PIglide空气轴承技术

典型规格：

线性：直线度/平面度0.1微米/25毫米，螺距/偏转角0.5角秒/25毫米

旋转：径向/轴向跳动0.1微米，摆动1角秒

整个行程内的总运动误差通常在“微米TIR”中说明。TIR表示总指示器读数。TIR用于说明运动误差的峰-峰值测量。我们未假定零基准的对称性。空气轴承平台每200毫米行程一般可实现高于1微米的平面度和直线度TIR。

没有机械轴承元件意味着没有影响光滑、控制速度的元素（稳定性超过0.01 %）。实验和过程，如惯性传感器测试、断层扫描、晶圆扫描、表面分析需要最好由空气轴承系统提供的严格控制速度的连续运动。

直接驱动电机和高分辨率编码器可在线性应用纳米范围内或旋转应用的分角范围内定位由空气轴承支持的移动机架。无摩擦和机械接触意味着最小的振动、滞后或反向误差，使之具有高重复精度，且适用于多种检查和制造业务。几乎消除静摩擦力，改善分辨能力，减少就位“搜索”（极限周期），位置重复性可在几个基本的编码器计数内获取。类似的精度可通过压电陶瓷柔性导向平台获取，但行程较短。也可以选择磁悬浮技术。

假设做到以下几点，空气轴承的寿命将是无限的：

只要轴承未受到任何损坏，将一直运转下去。空气过滤器和空气压缩机的维护保养十分重要。除此之外，影响寿命的元件一般是柔性电缆，其在经过多个使用周期（数百万次）后将发生磨损和断裂。电机绕组和编码器通常仅在受损、短路或过热时才会发生故障。

空气轴承使用广泛，几乎没有限制：

尽管在真空中操作空气轴承并非不可能，但却十分困难。通常，应避免在真空中使用空气轴承，而应使用机械轴承、磁悬浮或柔性铰链系统作为替代。

空气轴承一般用于洁净环境中，存在严重灰尘、碎屑和液体的环境中应避免使用。

空气轴承需要持续不断的洁净压缩空气或氮气供应。若使用时无法提供此类气体供应，则不能使用空气轴承。