P-753.11C
LISA线性促动器和定位平台；行程15µm；电容式，直接位置测量；LEMO LVPZT接头；电缆长度1.5m
P-753 LISA线性促动器和平台
位置动态稳定
- 同时为平台和促动器提供导向
- 行程达38µm
- 分辨率0.1nm
- 直接驱动可实现快速的响应行为
- 采用电容传感器，线性度更高
P-753.1，尺寸单位为mm。 M2.5螺纹上的最大力矩：0.3Nm。 请注意，在图中使用逗号而非小数点。
P-753.2，尺寸单位为mm。 M2.5螺纹上的最大力矩：0.3Nm。 请注意，在图中使用逗号而非小数点。
P-753.3，尺寸单位为mm。 M2.5螺纹上的最大力矩：0.3Nm。 请注意，在图中使用逗号而非小数点。
P-753 LISA线性促动器和平台
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应用领域
- 扫描显微镜
- 测量技术
- 测试流程和质量保证
- 光子
- 光纤定位
PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命
PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。 这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。 PICMA促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘促动器的十倍。 它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
带电容式传感器，实现亚纳米分辨率
电容传感器以亚纳米级分辨率进行测量，且无接触。 它们可带来良好的运动线性度、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
零游隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。 其刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。 其可在较宽的温度范围内工作。
直接位置测量带来高精度
运动直接在运动平台上测量，不受驱动或导向元件的影响。 这样可以实现高重复精度、高稳定性、高刚性，以及快速响应控制。
采用PICMA直接驱动，实现更高刚性和动态
带PICMA直接驱动的压电陶瓷纳米定位器无机械平移。 因此可实现快速响应速度，并在压电陶瓷驱动范围内实现极高的刚性和动态。
规格
规格
选择行程范围：
| 运动 | P-753.11C | P-753.1CD | P-753.21C | P-753.2CD | P-753.31C | P-753.3CD | 公差 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 主动轴 | X | X | X | X | X | X | |
| X向的行程 | 15 µm | 15 µm | 30 µm | 30 µm | 38 µm | 38 µm | |
| 闭环线性误差 | 0.03 % | 0.03 % | 0.03 % | 0.03 % | 0.03 % | 0.03 % | typ. |
| 绕Y的角度误差（俯仰角） | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 7 µrad | ± 7 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | typ. |
| 绕Z的角度误差（偏转角） | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 7 µrad | ± 7 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | typ. |
| 定位 | P-753.11C | P-753.1CD | P-753.21C | P-753.2CD | P-753.31C | P-753.3CD | 公差 |
| 集成传感器 | 电容式，直接位置测量 | 电容式，直接位置测量 | 电容式，直接位置测量 | 电容式，直接位置测量 | 电容式，直接位置测量 | 电容式，直接位置测量 | |
| X向的系统分辨率 | 0.1 nm | 0.1 nm | 0.2 nm | 0.2 nm | 0.25 nm | 0.25 nm | |
| 驱动性能 | P-753.11C | P-753.1CD | P-753.21C | P-753.2CD | P-753.31C | P-753.3CD | 公差 |
| 驱动类型 | PICMA | PICMA | PICMA | PICMA | PICMA | PICMA | |
| X向的电容 | 1.5 µF | 1.5 µF | 3.1 µF | 3.1 µF | 4.6 µF | 4.6 µF | ±20 % |
| 机械性能 | P-753.11C | P-753.1CD | P-753.21C | P-753.2CD | P-753.31C | P-753.3CD | 公差 |
| X向的刚性 | 45 N/µm | 45 N/µm | 24 N/µm | 24 N/µm | 16 N/µm | 16 N/µm | ±20 % |
| X向的谐振频率，空载 | 5600 Hz | 5600 Hz | 3700 Hz | 3700 Hz | 2900 Hz | 2900 Hz | ±20 % |
| 在200g负载下X向的谐振频率 | 2500 Hz | 2500 Hz | 1700 Hz | 1700 Hz | 1400 Hz | 1400 Hz | ±20 % |
| X向的允许推力 | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | max. |
| Z向的允许推力 | 80 N | 80 N | 90 N | 90 N | 100 N | 100 N | max. |
| X向的允许拉力 | 20 N | 20 N | 20 N | 20 N | 20 N | 20 N | max. |
| 导轨 | 带杠杆放大的柔性铰链导轨 | 带杠杆放大的柔性铰链导轨 | 带杠杆放大的柔性铰链导轨 | 带杠杆放大的柔性铰链导轨 | 带杠杆放大的柔性铰链导轨 | 带杠杆放大的柔性铰链导轨 | |
| 总质量 | 160 g | 160 g | 215 g | 215 g | 260 g | 260 g | ±5 % |
| 材料 | 钢 | 钢 | 钢 | 钢 | 钢 | 钢 | |
| 其他 | P-753.11C | P-753.1CD | P-753.21C | P-753.2CD | P-753.31C | P-753.3CD | 公差 |
| 工作温度范围 | -20至80 °C | -20至80 °C | -20至80 °C | -20至80 °C | -20至80 °C | -20至80 °C | |
| 接头 | LEMO LVPZT | D-sub 7W2（公头） | LEMO LVPZT | D-sub 7W2（公头） | LEMO LVPZT | D-sub 7W2（公头） | |
| 传感器连接器 | 电容传感器的LEMO | — | 电容传感器的LEMO | — | 电容传感器的LEMO | — | |
| 电缆长度 | 1.5 m | 1.5 m | 1.5 m | 1.5 m | 1.5 m | 1.5 m | +50 mm / -0 mm |
| 推荐控制器/驱动器 | E-625、E-709.1C1L、E-754 | E-625、E-709.1C1L、E-754 | E-625、E-709.1C1L、E-754 | E-625、E-709.1C1L、E-754 | E-625、E-709.1C1L、E-754 | E-625、E-709.1C1L、E-754 |
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明，所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识 是指属性的统计平均值，并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中，我们只检测选定的属性，而不是全部属性。请注意，产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。
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产品注解
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Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
版本/日期
2021-04-19
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P-753.1CD
LISA线性促动器和定位平台；行程15µm；电容式，直接位置测量；D-sub 7W2接头（公）；电缆长度1.5m
P-753.21C
LISA线性促动器和定位平台；行程30µm；电容式，直接位置测量；LEMO LVPZT接头；电缆长度1.5m
P-753.2CD
LISA线性促动器和定位平台；行程30µm；电容式，直接位置测量；D-sub 7W2接头（公）；电缆长度1.5m
P-753.31C
LISA线性促动器和定位平台；行程38µm；电容式，直接位置测量；LEMO LVPZT接头；电缆长度1.5m
P-753.3CD
LISA线性促动器和定位平台；行程38µm；电容式，直接位置测量；D-sub 7W2接头（公）；电缆长度1.5m
