压电陶瓷Z向位移台;行程120µm(开环);LEMO接头;电缆长度1.5m
P-611.Z 压电Z向位移台
紧凑型纳米级定位器
- 紧凑型:表面仅44mm×44mm
- 行程100µm
- 分辨率达0.2nm
- 经济实惠(机械本体与控制器)
- 零间隙高精度柔性铰链导向系统
- PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命
- X、XY、XZ和XYZ型
P-611.Z 压电Z向位移台
产品描述
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| 运动 | P-611.Z0 | P-611.ZS | 公差 |
|---|---|---|---|
| 主动轴 | Z | Z | |
| Z向的行程 | — | 100 µm | |
| Z向的开环行程 | 120 µm | 120 µm | ±20 % |
| Z向的线性误差 | — | 0.1 % | typ. |
| 绕X的角度误差 | ± 20 µrad | ± 20 µrad | typ. |
| 绕Y的角度误差 | ± 5 µrad | ± 5 µrad | typ. |
| 绕Z的角度误差 | ± 5 µrad | ± 5 µrad | typ. |
| 带宽,Z向10%步长 | 40 Hz | 40 Hz | |
| 定位 | P-611.Z0 | P-611.ZS | 公差 |
| Z向的双向重复精度 | — | 5 nm | typ. |
| Z向的开环分辨率 | 0.2 nm | 0.2 nm | typ. |
| 集成传感器 | — | 应变片传感器,间接位置测量 | |
| Z向的系统分辨率 | — | 2 nm | |
| Z向10%步长的稳定时间 | 25 ms | 25 ms | |
| 驱动性能 | P-611.Z0 | P-611.ZS | 公差 |
| 驱动类型 | PICMA | PICMA | |
| Z向的电容 | 1.5 µF | 1.5 µF | ±20 % |
| 机械性能 | P-611.Z0 | P-611.ZS | 公差 |
| Z向的刚性 | 0.45 N/µm | 0.45 N/µm | ±20 % |
| Z向的谐振频率,空载 | 460 Hz | 460 Hz | ±20 % |
| 在30g负载下Z向的谐振频率 | 375 Hz | 375 Hz | ±20 % |
| 在100g负载下Z向的谐振频率 | 265 Hz | 265 Hz | ±20 % |
| Z向的允许推力 | 15 N | 15 N | max. |
| Z向的允许拉力 | 10 N | 10 N | max. |
| 导轨 | 带杠杆放大的柔性铰链导轨 | 带杠杆放大的柔性铰链导轨 | |
| 总质量 | 176 g | 176 g | |
| 材料 | 铝、钢 | 铝、钢 | |
| 其他 | P-611.Z0 | P-611.ZS | 公差 |
| 工作温度范围 | -20至80 °C | -20至80 °C | |
| 接头 | LEMO FFS.00.250.CTCE24 | LEMO FFS.00.250.CTCE24 | |
| 传感器连接器 | — | LEMO FFA.0S.304.CLAC32 | |
| 电缆长度 | 1.5 m | 1.5 m | |
| 推荐控制器/驱动器 | E-610, E-625, E-665, E-836 | E-610、E-625、E-665、E-709.SRG、E-836 |
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
系统特性
系统配置:P-611.ZS与E-665.SR控制器,负载为30g
PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明,所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识 是指属性的统计平均值,并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中,我们只检测选定的属性,而不是全部属性。请注意,产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。
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数据表
文件
文件
用户使用手册PZ253
具有应变片传感器/无传感器的P-611纳米级定位系统
版本/日期
1.2.2 2022-08-24
pdf - 3 MB
版本/日期
1.2.2 2022-08-24
pdf - 3 MB
文件
Unpacking Instructions P611T0006
Unpacking and Handling of P-611 Positioners
版本/日期
2018-01-24
pdf - 768 KB
English
3D模型
3D模型
P-611.Z 3D模型
zip - 200 KB



















