P-611.3 NanoCubeXYZ压电陶瓷系统

用于纳米级定位和光纤校准的紧凑型多轴压电系统

行程达120 µm × 120 µm × 120 µm
紧凑型：44mm × 44mm × 44mm
分辨率达0.2nm
响应迅速
零间隙、高精度柔性铰链导向
PICMA^{压电陶瓷促动器带来长使用寿命}
^{用于快速扫描}
^{带集成式光纤夹持器的版本}
^{经济型系统}

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应用领域

光子学/集成光学
显微操纵
生物技术
半导体测试
光纤定位

PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命

PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘促动器的十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

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数据表

版本/日期

2026-06-29

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版本/日期

2026-06-29

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版本/日期

2026-06-29

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版本/日期

2019-01-18

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选择行程范围：

运动	P-611.3O	P-611.3OF	P-611.3S	P-611.3SF	公差
主动轴	X ǀ Y ǀ Z	X ǀ Y ǀ Z	X ǀ Y ǀ Z	X ǀ Y ǀ Z
X向的行程	—	—	100 µm	100 µm
Y向的行程	—	—	100 µm	100 µm
Z向的行程	—	—	100 µm	100 µm
X向的开环行程，电压-20至120V	120 µm	120 µm	120 µm	120 µm	+20 % / -0 %
Y向的开环行程，电压-20至120V	120 µm	120 µm	120 µm	120 µm	+20 % / -0 %
Z向的开环行程，电压-20至120V	120 µm	120 µm	120 µm	120 µm	+20 % / -0 %
线性误差	—	—	0.1 %	0.1 %	typ.
角度误差E_AY（俯仰角）	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	typ.
角度误差E_AZ	± 10 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	typ.
角度误差E_BX（俯仰角）	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	typ.
角度误差E_BZ	± 10 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	typ.
角度误差E_CX（偏转角）	± 20 µrad	± 20 µrad	± 20 µrad	± 20 µrad	typ.
角度误差E_CY（偏转角）	± 10 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	typ.
定位	P-611.3O	P-611.3OF	P-611.3S	P-611.3SF	公差
X向的单向重复精度	—	—	± 10 nm	± 10 nm	typ.
Y向的单向重复精度	—	—	± 10 nm	± 10 nm	typ.
Z向的单向重复精度	—	—	± 10 nm	± 10 nm	typ.
X向的开环分辨率	0.2 nm	0.2 nm	0.2 nm	0.2 nm	typ.
Y向的开环分辨率	0.2 nm	0.2 nm	0.2 nm	0.2 nm	typ.
Z向的开环分辨率	0.2 nm	0.2 nm	0.2 nm	0.2 nm	typ.
集成传感器	—	—	应变片传感器，直接位置测量	应变片传感器，直接位置测量
X向的系统分辨率	—	—	1 nm	1 nm
Y向的系统分辨率	—	—	1 nm	1 nm
Z向的系统分辨率	—	—	1 nm	1 nm
驱动性能	P-611.3O	P-611.3OF	P-611.3S	P-611.3SF	公差
驱动类型	PICMA	PICMA	PICMA	PICMA
电容	1,5 µF	1,5 µF	1,5 µF	1,5 µF	±20 %
机械性能	P-611.3O	P-611.3OF	P-611.3S	P-611.3SF	公差
刚性	0.3 N/µm	0.3 N/µm	0.3 N/µm	0.3 N/µm	±20 %
X向的谐振频率，空载	350 Hz	350 Hz	350 Hz	350 Hz	±20 %
在30g负载下X向的谐振频率	270 Hz	270 Hz	270 Hz	270 Hz	±20 %
在100g负载下X向的谐振频率	180 Hz	180 Hz	180 Hz	180 Hz	±20 %
Y向的谐振频率，空载	220 Hz	220 Hz	220 Hz	220 Hz	±20 %
在30g负载下Y向的谐振频率	185 Hz	185 Hz	185 Hz	185 Hz	±20 %
在100g负载下Y向的谐振频率	135 Hz	135 Hz	135 Hz	135 Hz	±20 %
Z向的谐振频率，空载	250 Hz	250 Hz	250 Hz	250 Hz	±20 %
在30g负载下Z向的谐振频率	230 Hz	230 Hz	230 Hz	230 Hz	±20 %
在100g负载下Z向的谐振频率	200 Hz	200 Hz	200 Hz	200 Hz	±20 %
X向的允许推力	15 N	15 N	15 N	15 N	max.
Y向的允许推力	15 N	15 N	15 N	15 N	max.
Z向的允许推力	15 N	15 N	15 N	15 N	max.
X向的允许拉力	10 N	10 N	10 N	10 N	max.
Y向的允许拉力	10 N	10 N	10 N	10 N	max.
Z向的允许拉力	10 N	10 N	10 N	10 N	max.
导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨
总质量	320 g	320 g	320 g	320 g	±5 %
材料	铝、钢	铝、钢	铝、钢	铝、钢
其他	P-611.3O	P-611.3OF	P-611.3S	P-611.3SF	公差
工作温度范围	-20至80 °C	-20至80 °C	-20至80 °C	-20至80 °C
接头	D-sub 25（公头）	D-sub 25（公头）	D-sub 25（公头）	D-sub 25（公头）
传感器连接器	—	—	D-sub 25（公头）	D-sub 25（公头）
电缆长度	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	±10 mm
推荐控制器/驱动器	E-503、E-505、E-663、E-664、E-727	E-503、E-505、E-663、E-664、E-727	E-503、E-505、E-663、E-664、E-727	E-503、E-505、E-663、E-664、E-727

因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。

可提供用于传感器和工作电压的带LEMO连接器的适配器电缆。

PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明，所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识是指属性的统计平均值，并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中，我们只检测选定的属性，而不是全部属性。请注意，产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。

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产品注解

版本/日期

2021-04-19

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