L-509 V6 • V7 • V9 真空兼容型精密线性平台

紧凑型设计,可负载达10kg

  • 真空兼容至109hPa
  • 行程范围为26至102mm(1”至4”)
  • 重复精度达0.1µm
  • 直流齿轮电机、步进电机
  • 方向感应参考点开关
  • 可以进行多轴搭建
L-509 V6 • V7 • V9 真空兼容型精密线性平台
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产品概述

带防蠕动系统的交叉滚柱导轨带来高运动精度和有效载荷。 精密滚珠丝杠,螺距为1mm。 紧凑型设计。 消除应力的铝基座可实现高稳定性。 限位开关。 位于行程中点带方向感应的非接触式光学参考点开关。

减少除气,特别是在真空环境中使用时

最值得注意的是,导轨和主轴的润滑采用了一种逸气特性极低的材料。 该系统可承受高达80°C的温度。 通过对PI V6真空等级的这一和其他修改,此定位器可以使用高达10-6hPa。

更高质量,适用于高真空应用

在这种情况下,使用适合高真空的特殊组件,如电机、测量系统和限位开关。 此外,表面由无涂层铝制成,主轴和导轨由不锈钢制成。 这样,PI V7真空等级就达到了,这意味着高达10-7hPa。

最高质量,可满足超高真空的特殊要求

在此真空等级中,产品在所有细节上都进行了优化,并采用了适用于超高真空的组件,以便达到高达10-9hPa的PI V9真空等级。 除其他外,只有选定类型的塑料用于此目的,使用测量系统时耐受温度为120°C,不使用测量系统时耐受温度为150°C。

可用电机类型

  • 带减速齿轮的直流电机在电机功率低时可实现高转矩和高分辨率,可达10-6hPa
  • 两相步进电机可实现低速度和高分辨率,可达10-9hPa

位置测量的类型

  • 不带编码器(开环)
  • 电机轴上的集成旋转编码器

应用领域

真空腔。 研究。 高能束线设备。 显微镜。 电子元件组装和检验。

规格

数据表

数据表L-509-V

版本/日期
2025-05-20
pdf - 8 MB
版本/日期
2025-05-20
pdf - 8 MB
版本/日期
2025-05-20
pdf - 9 MB

下载

数据表

数据表

数据表L-509-V

版本/日期
2025-05-20
pdf - 8 MB
版本/日期
2025-05-20
pdf - 8 MB
版本/日期
2025-05-20
pdf - 9 MB

文件

文件

简单说明MP146EK

带电动的定位器:DT-xx/HPS-170/L-xxx/LS-xxx/PRS-xxx/RS-40/UPL-120/VT-80/WT-xx/WT-xxx

版本/日期
3.0.0 2024-01-15
pdf - 261 KB
版本/日期
3.0.0 2024-01-15
pdf - 295 KB
文件

用户使用手册MP186

L-509真空兼容型精密线性平台(1 E-7 hPa)

版本/日期
1.3 2024-04-17
pdf - 1 MB
English
文件

用户使用手册L509T0018

L-509真空兼容型精密线性平台(1 E-9 hPa)

版本/日期
1.3 2024-04-17
pdf - 2 MB
English
文件

用户使用手册MP174

L-509真空兼容型精密线性平台(1 E-6 hPa)

版本/日期
1.3 2024-04-22
pdf - 2 MB
版本/日期
1.3 2024-04-22
pdf - 2 MB

3D模型

3D模型

L-509.0x1100V6 3D模型

版本/日期
2017-08-11
zip - 10 MB
3D模型

L-509.0x1300V7 3D模型

版本/日期
2018-02-28
zip - 8 MB
3D模型

L-509.0x1600V9 3D模型

版本/日期
2025-05-20
zip - 8 MB
3D模型

L-509.0x4132V6 3D模型

版本/日期
2018-04-04
zip - 10 MB

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L-509.021100V6

真空兼容型精密线性平台;两相步进电机;行程为26mm;有效载荷为100N;最大速度为10mm/s;滚珠丝杠;真空兼容至10⁻⁶hPa

L-509.031100V6

真空兼容型精密线性平台;两相步进电机;行程为52mm;有效载荷为100N;最大速度为10mm/s;滚珠丝杠;真空兼容至10⁻⁶hPa

L-509.051100V6

真空兼容型精密线性平台;两相步进电机;行程为102mm;有效载荷为100N;最大速度为10mm/s;滚珠丝杠;真空兼容至10⁻⁶hPa

L-509.024132V6

真空兼容型精密线性平台;直流齿轮电机;行程为26mm;有效载荷为100N;最大速度为1.5mm/s;滚珠丝杠;增量旋转编码器,A/B正交,RS422;真空兼容至10⁻⁶hPa

L-509.034132V6

真空兼容型精密线性平台;直流齿轮电机;行程为52mm;有效载荷为100N;最大速度为1.5mm/s;滚珠丝杠;增量旋转编码器,A/B正交,RS422;真空兼容至10⁻⁶hPa

L-509.054132V6

真空兼容型精密线性平台;直流齿轮电机;行程为102mm;有效载荷为100N;最大速度为1.5mm/s;滚珠丝杠;增量旋转编码器,A/B正交,RS422;真空兼容至10⁻⁶hPa

L-509.021300V7

真空兼容型精密线性平台;两相步进电机;行程为26mm;有效载荷为100N;最大速度为10mm/s;滚珠丝杠;真空兼容至10⁻⁷hPa;2m电缆长度

L-509.031300V7

真空兼容型精密线性平台;两相步进电机;行程为52mm;有效载荷为100N;最大速度为10mm/s;滚珠丝杠;真空兼容至10⁻⁷hPa;2m电缆长度

L-509.051300V7

真空兼容型精密线性平台;两相步进电机;行程为102mm;有效载荷为100N;最大速度为10mm/s;滚珠丝杠;真空兼容至10⁻⁷hPa;2m电缆长度

L-509.031600V9

真空兼容型精密线性平台;两相步进电机;行程为52mm;有效载荷为100N;最大速度为10mm/s;滚珠丝杠;真空兼容至10⁻⁹hPa;2m电缆长度

L-509.051600V9

真空兼容型精密线性平台;两相步进电机;行程为102mm;有效载荷为100N;最大速度为10mm/s;滚珠丝杠;真空兼容至10⁻⁹hPa;2m电缆长度

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