PiezoMike促动器可实现长期稳定性

PiezoMike线性促动器提供压电直接驱动器的高分辨率、高动力和绝对稳定定位, 因而特别适用于具有高精度要求的一劳永逸型应用,例如激光应用中光学元件的定位。  

N-480 高精度运动反射镜底座

配N-470 PiezoMike线性促动器
  • θX/θY旋转范围:8µrad至16µrad

N-470.V PiezoMike线性促动器

小尺寸,高驱动力,稳定定位,真空达10-6hPa
  • 行程:达13mm
  • 驱动力:22N
  • 最大速度:2.4mm/min

N-470 PiezoMike线性促动器

超小尺寸,较大的力,稳定定位
  • 行程:达13mm
  • 驱动力:22N
  • 最大速度:2.4mm/min

N-472 PiezoMike线性促动器

带用于闭环操作的位置传感器
  • 行程:7mm
  • 驱动力:22N
  • 向的单向重复精度:±200nm
  • 最大速度:2mm/min