XY air bearing stage, planar, high performance, travel to 1 m, linear motors, absolute encoder, nanometer precision. For high accuracy automation & metrology.
A-311 带空气轴承的PIglide IS平面扫描仪
高性能,紧凑型XY纳米定位系统
X/Y行程:可达400mm
X/Y双向重复精度:0.1µm
最大有效载荷:14.7kg
最大速度:可达2000mm/s
旋转偏摆空气轴承台
A-523 带空气轴承的PIglide高精度Z向偏摆平台
高性能 • 兼容无尘室 • 低矮外形
θX/θY向的旋转范围:可达2°
最大有效载荷:8kg
θX/θY双向重复精度:8µrad
A-62x 带空气轴承的PIglideRM转台
无摩擦,适用于分度、定位、扫描、测量技术
旋转范围:360°
最大有效载荷:可达430kg
双向重复精度:可达3µrad
最大速度:可达2500转/分
PIglide运动控制器
A-811.CE PIglide单轴运动控制器
用于带直接驱动、TCP/IP接口的平台
A-82x 用于4、6或8轴的PIglide运动控制器
用于带直接驱动、具有高功率要求的平台,TCP/IP接口
A-81x 用于1、2或4轴的PIglide运动控制器
用于带直接驱动、TCP/IP接口的平台
Motion controller for linear motor stages with air bearings. High end for industrial precision automation - linear and rotary motion.