P-733.2CD
XY压电陶瓷纳米定位器；X×Y行程100µm×100µm；电容式，间接位置测量；D-sub 25W3接头（公）；电缆长度1.5m
P-733.2 XY压电陶瓷纳米定位器
具有孔径的高精度XY扫描仪
- X和Y向上的行程达100µm×100µm
- 电容式传感器使分辨率达0.1nm
- 带直接驱动器的高速版本
- 可提供真空兼容及无磁版本
- 并联运动实现更高精度和动态
- 导向误差主动补偿的并行计量
- 零间隙高精度柔性铰链导向系统
- 50mm×50mm的通光孔径用于透射光应用
P-733.2CD/.2CL，尺寸单位为mm。 请注意，在图中使用逗号而非小数点。
P-733.2DD，尺寸单位为mm。 请注意，在图中使用逗号而非小数点。
P-733.2 XY压电陶瓷纳米定位器
产品描述
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应用领域
- 扫描显微镜
- 共聚焦显微镜
- 掩模/晶圆定位
- 表面测量技术
- 纳米压印
- 显微操纵
- 图像处理/稳定性
- 高运动平面度和直线度的纳米定位
PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命
PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。 这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。 PICMA促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘促动器的十倍。 它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
带电容式传感器，实现亚纳米分辨率
电容传感器以亚纳米级分辨率进行测量，且无接触。 它们可带来良好的运动线性度、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
零游隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。 其刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。 其可在较宽的温度范围内工作。
自动配置和快速部件更换
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。 所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的D-sub连接器的ID芯片中。 每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
直接位置测量带来高精度
运动直接在运动平台上测量，不受驱动或导向元件的影响。 这样可以实现高重复精度、高稳定性和刚性、快速响应控制。
并联运动实现高动态多轴操作
在并联多轴系统中，所有促动器作用于同一个运动平台。 所有轴均具有很小的质量惯性并采用相同的设计，可实现快速、动态且精密的运动
规格
规格
选择行程范围：
| 运动 | P-733.2CD | P-733.2CL | P-733.2DD | 公差 |
|---|---|---|---|---|
| 主动轴 | X ǀ Y | X ǀ Y | X ǀ Y | |
| X向的行程 | 100 µm | 100 µm | 30 µm | |
| Y向的行程 | 100 µm | 100 µm | 30 µm | |
| X向的开环行程，电压-20至120V | 115 µm | 115 µm | 33 µm | +20 % / -0 % |
| Y向的开环行程，电压-20至120V | 115 µm | 115 µm | 33 µm | +20 % / -0 % |
| X向的线性误差 | 0.03 % | 0.03 % | 0.03 % | typ. |
| Y向的线性误差 | 0.03 % | 0.03 % | 0.03 % | typ. |
| 角度误差E_AY（俯仰角） | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 5 µrad | typ. |
| 角度误差E_BX（俯仰角） | ± 3 µrad | ± 3 µrad | ± 5 µrad | typ. |
| 角度误差E_CX（偏转角） | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | typ. |
| 角度误差E_CY（偏转角） | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | typ. |
| 定位 | P-733.2CD | P-733.2CL | P-733.2DD | 公差 |
| X向的单向重复精度 | ± 2 nm | ± 2 nm | ± 2 nm | typ. |
| Y向的单向重复精度 | ± 2 nm | ± 2 nm | ± 2 nm | typ. |
| X向的开环分辨率 | 0.2 nm | 0.2 nm | 0.1 nm | typ. |
| Y向的开环分辨率 | 0.2 nm | 0.2 nm | 0.1 nm | typ. |
| 集成传感器 | 电容式，间接位置测量 | 电容式，间接位置测量 | 电容式，间接位置测量 | |
| X向的系统分辨率 | 0.3 nm | 0.3 nm | 0.1 nm | typ. |
| Y向的系统分辨率 | 0.3 nm | 0.3 nm | 0.1 nm | typ. |
| 驱动性能 | P-733.2CD | P-733.2CL | P-733.2DD | 公差 |
| 驱动类型 | PICMA | PICMA | PICMA | |
| X向的电容 | 6 µF | 6 µF | 6.2 µF | ±20 % |
| Y向的电容 | 6 µF | 6 µF | 6.2 µF | ±20 % |
| 机械性能 | P-733.2CD | P-733.2CL | P-733.2DD | 公差 |
| X向的刚性 | 1.5 N/µm | 1.5 N/µm | 20 N/µm | ±20 % |
| Y向的刚性 | 1.5 N/µm | 1.5 N/µm | 20 N/µm | ±20 % |
| X向的谐振频率，空载 | 500 Hz | 500 Hz | 2230 Hz | ±20 % |
| 在120g负载下X向的谐振频率 | 370 Hz | 370 Hz | — | ±20 % |
| 在200g负载下X向的谐振频率 | 340 Hz | 340 Hz | 1550 Hz | ±20 % |
| Y向的谐振频率，空载 | 500 Hz | 500 Hz | 2230 Hz | ±20 % |
| 在120g负载下Y向的谐振频率 | 370 Hz | 370 Hz | — | ±20 % |
| 在200g负载下Y向的谐振频率 | 340 Hz | 340 Hz | 1550 Hz | ±20 % |
| X向的允许推力 | 50 N | 50 N | 50 N | max. |
| Y向的允许推力 | 50 N | 50 N | 50 N | max. |
| Z向的允许推力 | 50 N | 50 N | 50 N | max. |
| X向的允许拉力 | 20 N | 20 N | 20 N | max. |
| Y向的允许拉力 | 20 N | 20 N | 20 N | max. |
| Z向的允许拉力 | 20 N | 20 N | 20 N | max. |
| 总质量 | 580 g | 580 g | 580 g | ±5 % |
| 材料 | 铝 | 铝 | 铝 | |
| 其他 | P-733.2CD | P-733.2CL | P-733.2DD | 公差 |
| 工作温度范围 | -20至80 °C | -20至80 °C | -20至80 °C | |
| 接头 | D-sub 25W3（公头） | LEMO FFS.00.250.CTCE24 | D-sub 25W3（公头） | |
| 电缆长度 | 1.5 m | 1.5 m | 1.5 m | ±10 mm |
| 推荐控制器/驱动器 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-713、E-727 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-713、E-727 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-713、E-727 | |
| 传感器连接器 | — | LEMO FFA.00.250.CTLC31 | — |
P-733.2DD：使用数字控制器时的线性误差。 使用模拟控制器时，直接驱动定位器的典型线性误差最高为0.1%。
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明，所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识 是指属性的统计平均值，并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中，我们只检测选定的属性，而不是全部属性。请注意，产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。
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产品注解
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Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
版本/日期
2021-04-19
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XY压电陶瓷纳米定位器；X×Y行程30µm×30µm；直接驱动；电容式，间接位置测量；D-sub 25W3接头（公）；电缆长度1.5m
