A-142 带空气轴承的PIglide音圈线性平台

高度紧凑型电动空气轴承线性平台

A-142小型直线平移台是一款高性能精密纳米定位系统，采用直驱音圈直线电机、高分辨率直线光栅尺以及无摩擦刚性空气轴承导轨。 其适用于免维护、高占空比的工业扫描与定位应用。 该音圈驱动平台所采用的设计，无需内部随动电缆。

面向高性能直线运动的小型平台设计

尽管体积小巧，这款小型直线平移台依然能够实现高性能直线运动，其表现是传统采用机械轴承的位移台难以达到的。 空气轴承滑台无需润滑、且不会产生颗粒物，因此可用于无尘室环境；这一特性也使其在光子学、光学以及半导体相关的测试、计量与对准等应用中具有明显优势。 由于直驱音圈直线电机与空气轴承均为免维护、无磨损设计，该紧凑型平移台可胜任工业场景下、24/7全天候运行的高吞吐量精密运动应用。

高精度、高重复性与高平滑运动

依托直线光栅尺的直接测量方式，以及直驱电机与空气轴承直线导轨的低摩擦特性，该小型空气轴承滑台可在宽动态范围内实现颇为平滑的运动。 其最高速度可达200mm/s，最大加速度可达1g。 集成式直线光栅尺的传感器分辨率可达5nm，平台最小增量位移为50nm。 该平台可在全行程范围内实现位置指令控制，位置重复精度达0.1µm。 音圈直线电机平台具备高速度与高加速度特性，尤其适用于高速扫描类应用。

垂直Z轴应用––可选配平衡装置

A-142小型平移台可选配平衡装置，因而可作为垂直定位平台使用。 该平衡装置可在稳态运行或位置保持过程中降低电机电流。

多轴小型平台应用––小型XY工作台与XYZ平台

两台A-142空气轴承小型平台可组合成小型XY工作台；同时也提供紧凑型三轴平台组合件，可用于在小型光学或光纤器件上完成复杂的高速多轴对准任务。 如需为您的应用选择合适的系统配置，欢迎联系PI工程师获取免费的技术咨询与方案建议。

运动控制器、编程与计算机控制选项

PI提供多款高性能运动控制器，可用于这些空气轴承小型直线滑台的编程与运行控制。 我们推荐选用兼容EtherCAT的控制器，例如A-811–A-814系列基于ACS的高性能运动控制器。 PI运动控制器同时配套丰富的编程示例、可用的对准例程以及仿真工具，便于客户在系统出货前完成程序编写并进行基础系统测试。

为什么选择空气轴承及空气轴承平台？

直线空气轴承（以及旋转空气轴承）相比传统机械轴承，在俯仰、偏转、旋转、直线度、平面度，以及摆动与偏心等指标上具有颇佳的几何性能。 空气轴承以无摩擦的气膜替代机械滚珠轴承或交叉滚子轴承的滚动/滑动接触，可实现近乎无限的使用寿命。 空气轴承直线滑台与旋转工作台无需润滑剂，且不易产生颗粒物，适用于无尘室应用。 PI的工程团队拥有数十年空气轴承设计、制造与装配经验，可提供丰富多样的空气轴承运动系统方案，从标准单轴小型平台到复杂的定制多轴花岗岩运动系统，均可满足。

为什么在紧凑型直线平台中采用音圈电机？

音圈直线电机可实现无摩擦直线运动，具备快度的响应速度、高加速度和高速度。 对于需要24/7全天候进行高动态扫描、且行程通常为25mm（1英寸）或更短的应用，音圈直线电机是为佳选。 其紧凑结构、免维护以及无颗粒产生的运行特性，也是重要优势。 对于更长行程，建议选用三相直线电机，例如A-123空气轴承直线滑台，或带机械轴承的V-417直线平台。

附件和可选配件

• PIglide过滤器和空气预处理器
• 用于垂直安装平台的气动平衡装置

小型空气轴承平台的应用

A-142空气轴承小型直线平台适用于高精度运动应用，例如计量、光子学对准系统、光学定位以及扫描等。 其非接触式设计尤其适合无尘室应用。