PISeca电容式单电极传感器,直径8mm,标称量程20µm
D-510 PISeca电容传感器
具有优异的位置分辨率的单电极传感器
- 非接触式距离测量
- 绝对位置检测
- 振动测量
- 亚纳米级分辨率
- 灵活的量程
- 简易集成
D-510 PISeca电容传感器
产品描述
规格
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电容式位置传感器可实现高精度与长使用寿命
结合用于信号处理的电控,准静态应用可实现亚纳米级的分辨率。 针对高动态应用,带宽最高可提升至10kHz,且仍能实现1nm级分辨率。 线性误差低于0.1%。
操作与集成简便
所有PISeca传感器探头均配备LEMO连接器,便于安装与更换。 均匀的轴厚度确保兼容性和灵活性。 用于连接至评估电控的电缆提供多种型号,必须单独订购。
定制版本/双电极传感器
除此处列出的标准传感器外,PI还提供一系列针对特定应用的定制版本,其量程、几何形状或材料等均可根据客户需求进行调整。 定制电控也可供货。
D-100系列中的双电极传感器可满足对线性和分辨率的严苛要求
应用领域
工业和科研。 半导体制造和检测。 纳米测量。 有源减振器。 精密加工。
规格
规格
| 传感器 | D-510.021 | D-510.051 | D-510.101 | 公差 |
|---|---|---|---|---|
| 温度稳定性 | — | 53 nm/K | — | |
| 传感器类型 | 单电极,电容式 | 单电极,电容式 | 单电极,电容式 | |
| 标称量程 | 20 µm | 50 µm | 100 µm | |
| 标称量程内的线性误差 | 0.2 % | 0.1 % | 0.1 % | |
| 标称量程内具有最小测量间隙 | 10 µm | 25 µm | 50 µm | |
| 量程扩展5倍后具有最大测量间隙 | 150 µm | 375 µm | 750 µm | |
| 标称测量范围内的静态分辨率,均方根 | < 0.001 % | < 0.001 % | < 0.001 % | |
| 标称测量范围内的动态分辨率,均方根 | 0.002 % | 0.002 % | 0.002 % | |
| 传感器有效面积 | 11.2 mm² | 27.9 mm² | 56.1 mm² | |
| 其他 | D-510.021 | D-510.051 | D-510.101 | 公差 |
| 工作温度范围 | -20至100 °C | -20至100 °C | -20至100 °C | |
| 总质量 | 8 g | 10 g | 16 g | |
| 合适的连接电缆 | D-891.01E, D-891.02E, D-891.01A, D-891.02A | D-891.01E, D-891.02E, D-891.01A, D-891.02A | D-891.01E, D-891.02E, D-891.01A, D-891.02A | |
| 材料 | 不锈钢 | 不锈钢 | 不锈钢 | |
| 推荐评估电子设备 | E-852.10、E-852.10A1、E-711.SE3 | E-852.10、E-852.10A1、E-711.SE3 | E-852.10、E-852.10A1、E-711.SE3 |
标称量程和测量间隙:E-852.10可提供扩展量程,两种量程分别经过校准。 扩展因子:1、2、2.5、5。
静态分辨率:带宽10Hz(搭配E-852评估电子器件)。
动态分辨率:带宽10kHz(搭配E-852评估电子器件)。
公差:
标称量程内的线性误差:最大值。
标称量程内的动态分辨率,均方根(RMS):最大值。
总质量:±5%
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D-510.021
D-510.051
PISeca电容式单电极传感器,直径12mm,标称量程50µm
D-510.101
PISeca电容式单电极传感器,直径20mm,标称量程100µm









