P-733.Z 高动态Z向纳米定位器/扫描仪

直接位置测量和通光孔径

  • 行程100µm
  • 利用电容传感器进行直接测量
  • 分辨率达0.3nm,闭环
  • 通光孔径50mm× 50mm
  • 可提供带附加自由度的其他版本
  • 可提供XY和XYZ版本
  • 可按需提供真空兼容版本
P-733.Z 高动态Z向纳米定位器/扫描仪
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应用领域

  • 扫描显微镜
  • 共聚焦显微镜
  • 掩模/晶圆定位
  • 表面测量技术
  • 纳米压印
  • 显微操纵
  • 图像处理/稳定性
  • 高运动平面度和直线度的纳米定位

PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命

PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。 这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。 PICMA促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘促动器的十倍。 它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

带电容式传感器,实现亚纳米分辨率

电容传感器以亚纳米级分辨率进行测量,且无接触。 它们可带来良好的运动线性度、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

零游隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。 其刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。 其可在较宽的温度范围内工作。

自动配置和快速部件更换

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。 所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的D-sub连接器的ID芯片中。 每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

直接位置测量带来高精度

运动直接在运动平台上测量,不受驱动或导向元件的影响。 这样可以实现高重复精度、高稳定性和刚性、快速响应控制。

规格

数据表

数据表P-733.Z

版本/日期
2023-12-11
pdf - 789 KB
版本/日期
2023-12-11
pdf - 794 KB
版本/日期
2026-07-15
pdf - 1 MB

下载

数据表

数据表

数据表P-733.Z

版本/日期
2023-12-11
pdf - 789 KB
版本/日期
2023-12-11
pdf - 794 KB
版本/日期
2026-07-15
pdf - 1 MB

文件

文件

简短说明PZ240EK

压电陶瓷定位器: P-5xx / P-6xx / P-7xx

版本/日期
6.4.0 08/2025
pdf - 285 KB
版本/日期
6.4.0 08/2025
pdf - 289 KB
文件

用户使用手册PZ103

具有电容传感器的P-733、P-734压电陶瓷纳米级定位系统

版本/日期
1.2.0 2024-05-16
pdf - 2 MB
版本/日期
1.2.0 2024-05-16
pdf - 2 MB

3D模型

3D模型

P-733.Z 3D模型

zip - 370 KB

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