M-110 • M-111 • M-112 V6 真空兼容紧凑型线性平台

带直流齿轮电机和各种行程变型的XY(Z)组合

适用于高达10^-6hPa的真空度
折叠驱动，非常紧凑
闭环直流电机
行程：5、15和25mm
非接触式参考点和限位开关
XY装置可直接安装

报价/订购

M-11x.1VG1，尺寸单位为mm

紧凑型线性平台，用途广泛

带皮带传动的折叠式驱动，线性平台结构紧凑。通光孔径直径为10mm。 XY装置可直接安装，无需接装板。

减少除气，特别是在真空环境中使用时

最值得注意的是，导轨和主轴的润滑采用了一种逸气特性极低的材料。该系统可承受高达80°C的温度。通过对PI V6真空等级的这一和其他修改，此定位器可以使用高达10^-6hPa。

驱动器

闭环直流齿轮电机
空回补偿型螺纹主轴

位置测量

电机轴上的旋转编码器
非接触式霍尔效应参考点和限位开关

应用领域

真空腔。研究。高能束线设备。显微镜。电子元件组装和检验。

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数据表

版本/日期

2025-01-21

pdf - 533 KB

版本/日期

2025-01-21

pdf - 534 KB

版本/日期

2025-01-30

pdf - 828 KB

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选择行程范围：

运动	M-110.1VG1	M-111.1VG1	M-112.1VG1	公差
主动轴	X	X	X
X向上的行程	5 mm	15 mm	25 mm
X向上的最大速度，空载	1 mm/s	1.5 mm/s	1.5 mm/s
定位	M-110.1VG1	M-111.1VG1	M-112.1VG1	公差
X向上的最小位移	0.05 µm	0.05 µm	0.05 µm	typ.
X向上的单向重复精度	± 0.125 µm	± 0.125 µm	± 0.125 µm	typ.
X向上的双向重复精度	4 µm	4 µm	4 µm	typ.
X向上的空回	3 µm	3 µm	3 µm	typ.
参考点开关	霍尔效应	霍尔效应	霍尔效应
限位开关	霍尔效应	霍尔效应	霍尔效应
电机编码器	增量旋转编码器	增量旋转编码器	增量旋转编码器
电机编码器：传感器信号	A/B正交，RS-422	A/B正交，RS-422	A/B正交，RS-422
分辨率，电机编码器	2048 步/圈	2048 步/圈	2048 步/圈
驱动性能	M-110.1VG1	M-111.1VG1	M-112.1VG1	公差
驱动类型	直流齿轮电机	直流齿轮电机	直流齿轮电机
标称电压	12 V	12 V	12 V
标称电流，均方根	0.16 A	0.32 A	0.32 A	typ.
X向上的正向运动的驱动力	10 N	10 N	10 N	typ.
X向上的负向运动的驱动力	10 N	10 N	10 N	typ.
机械性能	M-110.1VG1	M-111.1VG1	M-112.1VG1	公差
Y向上的允许推力	15 N	10 N	10 N	max.
Z向上的允许推力	30 N	30 N	20 N	max.
θX向上的允许力矩	0.15 N·m	0.15 N·m	0.15 N·m	max.
θY向上的允许力矩	0.15 N·m	0.15 N·m	0.15 N·m	max.
θZ向上的允许力矩	0.15 N·m	0.15 N·m	0.15 N·m	max.
X向上的保持力，被动	10 N	10 N	10 N
X向上的移动质量，空载	11 g	11 g	11 g
传动螺杆类型	细牙螺纹主轴	细牙螺纹主轴	细牙螺纹主轴
丝杠螺距	0.4 mm	0.4 mm	0.4 mm
齿轮速比i	29791 : 729	29791 : 729	29791 : 729
导轨	滚珠导轨	滚珠导轨	滚珠导轨
总质量	250 g	270 g	300 g
材料	阳极氧化铝	阳极氧化铝	阳极氧化铝
其他	M-110.1VG1	M-111.1VG1	M-112.1VG1	公差
工作温度范围	-20至65 °C	-20至65 °C	-20至65 °C
真空等级	10⁻⁶ ǀ hPa	10⁻⁶ ǀ hPa	10⁻⁶ ǀ hPa
连接器	HD D-sub 26针（公头）	HD D-sub 26针（公头）	HD D-sub 26针（公头）
电缆长度	0.5 m	0.5 m	0.5 m
推荐控制器/驱动器	C-863 C-884 G-901 G-910 ACS模块化控制器	C-863 C-884 G-901 G-910 ACS模块化控制器	C-863 C-884 G-901 G-910 ACS模块化控制器

最小位移说明：在使用推荐控制器时可实现所列数值

额定电流说明：所列数值适用于每个相位

PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明，所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识是指属性的统计平均值，并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中，我们只检测选定的属性，而不是全部属性。请注意，产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。

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2025-01-21

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2025-01-30

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