A-110 带空气轴承的PIglideLC线性平台

A-110 带空气轴承的PIglideLC线性平台

价格便宜的高性能纳米级定位平台

扫描应用的完美选择或精密定位
无尘室兼容
运动平台的尺寸160毫米×200 毫米
行程达400 毫米
负载容量达100 牛

A-110.050和A-110.100，尺寸单位为毫米

A-110.200、A-110.300和A-110.400，尺寸单位为毫米

PIglide定位系统具有一个磁性线性电机、磁性预载空气轴承和一个光学线性编码器：非接触式无摩擦运动实现最佳精度和可靠性

编码器
PIglide Filter und Druckregler
单轴和多轴运动控制器
XY装置和个性化配置
花岗岩底座板和隔振系统

PIglide定位系统非常适用于高精度应用，诸如半导体或平板显示器制造中的计量、光子学和精密扫描。

由于无摩擦运动，因此不会形成颗粒，从而使平台成为无尘室应用的优先选择。

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数据表

版本/日期

2021-07-07

pdf - 1 MB

版本/日期

2021-07-07

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版本/日期

2018-08-15

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运动	A-110.050xx	A-110.100xx	A-110.200xx	A-110.300xx	A-110.400xx	单位	公差
主动轴	X	X	X	X	X
行程	50	100	200	300	400	毫米
螺距/偏转角⁽¹⁾	15	15	20	30	40	微弧度	最大
直线度/ 平面度⁽¹⁾	0.5	0.5	1	1	1.5	微米	最大
每10毫米行程的直线度/平面度⁽¹⁾	±10	±10	±10	±10	±10	纳米	最大
速度，空载⁽²⁾	0.5	0.5	1	1	1	米/秒	最大
加速度，空载⁽²⁾	10	10	30	30	30	米/平方秒	最大

机械特性	A-110.050xx	A-110.100xx	A-110.200xx	A-110.300xx	A-110.400xx	单位	公差
Z向负载能力⁽³⁾	100	100	100	100	100	牛	最大
移动质量	2.5	2.5	2.6	2.6	2.6	千克
总质量	6.3	7.5	11	12	14	千克
导向类型	空气轴承	空气轴承	空气轴承	空气轴承	空气轴承

驱动特性	A-110.050xx A-110.100xx	A-110.200xx A-110.300xx A-110.400xx	单位	公差
驱动类型	无铁芯三相线性电机	无铁芯三相线性电机
中间电路电压，均方根	48，标称值 60，最大值	48，标称值 60，最大值	伏直流
峰值力	25	85	牛	典型值
标称力	9.2	39	牛	典型值
力常数，均方根	4.2	12.3	牛/安	典型值
相间电阻	8.2	3.6	欧姆	典型值
相间电感	2.7	1.24	毫亨	典型值
相间反电动势	4.2	10.1	伏·秒/米	最大
布线	内部，无移动电缆	外部，移动电缆

定位	A-110.xxxA	A-110.xxxB
集成传感器	增量线性编码器	绝对编码器
传感器信号	正弦/余弦，1伏峰峰值，20微米信号周期	BiSS-C
传感器分辨率	1.2纳米⁽⁴⁾	1纳米
双向重复性	±0.1微米⁽⁴⁾	±0.1微米
定位精度，未校准⁽⁵⁾	A-110.050：± 1.5微米 A-110.100：± 1.5微米 A-110.200：± 2微米 A-110.300：± 3微米 A-110.400：± 4微米	A-110.050：± 1.5微米 A-110.100：± 1.5微米 A-110.200：± 1.5微米 A-110.300：± 1.5微米 A-110.400：± 1.5微米
定位精度，已校准⁽⁵⁾	A-110.050：± 0.5微米 A-110.100：± 0.5微米 A-110.200：± 0.5微米 A-110.300：± 0.5微米 A-110.400：± 0.5微米	A-110.050：± 0.5微米 A-110.100：± 0.5微米 A-110.200：± 0.5微米 A-110.300：± 0.5微米 A-110.400：± 0.5微米

其他	A-110
工作压力⁽⁶⁾	60至70磅 /平方英寸（415至485千帕）
耗气量	< 1.0 SCFM (28 SLPM)
空气质量	清洁（过滤达1.0微米或更佳）ISO 8573–1 级别1 无油 - ISO 8573–1 级别1 干燥（-15°C露点） - ISO 8573–1 级别3
材料	硬膜铝，不锈钢固定硬件

⁽¹⁾取决于平台安装表面的平面度。

⁽²⁾可能受有效载荷、控制器或驱动器的限制。

⁽³⁾假定有效载荷重心位于运动平台上方50毫米范围以内的中央。平台仅设计用于水平操作。

⁽⁴⁾假定16384x插值。有关其他因子的使用，请联系PI。

⁽⁵⁾通过基于控制器的误差补偿，可获得改善的精度。为实现这些数值，平台必须与PI控制器一同订购。精度值取短时间段，不考虑平台上热漂移的长期影响。

⁽⁶⁾为防止平台损坏，建议将空气压力传感器连接到控制器运动停止输入端。

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产品注解

版本/日期

2018-08-02

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数据表

版本/日期

2021-07-07

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版本/日期

2021-07-07

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版本/日期

2018-08-15

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文件

PIglide LC小型线性空气轴承平台

版本/日期

2021-05-11

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A-110.050A1

PIglideLC线性平台，空气轴承，50毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期，无铁芯三相线性电机，48伏

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A-110.050B1

PIglideLC线性平台，空气轴承，50毫米行程，带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏

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A-110.100A1

PIglideLC线性平台，空气轴承，100毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期，无铁芯三相线性电机，48伏

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A-110.100B1

PIglideLC线性平台，空气轴承，100毫米行程，带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏

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A-110.200A1

PIglideLC线性平台，空气轴承，200毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期，无铁芯三相线性电机，48伏

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A-110.200B1

PIglideLC线性平台，空气轴承，200毫米行程，带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏

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A-110.300A1

PIglideLC线性平台，空气轴承，300毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期，无铁芯三相线性电机，48伏

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A-110.300B1

PIglideLC线性平台，空气轴承，300毫米行程，带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏

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A-110.400A1

PIglideLC线性平台，空气轴承，400毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期，无铁芯三相线性电机，48伏

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A-110.400B1

PIglideLC线性平台，空气轴承，400毫米行程，带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏

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