S-330.2SH
快速压电偏摆台；2mrad × 2mrad旋转角（θX×θY）；SGS，间接位置测量；Sub-D37 接头（公）；电缆长度为2m
S-330 压电偏摆台
高动态，带大偏转角用于反射镜和光学元件
- 机械偏摆角达10mrad
- 高谐振频率可达1.6kHz（1"反射镜），可实现动态运动以及快速步进和稳定
- 分辨率达20nrad
- 优异的位置稳定性
- 亚毫秒级响应时间
- 用于直径高达50mm的反射镜
S-330.2SH：在不同E-727控制器和反射镜尺寸下的系统频率响应。 E-727控制器型号的不同性能水平会显著影响系统的动态特性。 E-727.3SD：5mrad，50Hz优化。E-727.3SDAP：5mrad，420Hz优化。
S-330.8SH：在不同E-727控制器和反射镜尺寸下的系统频率响应。 E-727控制器型号的不同性能水平会显著影响系统的动态特性。 E-727.3SD：10mrad，10Hz优化。E-727.3SDAP：10mrad，40Hz优化
S-330.xSH，尺寸单位为mm
S-330.xSL带电缆分线箱，尺寸单位为mm。 请注意，在图中使用逗号代表小数点。
S-330 压电偏摆台
产品描述
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应用领域
- 图像处理/稳定性
- 光学捕获
- 激光扫描/光束偏转
- 激光调谐
- 光学过滤器/开关
- 光学元件
- 光束稳定
PICMA®压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
PICMA®压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。 这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。 PICMA®促动器的使用寿命是传统的聚合物绝缘促动器的十倍。 它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙的柔性铰链导向机构带来超高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。 其刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。 其可在较宽的温度范围内工作。
并联运动实现高动态多轴操作
在并联多轴系统中，所有促动器作用于同一个运动平台。 所有轴均具有最小的质量惯性并采用相同的设计，可实现快速、动态且精密的运动。
规格
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| 运动 | S-330.2SH | S-330.2SL | S-330.4SH | S-330.4SL | S-330.8SH | S-330.8SL | 公差 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 主动轴 | θX ǀ θY | θX ǀ θY | θX ǀ θY | θX ǀ θY | θX ǀ θY | θX ǀ θY | |
| θX向上的旋转范围 | 2 mrad | 2 mrad | 5 mrad | 5 mrad | 10 mrad | 10 mrad | |
| θY向上的旋转范围 | 2 mrad | 2 mrad | 5 mrad | 5 mrad | 10 mrad | 10 mrad | |
| θX向上的开环旋转范围 | 3.5 mrad | 3.5 mrad | 7 mrad | 7 mrad | 15 mrad | 15 mrad | ±20 % |
| θY向上的开环旋转范围 | 3.5 mrad | 3.5 mrad | 7 mrad | 7 mrad | 15 mrad | 15 mrad | ±20 % |
| θX向上的线性误差 | 0.05 % | 0.05 % | 0.1 % | 0.1 % | 0.1 % | 0.1 % | typ. |
| θY向上的线性误差 | 0.05 % | 0.05 % | 0.1 % | 0.1 % | 0.1 % | 0.1 % | typ. |
| 定位 | S-330.2SH | S-330.2SL | S-330.4SH | S-330.4SL | S-330.8SH | S-330.8SL | 公差 |
| θX向上的单向重复精度 | ± 0.6 µrad | ± 0.6 µrad | ± 0.8 µrad | ± 0.8 µrad | ± 1.5 µrad | ± 1.5 µrad | typ. |
| θY向上的单向重复精度 | ± 0.6 µrad | ± 0.6 µrad | ± 0.8 µrad | ± 0.8 µrad | ± 1.5 µrad | ± 1.5 µrad | typ. |
| θX向上的开环分辨率 | 0.02 µrad | 0.02 µrad | 0.1 µrad | 0.1 µrad | 0.2 µrad | 0.2 µrad | typ. |
| θY向上的开环分辨率 | 0.02 µrad | 0.02 µrad | 0.1 µrad | 0.1 µrad | 0.2 µrad | 0.2 µrad | typ. |
| 集成传感器 | 应变片传感器，间接位置测量 | 应变片传感器，间接位置测量 | 应变片传感器，间接位置测量 | 应变片传感器，间接位置测量 | 应变片传感器，间接位置测量 | 应变片传感器，间接位置测量 | |
| θX向上的系统分辨率 | 0.05 µrad | 0.05 µrad | 0.25 µrad | 0.25 µrad | 0.5 µrad | 0.5 µrad | |
| θY向上的系统分辨率 | 0.05 µrad | 0.05 µrad | 0.25 µrad | 0.25 µrad | 0.5 µrad | 0.5 µrad | |
| 驱动性能 | S-330.2SH | S-330.2SL | S-330.4SH | S-330.4SL | S-330.8SH | S-330.8SL | 公差 |
| 驱动类型 | PICMA | PICMA | PICMA | PICMA | PICMA | PICMA | |
| θX向上的电容 | 3 µF | 3 µF | 6 µF | 6 µF | 12.5 µF | 12.5 µF | ±20 % |
| θY向上的电容 | 3 µF | 3 µF | 6 µF | 6 µF | 12.5 µF | 12.5 µF | ±20 % |
| 机械性能 | S-330.2SH | S-330.2SL | S-330.4SH | S-330.4SL | S-330.8SH | S-330.8SL | 公差 |
| θX向上的谐振频率，空载 | 2.4 kHz | 2.4 kHz | 2 kHz | 2 kHz | 1 kHz | 1 kHz | ±20 % |
| 在带玻璃反射镜（直径25mm；厚度8mm）的负载下θX向上的谐振频率 | 1.6 kHz | 1.6 kHz | 1.5 kHz | 1.5 kHz | 1 kHz | 1 kHz | ±20 % |
| θY向上的谐振频率，空载 | 2.4 kHz | 2.4 kHz | 2 kHz | 2 kHz | 1 kHz | 1 kHz | ±20 % |
| 在带玻璃反射镜（直径25mm；厚度8mm）的负载下θY向上的谐振频率 | 1.6 kHz | 1.6 kHz | 1.5 kHz | 1.5 kHz | 1 kHz | 1 kHz | ±20 % |
| θX向上的惯性力矩，空载 | 1530 g·mm² | 1530 g·mm² | 1530 g·mm² | 1530 g·mm² | 1530 g·mm² | 1530 g·mm² | ±20 % |
| θY向上的惯性力矩，空载 | 1530 g·mm² | 1530 g·mm² | 1530 g·mm² | 1530 g·mm² | 1530 g·mm² | 1530 g·mm² | ±20 % |
| 枢轴点至平台表面的距离 | 6.5 mm | 6.5 mm | 6.5 mm | 6.5 mm | 6.5 mm | 6.5 mm | ±0,1 mm |
| 导轨 | 带杠杆放大的柔性铰链导轨 | 带杠杆放大的柔性铰链导轨 | 带杠杆放大的柔性铰链导轨 | 带杠杆放大的柔性铰链导轨 | 带杠杆放大的柔性铰链导轨 | 带杠杆放大的柔性铰链导轨 | |
| 总质量 | 200 g | 200 g | 380 g | 380 g | 700 g | 700 g | ±5 % |
| 材料 | 外壳：钢。 平台：殷钢。 | 外壳：钢。 平台：殷钢。 | 外壳：钢。 平台：殷钢。 | 外壳：钢。 平台：殷钢。 | 外壳：钢。 平台：殷钢。 | 外壳：钢。 平台：殷钢。 | |
| 其他 | S-330.2SH | S-330.2SL | S-330.4SH | S-330.4SL | S-330.8SH | S-330.8SL | 公差 |
| 工作温度范围 | -20至80 °C | -20至80 °C | -20至80 °C | -20至80 °C | -20至80 °C | -20至80 °C | |
| 连接器 | D-sub 37针（公头） | LEMO FFS.00.250.CTCE24 | D-sub 37针（公头） | LEMO FFS.00.250.CTCE24 | D-sub 37针（公头） | LEMO FFS.00.250.CTCE24 | |
| 传感器连接器 | — | LEMO FFA.0S.304.CLAC32 | — | LEMO FFA.0S.304.CLAC32 | — | LEMO FFA.0S.304.CLAC32 | |
| 电缆长度 | 2 m | 2 m | 2 m | 2 m | 2 m | 2 m | +50 mm / -0 mm |
| 推荐控制器/驱动器 | E-727 | E-509.S3 + E-505.00 (2×) + E-505.00S + E-500.00 | E-727 | E-509.S3 + E-505.00 (2×) + E-505.00S + E-500.00 | E-727 | E-509.S3 + E-505.00 (2×) + E-505.00S + E-500.00 |
线性误差：S-330.xSH用数字式控制器控制。
单向重复精度：100%偏摆角。 S-330.xSH用数字式控制器控制。
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
不带传感器的型号可按需提供。
PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明，所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识 是指属性的统计平均值，并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中，我们只检测选定的属性，而不是全部属性。请注意，产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。
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快速压电偏摆台；2mrad × 2mrad旋转角（θX×θY）；SGS，间接位置测量；LEMO接头；电缆长度为2m
S-330.4SH
快速压电偏摆台；5mrad × 5mrad旋转角（θX×θY）；SGS，间接位置测量；Sub-D37接头（公）；电缆长度为2m
S-330.4SL
快速压电偏摆台；5mrad × 5mrad旋转角（θX×θY）；SGS，间接位置测量；LEMO 接头；电缆长度为2m
S-330.8SH
快速压电偏摆台；10mrad × 10mrad旋转角（θX×θY）；SGS，间接位置测量；Sub-D37 接头（公）；电缆长度为2m
S-330.8SL
快速压电偏摆台；10mrad × 10mrad旋转角（θX×θY）；SGS，间接位置测量；LEMO接头；电缆长度为2m
