亚纳米亚纳米亚微米亚纳米20nm
速度-可达10mm/s高达几百mm/s大于10mm/s约0.2mm/s
几微秒范围的响应时间高动态扫描模式静音(非常高的工作频率)静音(非常高的工作频率)高稳定性
行程直接可达约300µm,带杠杆放大时为2mm 仅受转子长度限制仅受转子长度限制仅受转子长度限制可达约50mm
高达100kN高达800N(NEXLINE®)可达40N可达10N保持力>100N,进给力>20N
高刚度静止状态下自锁静止状态下自锁静止状态下自锁静止状态下自锁
多促动器驱动器产生步进运动Single-actuator drive单促动器驱动器单促动器驱动器
控制模式模拟电压高频交流电压(正弦)高频交流电压(修正锯齿)高频交流电压(修正锯齿)
电压范围150V(PICMA®),1100V(PICA®)55V(NEXACT®),500V(NEXLINE®)120V,200V,微型电机明显低于<48V至100V
非常适用于...高动态下的纳米精确定位纳米精确定位次微米精度定位纳米精度及长期稳定定位长期稳定定位
杠杆放大、带导向的系统保持力较大的准静态应用快速步进-趋稳保持力较大的准静态应用UHV环境
压电陶瓷扫描管行程高达几毫米高速扫描模式
微调粗调和微调恒定低速下的操作
力的产生力的产生
主动隔振主动隔振
恒定低速下的操作