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动态数字线性化 实现高精度动态压电运动
PILine® 陶瓷伺服电机
并联运动机构,
六脚机器人Hexapods:
低惯量定位/对准
PICMA® 专利陶瓷外封多层压电元件:
更长寿命; 大工作温度范围;
零气体释放(可超高真空工作)
能量回收型 超高功率压电放大器;
最大功率2000W
InputShaping®,
消除自激振动
主动轨迹控制,
提供亚纳米平面度
/ 直线度运动
并行位置测量 提高多轴系统精度
音圈扫描台 大行程高速扫描
纳米自动化®
更快达到纳米精度!
复杂控制技术.
超薄型P540系列 纳米定位台
闭环 压电板条促动器.
PI新发明.
剪切压电促动器 微型多轴运动
PI/NI
运动控制接口 兼容 NI 运动控制器的PI微米定位系统控制解决方案
无外封压电堆
(PICA™) 50多种型号
PicoCube™
闭环 压电扫描器
用于AFM, SPM
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