P-517.2CL
精密XY向纳米定位系统，100 微米 × 100微米，电容传感器，平行计量，LEMO连接器
P-517 • P-527 多轴压电陶瓷扫描仪
高动态纳米定位器/带直接位置测量的扫描器
- 2轴和3轴版本（XY和XYθZ型）
- 行程达200 微米
- 亚纳米级分辨率
P-517/P-527，尺寸单位为毫米
P-517 • P-527 多轴压电陶瓷扫描仪
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应用领域
- 计量
- 干涉测量
- 光子学/集成光学
- 平版印刷术
- 纳米定位
- 扫描显微镜
- 样本对准
- 微加工
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
带电容式传感器，实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。
自动配置和快速部件更换
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度
各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿（取决于带宽）（主动导向）。即使在动态操作中，跟踪精度也可高达纳米级。
规格
规格
P-517.2CLP-517.2CD | P-527.2CLP-527.2CD | P-517.3CLP-517.3CD | P-527.3CLP-527.3CD | P-517.RCD | P-527.RCD | 单位 | 公差 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
主动轴 | X, Y | X, Y | X、Y、Z | X、Y、Z | X、Y、θZ | X、Y、θZ | ||
运动和定位 | ||||||||
集成传感器 | 电容式 | 电容式 | 电容式 | 电容式 | 电容式 | 电容式 | ||
-20至120 伏时的开环行程 | 130 微米 | 250 微米 | X、Y：130 微米 Z：25 微米 | X、Y：250 微米 Z：25 微米 | X、Y：130 微米 θZ：±1.3 毫弧度 | X、Y：250 微米 θZ：±2.5 毫弧度 | +20 % / -0 % | |
行程，闭环 | 100 微米 | 200 微米 | X、Y：100 微米 Z：20 | X、Y：200 微米 Z：20 | X、Y：100 微米 θZ：±1 毫弧度 | X、Y：200 微米 θZ：±2 毫弧度 | ||
分辨率，开环 | 0.3 纳米 | 0.5 纳米 | X、Y：0.3 纳米 Z：0.1 纳米 | X、Y：0.5 纳米 Z：0.1 纳米 | X、Y：0.3 纳米 θZ：0.1 微弧度 | X、Y：0.5 纳米 θZ：0.1 微弧度 | 典型值 | |
分辨率，闭环 | 1 nm | 2 nm | X、Y：1 纳米 Z：0.1 纳米 | X、Y：2 纳米 Z：0.1 纳米 | X、Y：1 纳米 θZ：0.3微弧度 | X、Y：2 纳米 θZ：0.3微弧度 | 典型值 | |
线性误差 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | % | 典型值 |
重复精度 | ±5 纳米 | ±10 纳米 | X、Y：±5 纳米 Z：±1 纳米 | X、Y：±10 纳米 Z：±1 纳米 | X、Y：±5 纳米 θZ：±0.5微弧度 | X、Y：±10 纳米 θZ：±1微弧度 | 典型值 | |
机械特性 | ||||||||
刚度 | 2 | 1 | X、Y：2 Z：15 | X、Y：1 Z：15 | 2 | 1 | 牛/微米 | ±20 % |
谐振频率，空载 | 450 | 350 | X、Y：450 Z：1100 | X、Y：350 Z：1100 | X、Y：450 θZ：400 | X、Y：350 θZ：300 | 赫兹 | ±20 % |
带500 克负载时X、Y向上的谐振频率 | 250 | 190 | 250 | 190 | 250 | 190 | 赫兹 | ±20 % |
带2500 克负载时X、Y向上的谐振频率 | 140 | 110 | 140 | 110 | 140 | 110 | 赫兹 | ±20 % |
负载能力* | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 千克 | 最大 |
驱动特性 | ||||||||
压电陶瓷 | PICMAP-885 | PICMAP-885 | PICMAP-885 | PICMAP-885 | PICMAP-885 | PICMAP-885 | ||
电容 | 9.2 | 9.2 | X、Y：9 Z：6 | X、Y：9 Z：6 | 9 | 9 | 微法 | ±20 % |
其他 | ||||||||
工作温度范围 | -20 到 80 | -20 到 80 | -20 到 80 | -20 到 80 | -20 到 80 | -20 到 80 | °C | |
材料 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 | ||
质量 | 1.4 | 1.4 | 1.45 | 1.45 | 1.4 | 1.4 | 千克 | ±5 % |
传感器/电压连接 | CL版本：LEMO CD版本：Sub-D 25W3（公头） | CL版本：LEMO CD版本：Sub-D 25W3（公头） | CL版本：LEMO CD版本：Sub-D 25W3（公头） | CL版本：LEMO CD版本：Sub-D 25W3（公头） | Sub-D25W3（公头） | Sub-D25W3（公头） | ||
推荐电控 | E-503、E-505、E-621、E-712、E-727 | E-503、E-505、E-621、E-712、E-727 | E-503、E-505、E-621、E-712、E-727 | E-503、E-505、E-621、E-712、E-727 | E-503、E-505、E-621、E-712、E-727 | E-503、E-505、E-621、E-712、E-727 |
* 水平安装时（立于表面上，非悬挂式）.
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
所有规格参数基于室温（22°C±3°C）。
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产品注解
产品注解
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
版本/日期
2021-04-19
pdf - 377 KB
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数据表
文件
文件
Technical Note P500T0002
Unpacking and Packing P-5xx Positioners
版本/日期
2019-03-04
pdf - 448 KB
English
文件
用户使用手册PZ82
具有电容传感器的P-517、P-518、P-527、P-528、P-558压电纳米定位系统
版本/日期
3.3.0 2024-07-22
pdf - 2 MB
版本/日期
3.3.0 2024-07-22
pdf - 2 MB
3D模型
3D模型
P-5x7 3-D模型
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P-517.2CD
精密XY向纳米定位系统，100 微米 × 100微米，电容传感器，平行计量，Sub-D连接器
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精密XY向纳米定位系统，200 微米 × 200 微米，电容传感器，平行计量，LEMO连接器
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精密XY向纳米定位系统，200 微米 × 200 微米，电容传感器，平行计量，Sub-D连接器
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精密XYZ向纳米定位系统，100 微米 × 100 微米 × 20 微米，LEMO连接器，电容传感器，平行计量
P-517.3CD
精密XYZ向纳米定位系统，100 微米 × 100 微米 × 20 微米，Sub-D连接器，电容传感器，平行计量
P-527.3CL
精密XYZ向纳米定位系统，200 微米 × 200 微米 × 20 微米，LEMO连接器，电容传感器，平行计量
P-527.3CD
精密XYZ向纳米定位系统，200 微米 × 200 微米 × 20 微米，Sub-D连接器，电容传感器，平行计量
P-517.RCD
精密XY向/旋转纳米定位系统，100 微米 × 100 微米，2 毫弧度，电容传感器，平行计量，Sub-D连接器
P-527.RCD
精密XY向/旋转纳米定位系统，200 微米 × 200 微米，4 毫弧度，电容传感器，平行计量，Sub-D连接器
