P-734 XY压电扫描仪

主动轴

X, Y

X, Y

运动和定位

集成传感器

电容式

电容式

开环行程，-20至120伏

110微米×110微米

110微米×110微米

最小（+20 % / -0 %）

闭环行程

100微米×100微米

100微米×100微米

开环分辨率

0.2

0.2

纳米

典型值

闭环分辨率

0.3

0.3

纳米

典型值

线性误差

0.03

0.03

%

典型值

重复精度

<2.5

<2.5

纳米

典型值

螺距

<3

<3

微弧度

典型值

偏转角

<10

<10

微弧度

典型值

平面度

典型值 <5 最大值 10

典型值 <5 最大值 10

纳米

机械特性

刚度

3

3

牛/微米

±20 %

谐振频率，空载

500

500

赫兹

±20 %

200克时的谐振频率

350

350

赫兹

±20 %

500克时的谐振频率

250

250

赫兹

±20 %

运动方向上的推/拉力

300 / 100

300 / 100

牛

最大

负载容量

20

20

牛

最大

驱动特性

陶瓷类型

PICMA P-885

PICMA P-885

电容

6.2

6.2

微法

±20 %

动态操作电流效率

7.8

7.8

微安/(赫兹 × 微米)

±20 %

其他

工作温度范围

-20 到 80

-20 到 80

°C

材料

铝

铝

质量（包含电缆）

1.04

1.04

千克

±5 %

电缆长度

1.5

1.5

米

±10 毫米

传感器连接

2 × LEMO

Sub-D特殊

电压连接

4 × LEMO

Sub-D特殊