P-517 • P-527 多轴压电陶瓷扫描仪

高动态纳米定位器/带直接位置测量的扫描器

2轴和3轴版本（XY和XYθ_Z型）
行程范围达200µm
亚纳米级分辨率

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P-517/P-527，尺寸单位为mm。请注意，在图中使用逗号而非小数点。

应用领域

计量

干涉测量

光子学/集成光学

光刻

纳米定位

扫描显微镜

样品对准

微加工

PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命

PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘促动器的十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

带电容式传感器，实现亚纳米分辨率

电容传感器以亚纳米级分辨率进行测量，且无接触。它们可带来良好的运动线性度、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

零游隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。其刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。其可在较宽的温度范围内工作。

自动配置和快速部件更换

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的D-sub连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度

所有自由度均以同一固定参考基准进行测量轴间的非预期串扰可实时主动补偿（主动导向；取决于系统带宽）。即使在动态操作下，也能保持纳米级高跟踪精度。

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数据表

版本/日期

2026-06-29

pdf - 522 KB

版本/日期

2026-06-29

pdf - 526 KB

版本/日期

2026-06-29

pdf - 949 KB

版本/日期

2018-07-02

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选择行程范围：

运动	P-517.2CD	P-517.2CL	P-517.3CD	P-517.3CL	P-517.RCD	P-527.2CD	P-527.2CL	P-527.3CD	P-527.3CL	P-527.RCD	公差
主动轴	X ǀ Y	X ǀ Y	X ǀ Y ǀ Z	X ǀ Y ǀ Z	X ǀ Y ǀ θZ	X ǀ Y	X ǀ Y	X ǀ Y ǀ Z	X ǀ Y ǀ Z	X ǀ Y ǀ θZ
X向的行程	100 µm	100 µm	100 µm	100 µm	100 µm	200 µm	200 µm	200 µm	200 µm	200 µm
Y向的行程	100 µm	100 µm	100 µm	100 µm	100 µm	200 µm	200 µm	200 µm	200 µm	200 µm
Z向的行程	—	—	20 µm	20 µm	—	—	—	20 µm	20 µm	—
X向的开环行程	130 µm	130 µm	130 µm	130 µm	130 µm	250 µm	250 µm	250 µm	250 µm	250 µm	±20 %
Y向的开环行程	130 µm	130 µm	130 µm	130 µm	130 µm	250 µm	250 µm	250 µm	250 µm	250 µm	±20 %
Z向的开环行程	—	—	25 µm	25 µm	—	—	—	25 µm	25 µm	—	±20 %
X向的线性误差	0.03 %	0.03 %	0.03 %	0.03 %	0.03 %	0.03 %	0.03 %	0.03 %	0.03 %	0.03 %	typ.
Y向的线性误差	0.03 %	0.03 %	0.03 %	0.03 %	0.03 %	0.03 %	0.03 %	0.03 %	0.03 %	0.03 %	typ.
Z向的线性误差	—	—	0.03 %	0.03 %	—	—	—	0.03 %	0.03 %	—	typ.
θZ向的旋转范围	—	—	—	—	1 mrad	—	—	—	—	2 mrad
θZ向的开环旋转范围	—	—	—	—	2.6 mrad	—	—	—	—	5 mrad	±20 %
θZ向的线性误差	—	—	—	—	0.15 %	—	—	—	—	0.15 %	typ.
定位	P-517.2CD	P-517.2CL	P-517.3CD	P-517.3CL	P-517.RCD	P-527.2CD	P-527.2CL	P-527.3CD	P-527.3CL	P-527.RCD	公差
X向的双向重复精度	5 nm	5 nm	5 nm	5 nm	5 nm	10 nm	10 nm	10 nm	10 nm	10 nm	typ.
Y向的双向重复精度	5 nm	5 nm	5 nm	5 nm	5 nm	10 nm	10 nm	10 nm	10 nm	10 nm	typ.
Z向的双向重复精度	—	—	1 nm	1 nm	—	—	—	1 nm	1 nm	—	typ.
X向的开环分辨率	0.3 nm	0.3 nm	0.3 nm	0.3 nm	0.3 nm	0.5 nm	0.5 nm	0.5 nm	0.5 nm	0.5 nm	typ.
Y向的开环分辨率	0.3 nm	0.3 nm	0.3 nm	0.3 nm	0.3 nm	0.5 nm	0.5 nm	0.5 nm	0.5 nm	0.5 nm	typ.
Z向的开环分辨率	—	—	0.1 nm	0.1 nm	—	—	—	0.1 nm	0.1 nm	—	typ.
集成传感器	电容式，直接位置测量	电容式，直接位置测量	电容式，直接位置测量	电容式，直接位置测量	电容式，间接位置测量	电容式，直接位置测量	电容式，直接位置测量	电容式，直接位置测量	电容式，直接位置测量	电容式，间接位置测量
X向的系统分辨率	1 nm	1 nm	1 nm	1 nm	1 nm	2 nm	2 nm	2 nm	2 nm	2 nm
Y向的系统分辨率	1 nm	1 nm	1 nm	1 nm	1 nm	2 nm	2 nm	2 nm	2 nm	2 nm
Z向的系统分辨率	—	—	0.1 nm	0.1 nm	—	—	—	0.1 nm	0.1 nm	—
θZ向的双向重复精度	—	—	—	—	0.5 µrad	—	—	—	—	1 µrad	typ.
θZ向的开环分辨率	—	—	—	—	0.1 µrad	—	—	—	—	0.1 µrad	typ.
θZ向的系统分辨率	—	—	—	—	0.3 µrad	—	—	—	—	0.3 µrad
驱动性能	P-517.2CD	P-517.2CL	P-517.3CD	P-517.3CL	P-517.RCD	P-527.2CD	P-527.2CL	P-527.3CD	P-527.3CL	P-527.RCD	公差
驱动类型	PICMA	PICMA	PICMA	PICMA	PICMA	PICMA	PICMA	PICMA	PICMA	PICMA
X向的电容	9.2 µF	9.2 µF	9.2 µF	9.2 µF	4.6 µF	9.2 µF	9.2 µF	9.2 µF	9.2 µF	4.6 µF	±20 %
Y向的电容	9.2 µF	9.2 µF	9.2 µF	9.2 µF	4.6 µF	9.2 µF	9.2 µF	9.2 µF	9.2 µF	4.6 µF	±20 %
Z向的电容	—	—	6 µF	6 µF	—	—	—	6 µF	6 µF	—	±20 %
机械性能	P-517.2CD	P-517.2CL	P-517.3CD	P-517.3CL	P-517.RCD	P-527.2CD	P-527.2CL	P-527.3CD	P-527.3CL	P-527.RCD	公差
X向的刚性	2 N/µm	2 N/µm	2 N/µm	2 N/µm	2 N/µm	1 N/µm	1 N/µm	1 N/µm	1 N/µm	1 N/µm	±20 %
Y向的刚性	2 N/µm	2 N/µm	2 N/µm	2 N/µm	2 N/µm	1 N/µm	1 N/µm	1 N/µm	1 N/µm	1 N/µm	±20 %
Z向的刚性	—	—	15 N/µm	15 N/µm	—	—	—	15 N/µm	15 N/µm	—	±20 %
X向的谐振频率，空载	450 Hz	450 Hz	450 Hz	450 Hz	450 Hz	350 Hz	350 Hz	350 Hz	350 Hz	350 Hz	±20 %
在500g负载下X向的谐振频率	250 Hz	250 Hz	250 Hz	250 Hz	250 Hz	190 Hz	190 Hz	190 Hz	190 Hz	190 Hz	±20 %
在2500g负载下X向的谐振频率	140 Hz	140 Hz	140 Hz	140 Hz	140 Hz	110 Hz	110 Hz	110 Hz	110 Hz	110 Hz	±20 %
Y向的谐振频率，空载	450 Hz	450 Hz	450 Hz	450 Hz	450 Hz	350 Hz	350 Hz	350 Hz	350 Hz	350 Hz	±20 %
在500g负载下Y向的谐振频率	250 Hz	250 Hz	250 Hz	250 Hz	250 Hz	190 Hz	190 Hz	190 Hz	190 Hz	190 Hz	±20 %
在2500g负载下Y向的谐振频率	140 Hz	140 Hz	140 Hz	140 Hz	140 Hz	110 Hz	110 Hz	110 Hz	110 Hz	110 Hz	±20 %
Z向的谐振频率，空载	—	—	1100 Hz	1100 Hz	—	—	—	1100 Hz	1100 Hz	—	±20 %
Z向的允许推力	50 N	50 N	50 N	50 N	50 N	50 N	50 N	50 N	50 N	50 N	max.
Z向的允许拉力	20 N	20 N	20 N	20 N	20 N	20 N	20 N	20 N	20 N	20 N	max.
导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨
总质量	1400 g	1400 g	1450 g	1450 g	1400 g	1400 g	1400 g	1450 g	1450 g	1400 g
材料	铝	铝	铝	铝	铝	铝	铝	铝	铝	铝
θZ向的刚性	—	—	—	—	2 N·m/µrad	—	—	—	—	1 N·m/µrad	±20 %
θZ向的谐振频率，空载	—	—	—	—	400 Hz	—	—	—	—	300 Hz	±20 %
其他	P-517.2CD	P-517.2CL	P-517.3CD	P-517.3CL	P-517.RCD	P-527.2CD	P-527.2CL	P-527.3CD	P-527.3CL	P-527.RCD	公差
工作温度范围	-20至80 °C	-20至80 °C	-20至80 °C	-20至80 °C	-20至80 °C	-20至80 °C	-20至80 °C	-20至80 °C	-20至80 °C	-20至80 °C
接头	D-sub 25W3（公头）	LEMO LVPZT	D-sub 25W3（公头）	LEMO LVPZT	D-sub 25W3（公头）	D-sub 25W3（公头）	LEMO LVPZT	D-sub 25W3（公头）	LEMO LVPZT	D-sub 25W3（公头）
电缆长度	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m
推荐控制器/驱动器	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727

Z向允许推/拉力：水平安装时（置于支撑面上，非悬挂安装）。

电容：按通道给出（引脚分配见用户手册）。

因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。

PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明，所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识是指属性的统计平均值，并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中，我们只检测选定的属性，而不是全部属性。请注意，产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。

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产品注解

版本/日期

2021-04-19

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数据表

版本/日期

2026-06-29

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