紧凑型精密Z向位移台;两相步进电机;行程13mm;负载能力20N;最大速度5mm/s;滚珠丝杠;电缆长度0.5m
L-306 紧凑型精密Z向位移台
紧凑型设计,多轴组合
- 紧凑型设计:表面63×63mm
- 步进电机和闭环直流电机
- 可选配:用于直接位置测量的直线光栅尺
- 交叉滚柱导轨
- 非接触式参考点和限位开关
紧凑型Z向位移台,用途广泛
带皮带传动的折叠式驱动,Z向位移台结构紧凑。 可安装在带M6 50mm×50mm连接网格的线性平台上(如L-406)。
驱动器
- 两相步进电机或闭环直流电机
- 空回补偿型滚珠丝杠
位置测量
- 增量线性编码器(可选配步进电机)
- 非接触式光学参考和限位开关
增量式线性光栅尺用于高精度位置测量
非接触式光学线性编码器以高精度直接在平台上测量位置,非线性效应、机械间隙或弹性形变不会对测量造成影响。
交叉滚柱导轨
对于交叉滚柱导轨,滚珠导轨中的滚珠接触点被淬火滚柱的线接触所取代。 因此,它们的刚度明显提高,需要的预载更小,这减少了摩擦并实现了更平滑的运行。 交叉滚柱导轨还具有高导向精度和高负载能力的特征。 力导向滚动体保持架防止保持架蠕变。
应用领域
研究。 半导体技术。 光子 自动化。
规格
规格
| 运动 | L-306.011100 | L-306.011112 | L-306.013112 | 公差 |
|---|---|---|---|---|
| 主动轴 | Z | Z | Z | |
| Z向的行程 | 13 mm | 13 mm | 13 mm | |
| Z向的最大速度,空载 | 5 mm/s | 5 mm/s | 5 mm/s | |
| X向上的直线度误差 | ± 3 µm | ± 3 µm | ± 3 µm | typ. |
| Y向上的直线度误差 | ± 3 µm | ± 3 µm | ± 3 µm | typ. |
| 绕X的角度误差 | ± 150 µrad | ± 150 µrad | ± 150 µrad | typ. |
| 绕Y的角度误差 | ± 175 µrad | ± 175 µrad | ± 175 µrad | typ. |
| 定位 | L-306.011100 | L-306.011112 | L-306.013112 | 公差 |
| Z向的最小位移 | 2.5 µm | 0.1 µm | 0.1 µm | typ. |
| Z向的单向重复精度 | ± 0.25 µm | ± 0.05 µm | ± 0.05 µm | typ. |
| Z向的双向重复精度 | 4 µm | 1 µm | 1 µm | typ. |
| 参考点开关 | 叉式光电传感器,常闭触点,5V,NPN | 叉式光电传感器,常闭触点,5V,NPN | 叉式光电传感器,常闭触点,5V,NPN | |
| 限位开关 | 叉式光电传感器,常闭触点,5V,NPN | 叉式光电传感器,常闭触点,5V,NPN | 叉式光电传感器,常闭触点,5V,NPN | |
| 集成传感器 | — | 增量式直线光栅尺 | 增量式直线光栅尺 | |
| 传感器信号 | — | A/B正交,RS-422 | A/B正交,RS-422 | |
| 传感器分辨率 | — | 5 nm | 50 nm | |
| 驱动性能 | L-306.011100 | L-306.011112 | L-306.013112 | 公差 |
| 驱动类型 | 两相步进电机 | 两相步进电机 | 直流电机 | |
| Z向的正向运动的驱动力 | 20 N | 20 N | 20 N | typ. |
| Z向的负向运动的驱动力 | 20 N | 20 N | 20 N | typ. |
| 机械性能 | L-306.011100 | L-306.011112 | L-306.013112 | 公差 |
| Y向的允许推力 | 10 N | 10 N | 10 N | max. |
| Z向的允许推力 | 20 N | 20 N | 20 N | max. |
| θX向的允许力矩 | 1 N·m | 1 N·m | 1 N·m | max. |
| θY向的允许力矩 | 1 N·m | 1 N·m | 1 N·m | max. |
| θZ向的允许力矩 | 2 N·m | 2 N·m | 2 N·m | max. |
| Z向的保持力,被动 | 20 N | 20 N | — | |
| Z向的移动质量,空载 | 180 g | 180 g | 180 g | |
| 传动螺杆类型 | 滚珠丝杠 | 滚珠丝杠 | 滚珠丝杠 | |
| 丝杠螺距 | 0.5 mm | 0.5 mm | 0.5 mm | |
| 导轨 | 交叉滚柱导轨 | 交叉滚柱导轨 | 交叉滚柱导轨 | |
| 总质量 | 600 g | 600 g | 600 g | |
| 材料 | 阳极氧化铝,钢 | 阳极氧化铝,钢 | 阳极氧化铝,钢 | |
| 其他 | L-306.011100 | L-306.011112 | L-306.013112 | 公差 |
| 工作温度范围 | 5至40 °C | 5至40 °C | 5至40 °C | |
| 接头 | HD D-sub 26(公头) | HD D-sub 26(公头) | HD D-sub 26(公头) | |
| 电缆长度 | 0.5 m | 0.5 m | 0.5 m | |
| 推荐控制器/驱动器 | C-663.12 C-885与C-663.12C885 ACS模块化控制器 | C-663.12 C-885与C-663.12C885 ACS模块化控制器 | C-863.12 C-885与C-863.20C885 ACS模块化控制器 |
PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明,所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识 是指属性的统计平均值,并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中,我们只检测选定的属性,而不是全部属性。请注意,产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。
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紧凑型精密Z向位移台;两相步进电机;行程13mm;负载能力20N;最大速度5mm/s;滚珠丝杠;增量直线光栅尺,传感器分辨率5nm,A/B正交,RS-422;电缆长度0.5m
紧凑型精密Z向位移台;直流电机;行程13mm;负载能力20N;最大速度5mm/s;滚珠丝杠;增量直线光栅尺,传感器分辨率50nm,A/B正交,RS-422;电缆长度0.5m











