压电陶瓷纳米定位系统以0.3nm步进运动，通过PI电容传感器（下曲线）和高精度激光干涉仪（型号为Zygo ZMI 2000，上曲线）测量。 电容传感器表现出比干涉仪更高的分辨率。
D-050.00，尺寸单位为mm。 请注意，在图中使用逗号而非小数点。
D-100.00，尺寸单位为mm。 请注意，在图中使用逗号而非小数点。
分辨率
电容传感器可在更短距离内实现皮米级的分辨率。 理论测量分辨率是无限的。 实际上，散射辐射、几何效应和测量电控噪声会影响可实现的精度。 搭配E-509.C1A电子器件使用时，D-100.00传感器（100µm）的有效噪声因数为0.02nm/√Hz。 例如，相当于100Hz带宽下0.2nm的分辨率。 电子器件的带宽可通过跳线调节，最高可达3kHz。
除了此处列出的标准传感器外，PI还针对测量、几何、材料、电控等提供定制版本。
应用领域
精密定位。
铝
E-509.CxA
分辨率：在3kHz频率下，搭配E-509.C3A使用。
线性误差：带数字式控制器；搭配E-509模拟控制器使用时达0.05%。
热漂移：有效表面尺寸变化，单位为ppm（百万分之一），针对量程。
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D-015、D-050、D-100电容传感器
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电容式双板位置传感器，50µm标称量程，铝制
电容式双板位置传感器，100µm标称量程，铝制
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电容传感器是极苛刻纳米级定位应用的首选计量系统。
