闭环/开环行程
闭环/开环分辨率
负载容量
倾斜ΘX, ΘY
谐振频率（空载）
P-750.00
– / 75微米
– / 0.4微米
100 牛
±10微弧度
600 赫兹
带电容式传感器的P-750.20
75 微米 / 75 微米
1 纳米 / 0.4 纳米
*每1赫兹和1微米的动态操作电流效率，单位为微安。例：10赫兹下30微米的正弦扫描需要约3.8毫安的驱动电流。
**PI压电陶瓷纳米级定位系统的分辨率不受摩擦力或静摩擦力的限制。所给出的值为带E-503放大器的噪声等效运动。
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