A-322 带空气轴承的PIglideHS平面扫描仪
分辨率为1纳米的XY定位系统
- 扫描应用的完美选择或精密定位
- 无尘室兼容
- 行程达500毫米 × 1000毫米
- 负载容量达245牛
- 分辨率达1纳米
- 速度高达2毫米/秒
PIglide参考级XY定位系统
PIglide HS平面扫描仪带多个磁性线性电机和一个绝对编码器,并采用真空预载:非接触式无摩擦运动可实现较高精度和可靠性。
该定位系统旨在较大程度地提高产出并确保较高精度。桥轴至龙门轴的挠性联轴器可实现侧向解耦,不会牺牲系统的刚性。
A-322与业界主导的ACS控制器和驱动模块相结合,可提供优异的伺服性能、先进控制算法,从而提高动态性能和误差补偿,并改善一整套软件开发工具。
A-322系列是实现进一步改型的出发点。我们已经开发并测试了关键的核心组件(例如线性电机、测量系统和空气轴承总成),同时验证了其功能。根据客户的应用和要求,A-322系列的变体为量身定制的超精密解决方案提供了理想的出发点。
3种性能级别和价位
- 基础:XY龙门设计,带3台标准线性电机。
- 加强:XY龙门设计,带3台高性能液冷式线性电机。适用于高占空比和高加速度的应用。
- 超强:XY龙门设计,带4台高性能液冷式线性电机。X轴和Y轴均配有2台线性电机和2个线性编码器。这种设计提高了定位精度、重复精度和误差补偿,对于大尺寸的负载尤其如此。
绝对编码器
绝对编码器提供明确的位置信息,帮助即刻确定位置。这意味着在接通期间无需定位,提高了操作过程中的效率和安全性。
PIMag磁力直接驱动
三相磁性直接驱动器在动力传动系统中未使用机械零件,其可直接将驱动力传输至运动平台,且无摩擦。驱动器可实现高速度和高加速度。 无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务,因为其不会与永久性磁铁发生不良作用。这样即使在超低的速度下也能保持平稳的运行,同时,在高速状态下也不会产生振动。避免了控制的非线性行为并且每个位置都很容易控制。驱动力可任意设定。
附件和可选配件
- PIglide过滤器和空气预处理器
- 额外的轴
- 机器底座
- 花岗岩底座板和隔振系统
- 适合其他定位器的底座,例如偏摆台或带有压电驱动器的6轴定位器。
使用寿命长,与无尘室兼容的牵引链
A-322采用耐用的高质量带状电缆和气动软管。经过大量的研究与开发,我们优化了可实现数百万次免维护周期的电缆管理系统。铁氟龙涂层确保了较低的颗粒形成率。
应用领域
PIglide定位系统非常适用于高精度应用,诸如计量、光子学和精密扫描以及半导体或平板显示器制造中的应用。
由于运动无摩擦,不会形成颗粒,PIglide平台非常适用于无尘室应用。
规格
规格
型号 | 单位 | A-322基础型 | A-322加强型 | A-322超强型 |
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精度/动力学 | 标准/标准 | 标准/高 | 高/高 | |
运动 | ||||
行程,桥轴 | 毫米 | 350;500 | 350;500 | 350;500 |
行程,龙门轴 | 毫米 | 350;500 | 350;500;750 | 350;500;750;1000 |
运动平台的尺寸 | 250 × 268 | 250 × 268 | 250 × 318 | |
导轨 | 真空预载空气轴承 | 真空预载空气轴承 | 真空预载空气轴承 | |
集成传感器 | 绝对线性编码器,BiSS-C,钢量规 | 绝对线性编码器,BiSS-C,钢量规 | 绝对线性编码器,BiSS-C,钢量规 | |
传感器分辨率 | 纳米 | 1 | 1 | 1 |
负载容量 | 千克 | 15 | 20 | 30 |
双向重复精度(2) | 微米 | ±0.15 | ±0.15 | ±0.05 |
定位精度,已校准(2) | 微米 | ±0.35 | ±0.35 | ±0.2 |
直线度(2) | 微米 | 1 | 1 | 0.5 |
平面度 | 微米 | 2 | 2 | 2 |
俯仰角 | 微弧度 | 10 | 10 | 10 |
偏转角(2) | 微弧度 | 5 | 5 | 2 |
XY正交性 | 微弧度 | 5 | 5 | 2 |
最大速度,空载(3) | 米/秒 | 0.5 | 1 | 1 |
最大加速度,空载(3) | 米/平方秒 | 10 | 20 | 20/15(桥轴/龙门轴) |
位置稳定性 | 纳米 | ±30 | ±30 | ±30 |
运动质量,桥轴 | 千克 | 14 | 14 | 20 |
运动质量,龙门轴 | 千克 | 取决于桥轴行程: 350毫米:40千克 500毫米:44千克 | 取决于桥轴行程: 350毫米:53千克 500毫米:56千克 | 取决于桥轴行程: 350毫米:70千克 500毫米:75千克 |
驱动器特性 (视电机而定) | 单位 | A-322基础型 桥轴/龙门轴 | A-322加强型 桥轴/龙门轴 | A-322超强型 桥轴/龙门轴 |
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电机数量 | 1根桥轴,2根龙门轴 | 1根桥轴,2根龙门轴 | 2根桥轴,2根龙门轴 | |
标称电压,直流 | 伏 | 70/70 | 70/70 | 70/70 |
峰值电压,直流 | 伏 | 300/300 | 300/300 | 300/300 |
标称力 | 牛 | 87/87 | 140/140 | 87/140 |
峰值力 | 牛 | 300/300 | 480/480 | 300/480 |
力常数,均方根 | 牛/安 | 19.9/19.9 | 27.5/27.5 | 19.9/27.5 |
标称电流,均方根 | 安 | 4.4/4.4 | 5.1/5.1 | 4.4/5.1 |
峰值电流,均方根 | 安 | 15/15 | 17.5/17.5 | 15/17.5 |
相间反电动势 | 伏秒/米 | 16/16 | 22.5/22.5 | 16/22.5 |
相间电阻 | 欧姆 | 3.6/3.6 | 2.6/2.6 | 3.6/2.6 |
相间电感 | 毫亨 | 1.2/1.2 | 2.0/2.0 | 1.2/2.0 |
冷却系统 | – | 水,20摄氏度,2至3升/分钟 | 水,20摄氏度,2至3升/分钟 |