P-620.Z - P-622.Z PIHera垂直精密定位器

多种行程范围和轴配置

行程范围50µm至250µm（350µm开环）
分辨率达0.1nm
线性误差仅0.02%
利用电容传感器进行直接测量
X、XY、Z和XYZ型

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P-62x.ZCD / .ZCL / .Z0L，尺寸单位为mm。请注意，在图中使用逗号而非小数点。

应用领域

干涉测量
显微镜
纳米定位
生物技术
测试应用
半导体技术

PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命

PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。 PICMA促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘促动器的十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

带电容式传感器，实现亚纳米分辨率

电容传感器以亚纳米级分辨率进行测量，且无接触。它们可带来良好的运动线性度、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

零游隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。其刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。其可在较宽的温度范围内工作。

直接位置测量带来高精度

运动直接在运动平台上测量，不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现高重复精度、高稳定性、高刚性，以及快速响应控制。

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数据表

版本/日期

2026-07-06

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版本/日期

2026-07-06

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运动	P-620.Z0L	P-620.ZCD	P-620.ZCL	P-621.Z0L	P-621.ZCD	P-621.ZCL	P-622.Z0L	P-622.ZCD	P-622.ZCL	公差
主动轴	Z	Z	Z	Z	Z	Z	Z	Z	Z
Z向的行程	—	50 µm	50 µm	—	100 µm	100 µm	—	250 µm	250 µm
Z向的开环行程	65 µm	65 µm	65 µm	140 µm	140 µm	140 µm	350 µm	350 µm	350 µm	±20 %
Z向的线性误差	—	0.02 %	0.02 %	—	0.02 %	0.02 %	—	0.02 %	0.02 %	typ.
绕X的角度误差	± 80 µrad	± 80 µrad	± 80 µrad	± 100 µrad	± 100 µrad	± 100 µrad	± 200 µrad	± 200 µrad	± 200 µrad	typ.
绕Y的角度误差	± 80 µrad	± 80 µrad	± 80 µrad	± 100 µrad	± 100 µrad	± 100 µrad	± 200 µrad	± 200 µrad	± 200 µrad	typ.
定位	P-620.Z0L	P-620.ZCD	P-620.ZCL	P-621.Z0L	P-621.ZCD	P-621.ZCL	P-622.Z0L	P-622.ZCD	P-622.ZCL	公差
Z向的双向重复精度	—	1 nm	1 nm	—	1 nm	1 nm	—	1 nm	1 nm	typ.
Z向的开环分辨率	0.1 nm	0.1 nm	0.1 nm	0.2 nm	0.2 nm	0.2 nm	0.5 nm	0.5 nm	0.5 nm	typ.
集成传感器	—	电容式，直接位置测量	电容式，直接位置测量	—	电容式，直接位置测量	电容式，直接位置测量	—	电容式，直接位置测量	电容式，直接位置测量
Z向的系统分辨率	—	0.2 nm	0.2 nm	—	0.3 nm	0.3 nm	—	1 nm	1 nm
驱动性能	P-620.Z0L	P-620.ZCD	P-620.ZCL	P-621.Z0L	P-621.ZCD	P-621.ZCL	P-622.Z0L	P-622.ZCD	P-622.ZCL	公差
驱动类型	PICMA	PICMA	PICMA	PICMA	PICMA	PICMA	PICMA	PICMA	PICMA
最大功耗	5 W	5 W	5 W	18 W	18 W	18 W	17 W	17 W	17 W
Z向的电容	0.7 µF	0.7 µF	0.7 µF	3 µF	3 µF	3 µF	6.2 µF	6.2 µF	6.2 µF	±20 %
短期最大工作频率，空载	333 Hz	333 Hz	333 Hz	263 Hz	263 Hz	263 Hz	120 Hz	120 Hz	120 Hz
机械性能	P-620.Z0L	P-620.ZCD	P-620.ZCL	P-621.Z0L	P-621.ZCD	P-621.ZCL	P-622.Z0L	P-622.ZCD	P-622.ZCL	公差
Z向的刚性	0.5 N/µm	0.5 N/µm	0.5 N/µm	0.6 N/µm	0.6 N/µm	0.6 N/µm	0.24 N/µm	0.24 N/µm	0.24 N/µm	±20 %
Z向的谐振频率，空载	1000 Hz	1000 Hz	1000 Hz	790 Hz	790 Hz	790 Hz	360 Hz	360 Hz	360 Hz	±20 %
在30g负载下Z向的谐振频率	690 Hz	690 Hz	690 Hz	500 Hz	500 Hz	500 Hz	270 Hz	270 Hz	270 Hz	±20 %
Y向的允许推力	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	max.
Z向的允许推力	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	max.
Z向的允许拉力	5 N	5 N	5 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	max.
导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨
总质量	120 g	120 g	120 g	170 g	170 g	170 g	240 g	240 g	240 g
材料	铝	铝	铝	铝	铝	铝	铝	铝	铝
其他	P-620.Z0L	P-620.ZCD	P-620.ZCL	P-621.Z0L	P-621.ZCD	P-621.ZCL	P-622.Z0L	P-622.ZCD	P-622.ZCL	公差
工作温度范围	-20至150 °C	-20至80 °C	-20至80 °C	-20至150 °C	-20至80 °C	-20至80 °C	-20至150 °C	-20至80 °C	-20至80 °C
接头	LEMO FFS.00.250.CTCE24	D-sub 7W2（公头）	LEMO FFS.00.250.CTCE24	LEMO FFS.00.250.CTCE24	D-sub 7W2（公头）	LEMO FFS.00.250.CTCE24	LEMO FFS.00.250.CTCE24	D-sub 7W2（公头）	LEMO FFS.00.250.CTCE24
传感器连接器	—	D-sub 7W2（公头）	电容传感器的LEMO	—	D-sub 7W2（公头）	电容传感器的LEMO	—	D-sub 7W2（公头）	电容传感器的LEMO
电缆长度	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m
推荐控制器/驱动器	E-503、E-505、E-610	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-709、1C1L、E-754	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-709、1C1L、E-754	E-503、E-505、E-610	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-709、1C1L、E-754	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-709、1C1L、E-754	E-503、E-505、E-610	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-709、1C1L、E-754	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-709、1C1L、E-754

因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。

所有规格参数基于室温（22°C±3°C）。

PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明，所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识是指属性的统计平均值，并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中，我们只检测选定的属性，而不是全部属性。请注意，产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。

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2021-04-19

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2026-07-06

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