带有真空就绪项目的产品系列

PI为选定的产品系列提供了已适用于高真空(HV)或超高真空(UHV)的特定目录项。

此外,为应用于真空中,大多数PI轴和多轴解决方案都可以根据要求进行改进。您可以在>> 真空技术页面上找到有关PI真空设计的更多信息。

六足位移台

H-824.V 真空兼容型六足位移台

结构紧凑,精密
  • 行程X/Y/Z: ±22.5mm / ±22.5mm / ±12.5mm
  • 旋转范围θX/θY/θZ:±7.5° / ±7.5° / ±12.5°
  • 单向重复性X/Y/Z:可达±0.4μm / 可达±0.4μm / 可达±0.10μm
  • 最大负载(水平/任意方向):可达5kg / 可达2.5kg
  • 最大速度X/Y/Z:可达12.5mm/s

H-811.I2V 真空兼容小型六足位移台

紧凑、高精度
  • 真空:10-6hPa
  • 行程:±17mm / ±16mm / ±6.5mm
  • 旋转范围:±10° / ±10° / ±21°
  • 最小位移:0.2µm / 0.2µm / 0.08µm
  • 重复精度:±0.06µm
  • 有效载荷:5kg

线性、旋转、升降平台和配件

RS-40 V7 Compact Rotation Stage Suitable for Vacuum

M-110 • M-111 • M-112 V6 真空兼容紧凑型线性平台

带直流齿轮电机和各种行程变型的XY(Z)组合

L-611 V6 • V7 • V9 Precision Rotation Stage Suitable for Vacuum

L-509 V6 • V7 • V9 真空兼容型精密线性平台

紧凑型设计,可负载达10kg
  • 行程:26 mm 至 102 mm
  • 最大有效载荷:10 kg
  • 最大速度:可达10 mm/s
Adapter Bracket

AB-65 转接支架

用于线性和旋转平台的垂直安装
PI L-500

L-500 转接支架

用于线性和旋转平台的垂直安装

C-815.VF 真空接头

空气侧与高真空(HV)或超高真空(UHV)之间的接口

L-220 V6 适用于真空环境的高分辨率线性促动器

适用于高循环次数
  • 行程:26mm
  • 驱动力:125N
  • 双向重复性:2µm
  • 最大速度:0.8mm/s

压电陶瓷促动器和平台

P-845 预载压电陶瓷促动器

适用于高负载与大推力(带位置传感器)
  • PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命
  • 行程达90µm
  • 推力达3000N
  • 拉力达700N
  • µs级响应时间
  • 亚纳米级分辨率

P-841 预载压电陶瓷促动器

适用于高负载与大推力的紧凑型促动器(带位置传感器)
  • PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命
  • 行程达90µm
  • 紧凑型外壳设计
  • 推力达1000N
  • 拉力达50N
  • µs级响应时间
  • 亚纳米级分辨率
  • 带球形端件的版本

P-840 预载压电陶瓷促动器

适用于高负载与大推力的紧凑型促动器
  • PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命
  • 行程达90µm
  • 紧凑型外壳设计
  • 推力达1000N
  • 拉力达50N
  • µs级响应时间
  • 亚纳米级分辨率
  • 带球形端件的版本

P-518 • P-528 压电陶瓷Z向偏摆位移台

大通光孔径,高动态性能

P-733.3 XYZ压电陶瓷纳米定位器

具有孔径的高精度XYZ扫描仪

P-733.2 XY压电陶瓷纳米定位器

具有孔径的高精度XY扫描仪

P-216 PICA Power压电陶瓷促动器

带传感器选项的预载压电陶瓷促动器(HVPZT)

P-620.Z - P-622.Z PIHera垂直精密定位器

多种行程范围和轴配置
  • 行程:达350µm
  • 最大有效载荷:1kg
  • 双向重复精度:1nm

P-844 预载压电陶瓷促动器

用于高负载和高力

P-753 LISA线性促动器和平台

位置动态稳定

P-561 • P-562 • P-563 PIMars纳米定位平台

高精度纳米定位器,最多支持3轴
  • X/Y行程: 可达300 µm
  • Z行程: 可达300 µm
  • 最大有效载荷: 可达25 kg

P-235 PICA Power压电陶瓷促动器

带传感器选项的预载高负载压电陶瓷促动器(HVPZT)

N-480 高精度运动反射镜底座

配N-470 PiezoMike线性促动器
  • θX/θY旋转范围:8µrad至16µrad

N-470.V PiezoMike线性促动器

小尺寸,高驱动力,稳定定位,真空达10-6hPa
  • 行程:达13mm
  • 驱动力:22N
  • 最大速度:2.4mm/min

P-620.2 – P-629.2 PIHeraXY向压电工作台

行程可变的高精度XY向纳米定位器
  • X/Y/Z向上的行程:达1500µm
  • X/Y向上的双向重复定位精度:达2nm
  • 最大有效载荷:1kg

P-620.1 – P-629.1 PIHera压电陶瓷线性精密定位器

多种行程范围和轴配置
  • 行程:50µm至1800µm
  • 最大有效载荷:1kg
  • 双向重复精度:达1nm

传感器

D-050 • D-100 电容式传感器

亚纳米分辨率位置传感器
  • 超高精度
  • 分辨率达0.01nm
  • 线性误差达0.01%
  • 量程达300µm

为何选择PI?


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