E-509是一个带传感器评估电控的位置控制模块，用于带集成位置传感器的纳米定位系统。它可自动消除电压控制压电操作过程中的漂移或滞后，当负载改变、压电电压立即被调整时，它可补偿压电陶瓷促动器的位置变化。
E-509伺服控制器模块的比例积分位置控制经过了优化，用于压电陶瓷操作。比例和积分项以及控制带宽可单独调整。集成式陷波滤波器（各轴均可设置）可提高稳定性，且可实现更接近压电陶瓷系统的机械谐振频率的更宽带宽操作。因此，根据压电陶瓷机械部件和传感器类型，纳米级的定位准确性和重复精度均可实现。
用于信号评估的E-509.E03和用作伺服控制器模块的E-509.E3均可用于PISeca系列的高分辨率电容式单板传感器。
E-509.C1A / E-509.C2A / E-509.C3A
E-509.S1 / E-509.S3
功能
用于压电陶瓷机械部件的传感器评估和位置伺服控制电控
轴
1 / 2 / 3
1 / 3
传感器
控制器类型
P-I（模拟），陷波滤波器
传感器类型
电容式
应变片传感器
传感器通道
1 / 2 /3
传感器带宽
0.3至3千赫兹（跳线可选择）；可按需增至10千赫兹
0.3；1；3千赫兹
噪声因数
0.115百万分之/根号赫兹
-
热漂移
<0.3毫伏/摄氏度
<3毫伏/摄氏度
线性误差
<0.05 %
<0.2 %
接口和操作
传感器连接
LEMO EPL.00.250.NTD
LEMO ERA.0S.304.CLL
传感器监控器输出
0-10伏
传感器监控器插座
LEMO 6针FGG.0B.306.CLAD56
BNC（单通道）/3针LEMO（三通道）
支持功能
ILS
显示器和指示灯
溢流指示灯
其他
工作温度范围
5至50摄氏度
尺寸
7 T / 3 H
质量
0.35千克
工作电压
E-500系统
最大功耗
4至8瓦
E-500/E-501系列模块化压电控制器：底盘带电源、放大器模块（E-503、E-504、E-505、E-506、E-508）、传感器和伺服控制模块（E-509）、显示和接口模块（E-515、E-517）。
E-509传感器/压电伺服控制模块
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