PIOne光学纳米编码器

高分辨率、线性度和紧凑的安装空间

  • 20皮米RMS及更好的分辨率
  • 紧凑尺寸23 mm×12 mm×5 mm
  • 正弦、余弦或正交信号的输出
  • 低功耗和低自发热
  • 光栅的精度等级150纳米/ 30厘米
  • 适用于高真空10-7帕,烘烤至80°C
  • 适用于移动范围> 1 mm
  • 最大分辨率时的速度高达0.8米/秒的
  • BiSS接口用于保证数据交换

PIOne线性编码器特点

小型且具有皮米级分辨率

由PI开发的PIOne高分辨率线性传感器保证小于1纳米的定位分辨率和充分测量分析。 PIOne线性编码器采用专利技术:PIOne的测量头部包括马赫-森德干涉仪,沿线性刻度移动。正弦信号和余弦信号通过网格反射的信号产生。额外的插补占据系统中很小部分的分辨率。传感器头部同时产生方向传感参考。传感器头部测量为23 x 12 x 9.5 mm。

20皮米分辨率

增量式传感器分辨率,即传感器头沿刻度的最小可测量位移,主要受传感器的信号周期的长度、处理电子的噪声和电子内插因子的信号的影响。 但内插因子的水平受信号噪声的限制,只能在一定范围内选择。出于这个原因,尽可能小的信号周期是优选的,即使具有较低的内插因子,也可具有较高的分辨率。 由于其0.5 µm的较小的信号周期优化的信号处理,PIOne传感器可实现20皮米及以上的分辨率。在这种情况下,插值因子可为4000,且没有噪音。

低于1%的线性偏差

0.5 µm的较小信号周期、等级优于150 nm/30 cm的精度和高质量的信号可使传感器的线性偏差仅为< 1%。PIOne的传感器头部包含Mach Zehnder干涉仪,其中光路是均衡和完全对称的。这允许环境的影响,如温度和湿度补偿。 使用的激光二极管以较低性能工作,以减少传感器头部的热量产生。为了最大程度地避免测量系统内部热量的产生,光路可通过PIOne传感器头部的光纤耦合。 由于PIOne传感器的信号可通过不同的PI控制器处理,因此传感器可被用于定位具有不同驱动技术的系统。


测量原理

集成的马赫-森德干涉仪

通过两个网格时,来自激光二极管的光束被分成两个光束路径时,随后再次统一到一个单一的光束。产生的干涉图案由光电二极管检测然后再进一步处理。

光纤可选光耦合

光源未集成在传感器头部,并通过光纤连接到传感器头部。这样最大限度地减少了传感器头部中的热量。

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