- 产品 - Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG
高精度、速度的空气轴承平面扫描仪
A-322：长行程精密空气轴承平面扫描仪
这使得平面扫描仪适用于检查系统，例如，需要高精度和吞吐量，需要在洁净室条件下工作。
通过柔性铰链将横梁耦合至下轴可提供符合规定的偏转角，且不会牺牲系统刚度。无铁芯直线电机提供流畅的运动，且无齿槽转矩或吸引力。
PIglide平面扫描仪配有三个高精度线性编码器：一个用于低轴、两个用于高轴。增量和绝对编码器选项均可用。
A-322通过来自先进制造商的数字控制器操作。例如，提供先进的控制算法，以提高动态性能和制导误差补偿，以及大量的软件开发工具的选择。