高动态Z向纳米定位台;行程100µm;电容式,直接位置测量;D-sub 7W2接头(公);电缆长度1.5m
P-733.Z 高动态Z向纳米定位器/扫描仪
直接位置测量和通光孔径
- 行程100µm
- 利用电容传感器进行直接测量
- 分辨率达0.3nm,闭环
- 通光孔径50mm× 50mm
- 可提供带附加自由度的其他版本
- 可提供XY和XYZ版本
- 可按需提供真空兼容版本
应用领域
- 扫描显微镜
- 共聚焦显微镜
- 掩模/晶圆定位
- 表面测量技术
- 纳米压印
- 显微操纵
- 图像处理/稳定性
- 高运动平面度和直线度的纳米定位
PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命
PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。 这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。 PICMA促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘促动器的十倍。 它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
带电容式传感器,实现亚纳米分辨率
电容传感器以亚纳米级分辨率进行测量,且无接触。 它们可带来良好的运动线性度、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
零游隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。 其刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。 其可在较宽的温度范围内工作。
自动配置和快速部件更换
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。 所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的D-sub连接器的ID芯片中。 每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
直接位置测量带来高精度
运动直接在运动平台上测量,不受驱动或导向元件的影响。 这样可以实现高重复精度、高稳定性和刚性、快速响应控制。
规格
规格
| 运动 | P-733.ZCD | P-733.ZCL | 公差 |
|---|---|---|---|
| 主动轴 | Z | Z | |
| Z向的行程 | 100 µm | 100 µm | |
| Z向的开环行程,电压-20至120V | 115 µm | 115 µm | +20 % / -0 % |
| 线性误差 | 0.03 % | 0.03 % | typ. |
| 绕X的角度误差 | < 5 µrad | < 5 µrad | typ. |
| 绕Y的角度误差 | < 5 µrad | < 5 µrad | typ. |
| 绕Z的角度误差 | < 10 µrad | < 10 µrad | typ. |
| 定位 | P-733.ZCD | P-733.ZCL | 公差 |
| Z向的单向重复精度 | ± 2 nm | ± 2 nm | typ. |
| 开环分辨率 | 0.2 nm | 0.2 nm | typ. |
| 集成传感器 | 电容式,直接位置测量 | 电容式,直接位置测量 | |
| 系统分辨率 | 0.3 nm | 0.3 nm | typ. |
| 驱动性能 | P-733.ZCD | P-733.ZCL | 公差 |
| 驱动类型 | PICMA | PICMA | |
| 电容 | 6 µF | 6 µF | ±20 % |
| 机械性能 | P-733.ZCD | P-733.ZCL | 公差 |
| 刚性 | 2.5 N/µm | 2.5 N/µm | ±20 % |
| Z向的谐振频率,空载 | 700 Hz | 700 Hz | ±20 % |
| 在120g负载下Z向的谐振频率 | 530 Hz | 530 Hz | ±20 % |
| 在200g负载下Z向的谐振频率 | 415 Hz | 415 Hz | ±20 % |
| Z向的允许推力 | 50 N | 50 N | max. |
| Z向的允许拉力 | 20 N | 20 N | max. |
| 导轨 | 带杠杆放大的柔性铰链导轨 | 带杠杆放大的柔性铰链导轨 | |
| 总质量 | 580 g | 580 g | ±5 % |
| 材料 | 铝 | 铝 | |
| 其他 | P-733.ZCD | P-733.ZCL | 公差 |
| 工作温度范围 | -20至80 °C | -20至80 °C | |
| 接头 | D-sub 7W2(公头) | LEMO FFS.00.250.CTCE24 | |
| 传感器连接器 | — | LEMO FFA.00.250.CTLC17 | |
| 电缆长度 | 1.5 m | 1.5 m | ±10 mm |
| 推荐控制器/驱动器 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-754 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-754 |
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明,所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识 是指属性的统计平均值,并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中,我们只检测选定的属性,而不是全部属性。请注意,产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。
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高动态Z向纳米定位台;行程100µm;电容式,直接位置测量;LEMO接头;电缆长度1.5m























