压电柔性铰链倾斜镜

压电陶瓷柔性铰链镜面平台的高刚性可实现高动态性和优异的定位稳定性。该紧凑型设备常用于激光加工和激光控制中的射束偏转。在一个固定的公共枢轴点及偏振方向无变化的的情况下,其并联设计使倾斜轴上的性能一致。

S-316 压电陶瓷Z向偏摆扫描仪

带通光孔的高动态压电陶瓷扫描仪
  • 通光孔径10mm
  • 三脚式压电陶瓷驱动器
  • 线性行程达12µm(移相器)
  • 亚毫秒级响应时间
  • 亚微弧度级分辨率
  • 精度更高的闭环版本

S-335 快速偏摆台

较短稳定时间和高动态线性化
  • θX/θY向的旋转范围:35mrad
  • θX/θY双向重复精度:1µrad

S-331 快速偏摆台

较短稳定时间和高动态线性化
  • θX/θY向的旋转范围:达5mrad
  • θX/θY双向重复精度:达1.5µrad

S-340 压电偏摆台

高动态,用于直径达75mm(3英寸)的反射镜和光学元件
  • θX/θY向的旋转范围:2mrad
  • θX/θY双向重复精度:达0.075µrad

S-330 压电偏摆台

高动态,带大偏转角用于反射镜和光学元件
  • θX/θY向的旋转范围:达10mrad