P-620.2 – P-629.2 PIHeraXY向压电工作台

主动轴

X, Y

X, Y

X, Y

X, Y

X, Y

X, Y

运动和定位

集成传感器

电容式

电容式

电容式

电容式

电容式

电容式

-20至120 伏时X、Y向上的开环行程

60

120

300

600

950

1800

微米

+20 % / -0 %

X、Y向上的闭环行程

50

100

250

500

800

1500

微米

X、Y向上的开环分辨率

0.1

0.2

0.4

0.5

0.5

2

纳米

典型值

X、Y向上的闭环分辨率

0.2

0.4

0.7

1.4

3.5

3.5

纳米

典型值

X、Y向上的线性误差

0.02

0.02

0.02

0.03

0.03*

0.03**

%

典型值

X、Y向上的重复精度

±2

±2

±2

±5

±10

±14

纳米

典型值

螺距/偏转角

±3

±3

±3

±3 / ±5

±20 / ±5

±30 / ±5

微弧度

典型值

机械特性

X、Y向上的刚性

0.22

0.25

0.2

0.1

0.05

0.1

牛/微米

±20 %

X向上的空载谐振频率

575

420

225

135

75

60

赫兹

±20 %

Y向上的空载谐振频率

800

535

300

195

105

100

赫兹

±20 %

带50 克负载时X向上的谐振频率

270

285

180

120

60

55

赫兹

±20 %

带50 克负载时Y向上的谐振频率

395

365

215

150

85

85

赫兹

±20 %

带100 克负载时X向上的谐振频率

285

220

160

105

55

50

赫兹

±20 %

带100 克负载时Y向上的谐振频率

300

285

175

125

75

80

赫兹

±20 %

运动方向上的推/拉力

10 / 5

10 / 8

10 / 8

10 / 8

10 / 8

10 / 8

牛

最大

负载容量

10

10

10

10

10

10

牛

最大

侧力

10

10

10

10

10

10

牛

最大

驱动特性

压电陶瓷

PICMAP-883

PICMAP-885

PICMAP-885

PICMAP-885

PICMAP-887

PICMAP-888

X、Y向上的电容

0.35

1.5

3.1

6.2

19

52

微法

±20 %

其他

工作温度范围

-20 到 80

-20 到 80

-20 到 80

-20 到 80

-20 到 80

-20 到 80

°C

材料

铝

铝

铝

铝

铝

铝

尺寸

30 毫米 × 30 毫米 × 21.5 毫米

40 毫米 × 40 毫米 × 25 毫米

50 毫米 × 50 毫米 × 25 毫米

60 毫米 × 60 毫米 × 25 毫米

80 毫米 × 80 毫米 × 25 毫米

100 毫米 × 100 毫米 × 40 毫米

质量

0.195

0.295

0.348

0.43

0.7

1.37

千克

±5 %

电缆长度

1.5

1.5

1.5

1.5

1.5

1.5

米

±10 毫米

传感器/电压连接

CD版本：Sub-D 7W2（公头）

CL版本：LEMO

CD版本：Sub-D 7W2（公头）

CL版本：LEMO

CD版本：Sub-D 7W2（公头）

CL版本：LEMO

CD版本：Sub-D 7W2（公头）

CL版本：LEMO

CD版本：Sub-D 7W2（公头）

CL版本：LEMO

CD版本：Sub-D 7W2（公头）

CL版本：LEMO

推荐电控

E-503、E-505、E-663、E-712、E-727

E-503、E-505、E-663、E-712、E-727

E-503、E-505、E-663、E-712、E-727

E-503、E-505、E-663、E-712、E-727

E-503、E-505、E-663、E-712、E-727

E-503、E-505、E-663、E-712、E-727