PiezoWalk®压电电机

大进给力下的纳米精度

  • 不同转子长度导致不同行程
  • 分辨率达0.03纳米
  • 不工作时自锁,无热量产生
  • 无磁性和真空兼容工作原理
  • 三种技术:NEXLINE®、NEXACT®和PICMAWalk
  • 从OEM电机到多轴定位系统的集成度

PiezoWalk®驱动器是十多年前为半导体产业开发的。就可靠性、位置分辨率和长期稳定性而言,半导体产业是一个非常严苛的行业。2005年,PI的PiezoWalk®技术荣获SEMI技术创新奖。通过不断开发,此类驱动器目前衍生出了很多版本,可用于不同的应用领域。


步进驱动器的特点


三大技术实现更高灵活性

PICMAWalk

PICMAWalk驱动器可实现高达50牛的进给力和高达60牛的保持力。最大速度为15毫米/秒

PICMAWalk采用久经考验的PICMA®多层压电陶瓷促动器,意味着压电电压低至120伏。PICMA®压电陶瓷促动器还可确保较长的使用寿命和PICMAWalk技术杰出的稳定性

NEXLINE®

高负载步进驱动器将压电陶瓷夹紧和切变促动器相结合来移动一根杆。在几百牛的进给力下,此类驱动器具有极大的力和刚性。此类驱动器可以纳米级的分辨率在几微米的范围内动态补偿振荡,设计实现高达800牛的定位和夹持力,且可在较低速度下工作。

NEXACT®

精密步进驱动器通过压电陶瓷弯曲元件转换步进动作。这类驱动器更紧凑,可实现更高速度,产生10至20牛的力

压电陶瓷元件的恰当选择可为各应用优化步长、夹持力、速度和刚性。


PiezoWalk®直线电机的工作原理

作为主要零件,此类压电陶瓷步进驱动器包含几个压电陶瓷促动器,其上施加预载抵住导向转子。

这些压电陶瓷促动器运行时进行步进运动,将转子往前推进。压电陶瓷促动器可进行非常小的步进和进给运动,从而实现远小于1纳米的高运动分辨率。

PICMAWalk

NEXLINE®, NEXACT®


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专利

在压电陶瓷步进驱动器(PiezoWalk®、NEXACT®和NEXLINE®)技术领域,PI拥有以下专利或专利申请:

DE10148267B4
EP1267478B1
EP2209202B1
EP2209203B1
US6800984B2

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海报:PI压电电机技术

最佳解决方案选取指南
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