A-123.050A1
PIglideAT3线性平台，空气轴承，50毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期，无铁芯三相线性电机，48伏
A-123 带空气轴承的PIglideAT3线性平台
高性能纳米级定位平台
- 扫描应用的完美选择或精密定位
- 无尘室兼容
- 运动平台的尺寸210 毫米×210 毫米
- 行程50 毫米至750 毫米
- 分辨率达1纳米
A-123, 尺寸单位为毫米。请注意，在图中使用逗号而非小数点。. *安装孔环绕位于"J"的中心线对称分布。
A-123 带空气轴承的PIglideAT3线性平台
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产品概述
PIglide系列平台配备伺服驱动器线性电机，电机配置带预载的空气轴承和集成线性编码器。这类非接触式零件的组合形成了一个无摩擦运动平台，可提供最高的性能、质量和使用寿命。
高推动力线性电机可以在几毫秒内将平台驱动至最高速度，高承载能力轴承可支承重达60 公斤的有效载荷。该型号中的侧面相对、主动预载空气轴承设计可实现任意方向上的安装。
附件和可选配件
- 编码器
- PIglide过滤器和空气预处理器
- 单轴和多轴运动控制器
- 气动夹紧/解锁选项
- XY装置和个性化配置
- 电缆轨道变型
- 用于垂直（Z）方向的配重选项
- 可提供定制版
- 花岗岩底座板和隔振系统
应用领域
PIglide定位系统非常适用于高精度应用，诸如半导体或平板显示器制造中的计量、光子学和精密扫描。
由于运动无摩擦，不会形成颗粒，PIglide平台非常适用于无尘室应用。
规格
规格
定位 | A‑123.xxxA | A‑123.xxxB |
|---|---|---|
集成传感器 | 增量线性编码器 | 绝对编码器 |
传感器信号 | 正弦/余弦，1伏峰峰值， 20微米信号周期 | BiSS-C |
传感器分辨率 | 4.88纳米(3) | 1纳米 |
双向重复性 | ±0.1微米 | ±0.1微米 |
定位精度，未校准(4) | A-123.050：± 1.5微米 A-123.100：± 1.5微米 A-123.150：± 1.5微米 A-123.200：± 2微米 A-123.350：± 3微米 A-123.500：± 3.5微米 A-123.750：± 5微米 | A-123.050：± 1.5微米 A-123.100：± 1.5微米 A-123.150：± 1.5微米 A-123.200：± 1.5微米 A-123.350：± 1.5微米 A-123.500：± 1.5微米 A-123.750：± 1.5微米 |
定位精度，已校准(4) | A-123.050：± 0.3微米 A-123.100：± 0.3微米 A-123.150：± 0.3微米 A-123.200：± 0.3微米 A-123.350：± 0.3微米 A-123.500：± 0.5微米 A-123.750：± 0.5微米 | A-123.050：± 0.3微米 A-123.100：± 0.3微米 A-123.150：± 0.3微米 A-123.200：± 0.3微米 A-123.350：± 0.3微米 A-123.500：± 0.5微米 A-123.750：± 0.5微米 |
(1)取决于平台安装表面的平面度。
(2)可能受有效载荷、控制器或驱动器的限制。
(3)假定4096x插值。有关其他因子的使用，请联系PI。
(4)通过基于控制器的误差补偿，可获得改善的精度。为实现这些数值，平台须与PI控制器一同订购。精度值取短时间段，不考虑平台上热漂移的长期影响。
(5)为防止平台损坏，建议将空气压力传感器连接到控制器运动停止输入端。
(6)假定空气轴承工作压力为80磅/平方英寸（550千帕）。
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产品注解
产品注解
Product Change Notification A-xxx.*C1
版本/日期
2018-08-02
pdf - 71 KB
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数据表
文件
文件
用户使用手册A123D0001
A-123 PIglide AT3系列线性空气轴承平台、由编码器反馈驱动的线性电机
版本/日期
2021-05-17
pdf - 1 MB
English
3D模型
3D模型
A-123 3-D模型
版本/日期
2020-04-13
zip - 22 MB
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A-123.050B1
PIglideAT3线性平台，空气轴承，50毫米行程，带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏
A-123.100A1
PIglideAT3线性平台，空气轴承，100毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期，无铁芯三相线性电机，48伏
A-123.100B1
PIglideAT3线性平台，空气轴承，100毫米行程，带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏
A-123.150A1
PIglideAT3线性平台，空气轴承，150毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期，无铁芯三相线性电机，48伏
A-123.150B1
PIglideAT3线性平台，空气轴承，150毫米行程，带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏
A-123.200A1
PIglideAT3线性平台，空气轴承，200毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期，无铁芯三相线性电机，48伏
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PIglideAT3线性平台，空气轴承，200毫米行程，带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏
A-123.350A1
PIglideAT3线性平台，空气轴承，350毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期，无铁芯三相线性电机，48伏
A-123.350B1
PIglideAT3线性平台，空气轴承，350毫米行程，带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏
A-123.500A1
PIglideAT3线性平台，空气轴承，500毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期，无铁芯三相线性电机，48伏
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PIglideAT3线性平台，空气轴承，500毫米行程，带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏
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PIglideAT3线性平台，空气轴承，750毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期，无铁芯三相线性电机，48伏
A-123.750B1
PIglideAT3线性平台，空气轴承，750毫米行程，带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏
