M-110 • M-111 • M-112 V6 Vacuum-Compatible Compact Linear Stage

M-110 • M-111 • M-112 V6 Vacuum-Compatible Compact Linear Stage

带直流齿轮电机和各种行程变型的XY(Z)组合

适用于高达10^-6百帕的真空度
折叠驱动，非常紧凑
闭环直流电机
行程：5、15和25毫米
非接触式参考和限位开关
XY装置可直接安装

M-111.1VG1

M-11x.1VG1，尺寸单位为毫米。请注意，在图中使用逗号而非小数点。

带皮带驱动的折叠驱动，线性平台结构紧凑。通光孔径直径为10毫米。XY装置可直接安装，无需接装板。

最值得注意的是，对于导轨和传动螺杆的润滑，使用具有特别低除气的材料。因此，可承受温度高达80摄氏度。通过对PI V6真空等级的这一和其他修改，此定位器可以使用高达10^-6百帕。

闭环直流齿轮电机
空回补偿型丝杠

电机轴上的旋转编码器
非接触式霍尔效应参考和限位开关

真空室。研究. 高能束线设备. 显微镜. 电子元件组装和检验.

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数据表

版本/日期

2022-05-30

pdf - 580 KB

版本/日期

2022-05-30

pdf - 582 KB

运动和定位	M-110.1VG1	M-111.1VG1	M-112.1VG1	单位	公差
行程	5	15	25	毫米
集成传感器	旋转编码器	旋转编码器	旋转编码器
传感器分辨率	2048	2048	2048	步/圈
设计分辨率⁽¹⁾	0.0048	0.0048	0.0048	微米
最小位移⁽¹⁾	0.05	0.05	0.05	微米	典型值
空回	3	3	3	微米	典型值
单向重复精度	0.25	0.25	0.25	微米	典型值
速度	0.65	0.65	0.65	毫米/秒	最大

机械特性	M-110.1VG1	M-111.1VG1	M-112.1VG1	单位	公差
传动螺杆类型	丝杠	丝杠	丝杠
丝杠螺距	0.4	0.4	0.4	毫米
齿轮速比	29791:729	29791:729	29791:729
负载容量	30	30	20	牛	最大
推拉力	10	10	10	牛	最大
自锁	10	10	10	牛	最大
允许侧向力	15	10	10	牛	最大

驱动特性	M-110.1VG1	M-111.1VG1	M-112.1VG1	单位	公差
电机类型	直流齿轮电机	直流齿轮电机	直流齿轮电机
工作电压	0至±12	0至±12	0至±12	伏
电机功率	0.52	1.75	1.75	瓦
每相的标称电流	160	320	320	毫安
参考和限位开关	霍尔效应	霍尔效应	霍尔效应

其他	M-110.1VG1	M-111.1VG1	M-112.1VG1	单位	公差
工作温度范围	-20到65	-20至65	-20到65	摄氏度
耐温	80	80	80	摄氏度	最大
材料	阳极氧化致黑铝	阳极氧化致黑铝	阳极氧化致黑铝
质量	0.3	0.4	0.5	千克	±5 %
固定电缆⁽²⁾，在真空侧：电缆长度	0.5	0.5	0.5	米
连接器	HD D-sub 26（公头）	HD D-sub 26（公头）	HD D-sub 26（公头）
推荐控制器	C-863.12	C-863.12	C-863.12

⁽¹⁾带推荐的控制器

⁽²⁾ 电缆固定在产品上

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2022-05-30

pdf - 580 KB

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2022-05-30

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数据表

版本/日期

2020-10-08

pdf - 790 KB

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2020-10-08

pdf - 789 KB

版本/日期

2021-01-14

pdf - 372 KB

文件

M-110.xxx1 / M-111.xxx1 / M-112.xxx1微平移位移台

版本/日期

2023-07-25

pdf - 1 MB

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2023-07-25

pdf - 1 MB

文件

带电机的定位器：M-06x、M-11x、M-12x、M-4xx、M-5xx

版本/日期

3.2.0 01/2021

pdf - 1 MB

版本/日期

3.2.0 01/2021

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3D模型

版本/日期

2020-03-30

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M-110.1VG1

紧凑型线性平台，62毫米宽度，折叠型动力传动系统，5毫米行程，30牛负载容量，直流齿轮电机，带A/B正交信号传输的增量旋转编码器，丝杠，真空兼容至10^-6百帕

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M-111.1VG1

紧凑型线性平台，62毫米宽度，折叠型动力传动系统，15毫米行程，30牛负载容量，直流齿轮电机，带A/B正交信号传输的增量旋转编码器，丝杠，真空兼容至10^-6百帕

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M-112.1VG1

紧凑型线性平台，62毫米宽度，折叠型动力传动系统，25毫米行程，30牛负载容量，直流齿轮电机，带A/B正交信号传输的增量旋转编码器，丝杠，真空兼容至10^-6百帕

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C-815.VF26

真空接头，HD D-sub 26（公头/母头），适用于高真空（达10^-6百帕）

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M-110.02

用于M-110在M-110、M-111和M-112上的垂直安装支架

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M-110.03

用于M-111在M-110、M-111和M-112上的垂直安装支架

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M-110.04

用于M-112在M-110、M-111和M-112上的垂直安装支架

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