P-620.1CD
精密PIHera 线性纳米定位系统，50微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器
P-620.1 – P-629.1 PIHera压电陶瓷线性精密定位器
多种行程范围和轴配置
- 行程为50至1800微米
- 分辨率达0.1纳米
- 线性误差 0.02 %
- X、XY、Z版本；可提供XYZ组合
- 真空兼容版本达10-9百帕
P-62x.1CD/.1CL/.10L/.1UD，尺寸单位为毫米
带带16位传感器分辨率的数字控制器和DDL选项的P-621.1CD的快速扫描运动（规定上升时间：5毫秒）。数字动态线性化将扫描时的跟踪误差减小至低于20纳米。与标准的PID控制器相比，改进高达3个数量级，并随频率的增加而提高。
P-620.1 – P-629.1 PIHera压电陶瓷线性精密定位器
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应用领域
- 干涉测量
- 显微镜
- 纳米定位
- 生物技术
- 测试应用
- 半导体技术
- 光子
- 光纤定位
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
带电容式传感器，实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。
直接位置测量带来最大精度
运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。
适用于复杂真空应用
压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。
规格
规格
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运动和定位 | P-620.1CDP-620.1CL | P-621.1CDP-621.1CL | P-622.1CDP-622.1CL | P-625.1CDP-625.1CL | P-628.1CDP-628.1CL | P-629.1CDP-629.1CL | 单位 | 公差 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
集成传感器 | 电容式 | 电容式 | 电容式 | 电容式 | 电容式 | 电容式 | ||
-20至120 伏时的开环行程 | 60 | 120 | 300 | 600 | 950 | 1800 | 微米 | +20 % / -0 % |
行程，闭环 | 50 | 100 | 250 | 500 | 800 | 1500 | 微米 | |
分辨率，闭环/开环 | 0.2 / 0.1 | 0.4 / 0.2 | 0.7 / 0.4 | 1.4 / 0.5 | 1.8 / 0.5 | 3 / 2 | 纳米 | 典型值 |
线性误差，闭环 | 0.02 | 0.02 | 0.02 | 0.03 | 0.03* | 0.03** | % | 典型值 |
重复精度 | ±1 | ±1 | ±1 | ±5 | ±10 | ±14 | 纳米 | 典型值 |
螺距/偏转角 | ±3 | ±3 | ±3 | ±6 | ±6 | ±30 / ±10 | 微弧度 | 典型值 |
机械特性 | P-620.1CDP-620.1CL | P-621.1CDP-621.1CL | P-622.1CDP-622.1CL | P-625.1CDP-625.1CL | P-628.1CDP-628.1CL | P-629.1CDP-629.1CL | 单位 | 公差 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
运动方向上的刚性 | 0.42 | 0.35 | 0.2 | 0.1 | 0.12 | 0.13 | 牛/微米 | ±20 % |
谐振频率，空载 | 1100 | 800 | 400 | 215 | 125 | 125 | 赫兹 | ±20 % |
带20 克负载时的谐振频率 | 550 | 520 | 340 | 180 | 115 | 120 | 赫兹 | ±20 % |
带120 克负载时的谐振频率 | 260 | 240 | 185 | 110 | 90 | 110 | 赫兹 | ±20 % |
运动方向上的推/拉力 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 牛 | 最大 |
负载容量 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 牛 | 最大 |
侧力 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 8 | 牛 | 最大 |
其他 | P-620.1CDP-620.1CL | P-621.1CDP-621.1CL | P-622.1CDP-622.1CL | P-625.1CDP-625.1CL | P-628.1CDP-628.1CL | P-629.1CDP-629.1CL | 单位 | 公差 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
工作温度范围 | -20 到 80 | -20 到 80 | -20 到 80 | -20 到 80 | -20 到 80 | -20 到 80 | °C | |
材料 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 | ||
尺寸 | 30 毫米 × 30 毫米 × 12 毫米 | 40 毫米 × 40 毫米 × 15 毫米 | 50 毫米 × 50 毫米 × 15 毫米 | 60 毫米 × 60 毫米 × 15 毫米 | 80 毫米 × 80 毫米 × 17 毫米 | 100 毫米 × 100 毫米 × 22.5 毫米 | ||
质量 | 0.11 | 0.16 | 0.2 | 0.24 | 0.38 | 0.72 | 千克 | ±5 % |
电缆长度 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 米 | ±10 毫米 |
传感器/电压连接 | CD版本：Sub-D 7W2（公头） CL版本：LEMO | CD版本：Sub-D 7W2（公头） CL版本：LEMO | CD版本：Sub-D 7W2（公头） CL版本：LEMO | CD版本：Sub-D 7W2（公头） CL版本：LEMO | CD版本：Sub-D 7W2（公头） CL版本：LEMO | CD版本：Sub-D 7W2（公头） CL版本：LEMO | ||
推荐电控 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754 |
*带数字式控制器。带模拟量控制器0.05 %。
**带数字式控制器。带模拟量控制器0.08 %。
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
不带传感器的版本的订购编码为P-62x.Z0L；工作温度范围为-20至150 摄氏度；LEMO电压连接。
可提供真空达10-9 百帕的版本，订购编码为P-62x.1UD。
所有规格参数基于室温（22°C±3°C）。
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产品注解
产品注解
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
版本/日期
2021-04-19
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3D模型
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P-62x.1 STEP
版本/日期
---
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带Sub-D连接器（公头）的版本
P-621.1CD
精密PIHera 线性纳米定位系统，100微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器
P-622.1CD
精密PIHera 线性纳米定位系统，250微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器
P-625.1CD
精密PIHera 线性纳米定位系统，500微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器
P-628.1CD
精密PIHera 线性纳米定位系统，800微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器
P-629.1CD
精密PIHera 线性纳米定位系统，1500微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器
带LEMO连接器的版本
P-620.1CL
精密PIHera 线性纳米定位系统，50微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器
P-621.1CL
精密PIHera 线性纳米定位系统，100微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器
P-622.1CL
精密PIHera 线性纳米定位系统，250微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器
P-625.1CL
精密PIHera 线性纳米定位系统，500微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器
P-628.1CL
精密PIHera 线性纳米定位系统，800微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器
P-629.1CL
精密PIHera 线性纳米定位系统，1500微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器
不带位置传感器的线性定位器
P-620.10L
精密PIHera 线性纳米定位系统，60微米，LEMO连接器，不带传感器
P-621.10L
精密PIHera 线性纳米定位系统，120微米，LEMO连接器，不带传感器
P-622.10L
精密PIHera 线性纳米定位系统，300微米，LEMO连接器，不带传感器
P-625.10L
精密PIHera 线性纳米定位系统，600微米，LEMO连接器，不带传感器
P-628.10L
精密PIHera 线性纳米定位系统，950微米，LEMO连接器，不带传感器
P-629.10L
精密PIHera 线性纳米定位系统，1800微米，LEMO连接器，不带传感器
线性定位器，真空兼容达10-9百帕
P-620.1UD
精密PIHera 线性纳米定位系统，50微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器，真空兼容至10-9百帕
P-621.1UD
精密PIHera 线性纳米定位系统，100微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器，真空兼容至10-9百帕
P-622.1UD
精密PIHera 线性纳米定位系统，250微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器，真空兼容至10-9百帕
P-625.1UD
精密PIHera 线性纳米定位系统，500微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器，真空兼容至10-9百帕
P-628.1UD
精密PIHera 线性纳米定位系统，800微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器，真空兼容至10-9百帕
P-629.1UD
精密PIHera 线性纳米定位系统，1500微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器，真空兼容至10-9百帕
