带步进、直流和无刷直流(BLDC)电机的垂直平台

垂直平台可在不使用适配器的情况下安装在线性平台上,且可实现多种多轴定位系统的自由组合。

A-523 带空气轴承的PIglide高精度Z向偏摆平台

High Performance • Cleanroom-Compatible • Low Profile
  • 高性能
  • 低矮外形
  • Z向行程达±2.5mm
  • θX、θY向的旋转范围达±1°
  • 有效载荷达8kg

L-306 紧凑型精密Z向位移台

紧凑型设计,多轴组合

L-310 精密Z向位移台

带线性和旋转平台的紧凑型多轴组合

M-501 精密Z向位移台

紧凑型、XYZ向,与M-511平移台系列组合