P-621.1U
PIHera精密线性纳米定位器，100µm，直接位置测量，电容传感器，D-sub接头，真空兼容至10-9hPa
P-621.1U - P-625.1U PIHera精密线性定位器
真空兼容，具有多种行程范围和轴配置
- 行程范围100至500µm（600µm开环）
- 分辨率达0.2nm
- 线性误差≤0.03%
- XY组合可用
- 兼容超高真空，可达10-9hPa
P-621.1CD的快速扫描运动（规定上升时间：5ms），配备带16位传感器分辨率和DDL选件的数字控制器。 数字动态线性化将扫描时的跟踪误差减小至低于20nm。 与标准的PID控制器相比，改进高达3个数量级，并随频率的增加而提高。
P-62x.1U，尺寸单位为mm。 请注意，在图中使用逗号而非小数点。
P-621.1U - P-625.1U PIHera精密线性定位器
产品描述
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应用领域
- 干涉测量
- 显微镜
- 纳米定位
- 生物技术
- 测试应用
- 半导体技术
- 光子
- 光纤定位
适用于复杂真空应用
压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现超低的排气率。
PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命
PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘促动器的十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
带电容式传感器，实现亚纳米分辨率
电容传感器以亚纳米级分辨率进行测量，且无接触。它们可带来良好的运动线性度、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
零游隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。其刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。其可在较宽的温度范围内工作。
直接位置测量带来高精度
运动直接在运动平台上测量，不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现高重复精度、高稳定性、高刚性，以及快速响应控制。
规格
规格
选择行程范围：
| 运动 | P-621.1U | P-622.1U | P-625.1U | 公差 |
|---|---|---|---|---|
| 主动轴 | X | X | X | |
| X向的行程 | 100 µm | 250 µm | 500 µm | |
| X向的开环行程 | 120 µm | 300 µm | 600 µm | ±20 % |
| X向的线性误差 | 0.02 % | 0.02 % | 0.03 % | typ. |
| 绕Y的角度误差（俯仰角） | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 6 µrad | typ. |
| 绕Z的角度误差（偏转角） | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 6 µrad | typ. |
| 定位 | P-621.1U | P-622.1U | P-625.1U | 公差 |
| X向的双向重复精度 | 1 nm | 1 nm | 5 nm | typ. |
| X向的开环分辨率 | 0.2 nm | 0.4 nm | 0.5 nm | typ. |
| 集成传感器 | 电容式，直接位置测量 | 电容式，直接位置测量 | 电容式，直接位置测量 | |
| X向的系统分辨率 | 0.4 nm | 0.7 nm | 1.4 nm | |
| 驱动性能 | P-621.1U | P-622.1U | P-625.1U | 公差 |
| 驱动类型 | PICMA | PICMA | PICMA | |
| 最大功耗 | 9 W | 9 W | 10 W | |
| X向的电容 | 1.5 µF | 3.1 µF | 6.2 µF | ±20 % |
| 短期最大工作频率，空载 | 267 Hz | 133 Hz | 72 Hz | |
| 机械性能 | P-621.1U | P-622.1U | P-625.1U | 公差 |
| X向的刚性 | 0.35 N/µm | 0.2 N/µm | 0.1 N/µm | ±20 % |
| X向的谐振频率，空载 | 800 Hz | 400 Hz | 215 Hz | ±20 % |
| 在20g负载下X向的谐振频率 | 520 Hz | 340 Hz | 180 Hz | ±20 % |
| 在120g负载下X向的谐振频率 | 240 Hz | 185 Hz | 110 Hz | ±20 % |
| X向的允许推力 | 10 N | 10 N | 10 N | max. |
| Y向的允许推力 | 10 N | 10 N | 10 N | max. |
| Z向的允许推力 | 10 N | 10 N | 10 N | max. |
| X向的允许拉力 | 10 N | 10 N | 10 N | max. |
| 导轨 | 带杠杆放大的柔性铰链导轨 | 带杠杆放大的柔性铰链导轨 | 带杠杆放大的柔性铰链导轨 | |
| 总质量 | 160 g | 200 g | 240 g | |
| 材料 | 铝 | 铝 | 铝 | |
| 其他 | P-621.1U | P-622.1U | P-625.1U | 公差 |
| 工作温度范围 | -20至80 °C | -20至80 °C | -20至80 °C | |
| 真空等级 | 10⁻⁹ ǀ hPa | 10⁻⁹ ǀ hPa | 10⁻⁹ ǀ hPa | |
| 接头 | D-sub 5W1（母头） | D-sub 5W1（母头） | D-sub 5W1（母头） | |
| 电缆长度 | 1.5 m | 1.5 m | 1.5 m | |
| 推荐控制器/驱动器 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754 |
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
所有规格参数基于室温（22°C±3°C）。
PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明，所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识 是指属性的统计平均值，并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中，我们只检测选定的属性，而不是全部属性。请注意，产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。
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P-622.1U
PIHera精密线性纳米定位器，250µm，直接位置测量，电容传感器，D-sub接头，真空兼容至10-9hPa
P-625.1U
PIHera精密线性纳米定位器，500µm，直接位置测量，电容传感器，D-sub接头，真空兼容至10-9hPa
