P-611.Z 压电Z向位移台

主动轴

Z

Z

集成传感器

应变片传感器

-

-20至+120伏时的开环行程

120

120

微米

+20 % / -0 %

行程，闭环

100

-

微米

分辨率，开环

0.2

0.2

纳米

典型值

分辨率，闭环

2

-

纳米

典型值

线性误差

0.1

-

%

典型值

重复精度

<10

-

纳米

典型值

θ_Z向上的倾斜（Z向运动）

±5

±5

微弧度

典型值

θ_X向上的倾斜（Z向运动）

±20

±20

微弧度

典型值

θ_Y向上的倾斜（Z向运动）

±5

±5

微弧度

典型值

刚度

0.45

0.45

牛/微米

±20 %

谐振频率，空载

460

460

赫兹

±20 %

带30克负载时的谐振频率

375

375

赫兹

±20 %

带100克负载时的谐振频率

265

265

赫兹

±20 %

推/拉力大小

15 / 10

15 / 10

牛

最大

陶瓷类型

PICMAP-885

PICMAP-885

电容

1.5

1.5

微法

±20 %

工作温度范围

-20 到 80

-20 到 80

°C

材料

铝、钢

铝、钢

尺寸

44 毫米 × 44 毫米 × 27 毫米

44 毫米 × 44 毫米 × 27 毫米

质量

176

176

克

±5 %

电缆长度

1.5

1.5

米

±10 毫米

传感器连接

LEMO

LEMO

电压连接

LEMO

LEMO

推荐电控

E-610、E-625、E-665、E-836

E-610、E-625、E-665、E-836