PIglide VC线性平台,空气轴承,行程25mm,音圈,48V,带正弦/余弦信号传输的直线光栅尺,信号周期20µm
A-131 带空气轴承的PIglideVC音圈线性平台
高性能小型纳米级定位系统
- 扫描应用或高精度定位的佳选
- 与无尘室兼容
- 行程达25mm
- 负载能力达30N
- 加速度达40m/s2
产品概述
带空气轴承和音圈驱动器的PIglide平台外形紧凑,可实现高速度和高加速度。
该运动平台采用非接触式零部件,具有良好的性能、品质和长使用寿命。
音圈驱动器技术
音圈电机为直接驱动器。 在直接驱动器中,驱动器元件的力直接传递至要移动的负载,而无需使用联接器、传动螺杆或减速齿轮等机械传动元件。 音圈驱动器由位于磁场气隙中的永磁体和绕组体组成。 当电流流过绕组体时,绕组体在永磁体的磁场中移动。 音圈驱动器重量轻并且基于无摩擦驱动原理,因此适合在有限行程内要求高动态性和高速度的应用。 这类驱动器还可提供高扫描频率和精密定位,因为它们不存在磁滞效应。
附件和可选配件
- PIglide过滤器和空气预处理器
- 单轴和多轴运动控制器
应用领域
高速扫描和制造应用。
由于运动无摩擦,不会形成颗粒,PIglide平台非常适用于无尘室应用。
规格
规格
| 运动 | A-131.025A1 | 公差 |
|---|---|---|
| 主动轴 | X | |
| X向的行程 | 25 mm | |
| X向的加速度,空载 | 40 m/s² | max. |
| X向的最大速度,空载 | 1000 mm/s | |
| Y向上的直线度误差(直线度) | ± 0.5 µm | max. |
| Z向上的直线度误差(平面度) | ± 0.5 µm | max. |
| 绕Y的角度误差(俯仰角) | ± 10 µrad | max. |
| 绕Z的角度误差(偏转角) | ± 10 µrad | max. |
| 定位 | A-131.025A1 | 公差 |
| X向的已校准定位精度 | ± 0.25 µm | typ. |
| X向的未校准定位精度 | ± 2 µm | typ. |
| X向的双向重复精度 | 0.1 µm | typ. |
| 参考点开关 | 编码器参考点 | |
| 限位开关 | 霍尔效应 | |
| 集成传感器 | 增量式直线光栅尺 | |
| 传感器信号 | 正弦/余弦,1Vpp | |
| 传感器信号周期 | 20 µm | |
| 传感器分辨率 | 1.2 nm | |
| 驱动性能 | A-131.025A1 | 公差 |
| 驱动类型 | 音圈 | |
| 标称电压 | 48 V | |
| 峰值电压 | 28 V | |
| 标称电流,均方根 | 3 A | typ. |
| 峰值电流,均方根 | 10 A | typ. |
| X向的正向运动的驱动力 | 22.3 N | typ. |
| X向的负向运动的驱动力 | 22.3 N | typ. |
| X向的正向运动的峰值力 | 70.4 N | |
| X向的负向运动的峰值力 | 70.4 N | |
| 力常数 | 6.9 N/A | |
| 相间电阻 | 2.7 Ω | typ. |
| 相间电感 | 1.4 mH | |
| 反电动势 | 6.9 V·s/m | max. |
| 机械性能 | A-131.025A1 | 公差 |
| Z向的允许推力 | 30 N | max. |
| X向的移动质量,空载 | 1630 g | |
| 导轨 | 带空气预载的空气轴承 | |
| 总质量 | 3600 g | |
| 材料 | 硬膜铝,不锈钢安装硬件 | |
| 其他 | A-131.025A1 | 公差 |
| 工作温度范围 | 15至25 °C | |
| 接头 | D-sub 9W4(公头) | |
| 传感器连接器 | D-sub 15(公头) | |
| 工作压力 | 520至585 kPa | |
| 耗气量 | 28 L/min | max. |
| 空气质量 | 清洁(过滤高达1.0µm或更佳)- ISO 8573–1一级 ǀ 无油 - ISO 8573–1一级 ǀ 干燥(-15°C露点)- ISO 8573–1三级 | |
| 电缆长度 | 0.45 m | |
| 推荐控制器/驱动器 | A-81x(1、2或4轴) A-82x(4、6或8轴) |
关于俯仰角、偏转角、直线度和平面度的说明:取决于平台安装表面的平面度。
关于速度和加速度的说明:可能受负载、控制器或驱动器的限制。
关于Z轴允许推力的说明:假定负载重心居中,位于离运动平台不超过50mm的位置。
关于传感器分辨率和双向重复性的说明:假定16384倍插值。 有关其他因子的使用,请联系PI。
关于校准定位精度的说明:通过基于控制器的误差补偿,可提高精度。 为实现这些数值,平台须与PI控制器一同订购。
关于工作压力的说明:防止平台损坏,建议将空气压力传感器连接到控制器运动停止输入端。
咨询定制版本。
PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明,所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识 是指属性的统计平均值,并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中,我们只检测选定的属性,而不是全部属性。请注意,产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。











