L-509.021100V6
真空兼容型精密线性平台；两相步进电机；行程为26mm；有效载荷为100N；最大速度为10mm/s；滚珠丝杠；真空兼容至10⁻⁶hPa
L-509 V6 • V7 • V9 真空兼容型精密线性平台
紧凑型设计，可负载达10kg
- 真空兼容至109hPa
- 行程范围为26至102mm（1”至4”）
- 重复精度达0.1µm
- 直流齿轮电机、步进电机
- 方向感应参考点开关
- 可以进行多轴搭建
L-509.021100V6，尺寸单位为mm
L-509.031100V6，尺寸单位为mm
L-509.051100V6，尺寸单位为mm
L-509.024132V6，尺寸单位为mm
L-509.034132V6，尺寸单位为mm
L-509.054132V6，尺寸单位为mm
L-509.021300V7，尺寸单位为mm
L-509.031300V7，尺寸单位为mm
L-509.051300V7，尺寸单位为mm
L-509.031600V9，尺寸单位为mm
L-509.051600V9，尺寸单位为mm
L-509 V6 • V7 • V9 真空兼容型精密线性平台
产品描述
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产品概述
带防蠕动系统的交叉滚柱导轨带来高运动精度和有效载荷。 精密滚珠丝杠，螺距为1mm。 紧凑型设计。 消除应力的铝基座可实现高稳定性。 限位开关。 位于行程中点带方向感应的非接触式光学参考点开关。
减少除气，特别是在真空环境中使用时
最值得注意的是，导轨和主轴的润滑采用了一种逸气特性极低的材料。 该系统可承受高达80°C的温度。 通过对PI V6真空等级的这一和其他修改，此定位器可以使用高达10-6hPa。
更高质量，适用于高真空应用
在这种情况下，使用适合高真空的特殊组件，如电机、测量系统和限位开关。 此外，表面由无涂层铝制成，主轴和导轨由不锈钢制成。 这样，PI V7真空等级就达到了，这意味着高达10-7hPa。
最高质量，可满足超高真空的特殊要求
在此真空等级中，产品在所有细节上都进行了优化，并采用了适用于超高真空的组件，以便达到高达10-9hPa的PI V9真空等级。 除其他外，只有选定类型的塑料用于此目的，使用测量系统时耐受温度为120°C，不使用测量系统时耐受温度为150°C。
可用电机类型
- 带减速齿轮的直流电机在电机功率低时可实现高转矩和高分辨率，可达10-6hPa
- 两相步进电机可实现低速度和高分辨率，可达10-9hPa
位置测量的类型
- 不带编码器（开环）
- 电机轴上的集成旋转编码器
应用领域
真空腔。 研究。 高能束线设备。 显微镜。 电子元件组装和检验。
规格
规格
选择行程范围：
| 运动 | L-509.021100V6 | L-509.031100V6 | L-509.051100V6 | L-509.024132V6 | L-509.034132V6 | L-509.054132V6 | L-509.021300V7 | L-509.031300V7 | L-509.051300V7 | L-509.031600V9 | L-509.051600V9 | 公差 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 主动轴 | X | X | X | X | X | X | X | X | X | X | X | |
| X向上的行程 | 26 mm | 52 mm | 102 mm | 26 mm | 52 mm | 102 mm | 26 mm | 52 mm | 102 mm | 52 mm | 102 mm | |
| X向上的最大速度，空载 | 10 mm/s | 10 mm/s | 10 mm/s | 1.5 mm/s | 1.5 mm/s | 1.5 mm/s | 10 mm/s | 10 mm/s | 10 mm/s | 10 mm/s | 10 mm/s | |
| Y向上的直线度误差（直线度） | ± 2 µm | ± 4 µm | ± 8 µm | ± 2 µm | ± 4 µm | ± 8 µm | ± 2 µm | ± 4 µm | ± 8 µm | ± 4 µm | ± 8 µm | typ. |
| Z向上的直线度误差（平面度） | ± 2 µm | ± 4 µm | ± 8 µm | ± 2 µm | ± 4 µm | ± 8 µm | ± 2 µm | ± 4 µm | ± 8 µm | ± 4 µm | ± 8 µm | typ. |
| 绕Y的角度误差（俯仰角） | ± 60 µrad | ± 90 µrad | ± 120 µrad | ± 60 µrad | ± 90 µrad | ± 120 µrad | ± 60 µrad | ± 90 µrad | ± 120 µrad | ± 90 µrad | ± 120 µrad | typ. |
| 绕Z的角度误差（偏转角） | ± 60 µrad | ± 90 µrad | ± 120 µrad | ± 60 µrad | ± 90 µrad | ± 120 µrad | ± 60 µrad | ± 90 µrad | ± 120 µrad | ± 90 µrad | ± 120 µrad | typ. |
| 定位 | L-509.021100V6 | L-509.031100V6 | L-509.051100V6 | L-509.024132V6 | L-509.034132V6 | L-509.054132V6 | L-509.021300V7 | L-509.031300V7 | L-509.051300V7 | L-509.031600V9 | L-509.051600V9 | 公差 |
| X向上的最小位移 | 0.1 µm | 0.1 µm | 0.1 µm | 0.1 µm | 0.1 µm | 0.1 µm | 0.1 µm | 0.1 µm | 0.1 µm | 0.1 µm | 0.1 µm | typ. |
| X向上的单向重复精度 | ± 0.15 µm | ± 0.15 µm | ± 0.15 µm | ± 0.05 µm | ± 0.05 µm | ± 0.05 µm | ± 0.15 µm | ± 0.15 µm | ± 0.15 µm | ± 0.15 µm | ± 0.15 µm | typ. |
| 限位开关 | 叉式光电传感器，常闭触点，5V，NPN | 叉式光电传感器，常闭触点，5V，NPN | 叉式光电传感器，常闭触点，5V，NPN | 叉式光电传感器，常闭触点，5V，NPN | 叉式光电传感器，常闭触点，5V，NPN | 叉式光电传感器，常闭触点，5V，NPN | 机械式 | 机械式 | 机械式 | 机械式 | 机械式 | |
| 电机编码器：传感器信号 | — | — | — | A/B正交，RS-422 | A/B正交，RS-422 | A/B正交，RS-422 | — | — | — | — | — | |
| 电机编码器 | — | — | — | 增量旋转编码器 | 增量旋转编码器 | 增量旋转编码器 | — | — | — | — | — | |
| 驱动性能 | L-509.021100V6 | L-509.031100V6 | L-509.051100V6 | L-509.024132V6 | L-509.034132V6 | L-509.054132V6 | L-509.021300V7 | L-509.031300V7 | L-509.051300V7 | L-509.031600V9 | L-509.051600V9 | 公差 |
| 驱动类型 | 两相步进电机 | 两相步进电机 | 两相步进电机 | 直流齿轮电机 | 直流齿轮电机 | 直流齿轮电机 | 两相步进电机 | 两相步进电机 | 两相步进电机 | 两相步进电机 | 两相步进电机 | |
| 标称电压 | 24 V | 24 V | 24 V | 12 V | 12 V | 12 V | 24 V | 24 V | 24 V | 24 V | 24 V | |
| 最大功耗 | 10 W | 10 W | 10 W | — | — | — | 10 W | 10 W | 10 W | 10 W | 10 W | |
| 电机分辨率 | 200 全步/转 | 200 全步/转 | 200 全步/转 | — | — | — | 200 全步/转 | 200 全步/转 | 200 全步/转 | 200 全步/转 | 200 全步/转 | |
| X向上的正向运动的驱动力 | 60 N | 60 N | 60 N | 60 N | 60 N | 60 N | 60 N | 60 N | 60 N | 60 N | 60 N | typ. |
| X向上的负向运动的驱动力 | 60 N | 60 N | 60 N | 60 N | 60 N | 60 N | 60 N | 60 N | 60 N | 60 N | 60 N | typ. |
| 相间电阻 | 3.3 Ω | 3.3 Ω | 3.3 Ω | 4.09 Ω | 4.09 Ω | 4.09 Ω | 1.7 Ω | 1.7 Ω | 1.7 Ω | 1.7 Ω | 1.7 Ω | typ. |
| 相间电感 | 2.8 mH | 2.8 mH | 2.8 mH | 0.18 mH | 0.18 mH | 0.18 mH | 3 mH | 3 mH | 3 mH | 3 mH | 3 mH | |
| 相间反电动势，旋转 | — | — | — | 1.68 V/kRPM | 1.68 V/kRPM | 1.68 V/kRPM | — | — | — | — | — | max. |
| 机械性能 | L-509.021100V6 | L-509.031100V6 | L-509.051100V6 | L-509.024132V6 | L-509.034132V6 | L-509.054132V6 | L-509.021300V7 | L-509.031300V7 | L-509.051300V7 | L-509.031600V9 | L-509.051600V9 | 公差 |
| Y向上的允许推力 | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | max. |
| Z向上的允许推力 | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | max. |
| θX向上的允许力矩 | 30 N·m | 30 N·m | 30 N·m | 30 N·m | 30 N·m | 30 N·m | 30 N·m | 30 N·m | 30 N·m | 30 N·m | 30 N·m | max. |
| θY向上的允许力矩 | 25 N·m | 25 N·m | 25 N·m | 25 N·m | 25 N·m | 25 N·m | 25 N·m | 25 N·m | 25 N·m | 25 N·m | 25 N·m | max. |
| θZ向上的允许力矩 | 20 N·m | 20 N·m | 20 N·m | 20 N·m | 20 N·m | 20 N·m | 20 N·m | 20 N·m | 20 N·m | 20 N·m | 20 N·m | max. |
| X向上的保持力，被动 | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | 30 N | 30 N | |
| X向上的移动质量，空载 | 220 g | 220 g | 220 g | 220 g | 220 g | 220 g | 220 g | 220 g | 220 g | 220 g | 220 g | |
| 传动螺杆类型 | 滚珠丝杠 | 滚珠丝杠 | 滚珠丝杠 | 滚珠丝杠 | 滚珠丝杠 | 滚珠丝杠 | 滚珠丝杠 | 滚珠丝杠 | 滚珠丝杠 | 滚珠丝杠 | 滚珠丝杠 | |
| 丝杠螺距 | 1 mm | 1 mm | 1 mm | 1 mm | 1 mm | 1 mm | 1 mm | 1 mm | 1 mm | 1 mm | 1 mm | |
| 齿轮速比i | — | — | — | 2401 : 81 | 2401 : 81 | 2401 : 81 | — | — | — | — | — | |
| 导轨 | 交叉滚柱导轨 | 交叉滚柱导轨 | 交叉滚柱导轨 | 交叉滚柱导轨 | 交叉滚柱导轨 | 交叉滚柱导轨 | 交叉滚柱导轨 | 交叉滚柱导轨 | 交叉滚柱导轨 | 交叉滚柱导轨 | 交叉滚柱导轨 | |
| 总质量 | 1400 g | 1500 g | 1700 g | 1100 g | 1200 g | 1500 g | 1000 g | 1100 g | 1600 g | 1400 g | 1600 g | |
| 材料 | 铝、钢 | 铝、钢 | 铝、钢 | 铝、钢 | 铝、钢 | 铝、钢 | 铝、钢 | 铝、钢 | 铝、钢 | 铝、钢 | 铝、钢 | |
| 其他 | L-509.021100V6 | L-509.031100V6 | L-509.051100V6 | L-509.024132V6 | L-509.034132V6 | L-509.054132V6 | L-509.021300V7 | L-509.031300V7 | L-509.051300V7 | L-509.031600V9 | L-509.051600V9 | 公差 |
| 工作温度范围 | 5至40 °C | 5至40 °C | 5至40 °C | 5至40 °C | 5至40 °C | 5至40 °C | 5至40 °C | 5至40 °C | 5至40 °C | 5至40 °C | 5至40 °C | |
| 真空等级 | 10⁻⁶ ǀ hPa | 10⁻⁶ ǀ hPa | 10⁻⁶ ǀ hPa | 10⁻⁶ ǀ hPa | 10⁻⁶ ǀ hPa | 10⁻⁶ ǀ hPa | 10⁻⁷ ǀ hPa | 10⁻⁷ ǀ hPa | 10⁻⁷ ǀ hPa | 10⁻⁹ ǀ hPa | 10⁻⁹ ǀ hPa | |
| 最高耐温 | 80 °C | 80 °C | 80 °C | 80 °C | 80 °C | 80 °C | 80 °C | 80 °C | 80 °C | 150 °C | 150 °C | |
| 连接器 | HD D-sub 26针（公头） | HD D-sub 26针（公头） | HD D-sub 26针（公头） | HD D-sub 26针（公头） | HD D-sub 26针（公头） | HD D-sub 26针（公头） | D-sub 15针（母头） | D-sub 15针（母头） | D-sub 15针（母头） | D-sub 15针（母头） | D-sub 15针（母头） | |
| 电缆长度 | 2 m | 2 m | 2 m | 2 m | 2 m | 2 m | 2 m | 2 m | 2 m | 2 m | 2 m | |
| 推荐控制器/驱动器 | C-663.12 C-885与C-663.12C885 G-901 G-910 ACS模块化控制器 | C-663.12 C-885与C-663.12C885 G-901 G-910 ACS模块化控制器 | C-663.12 C-885与C-663.12C885 G-901 G-910 ACS模块化控制器 | C-863 C-885与C-863.20C885 C-884 G-901 G-910 ACS模块化控制器 | C-863 C-885与C-863.20C885 C-884 G-901 G-910 ACS模块化控制器 | C-863 C-885与C-863.20C885 C-884 G-901 G-910 ACS模块化控制器 | C-663.12 C-885与C-663.12C885 G-901 G-910 ACS模块化控制器 | C-663.12 C-885与C-663.12C885 G-901 G-910 ACS模块化控制器 | C-663.12 C-885与C-663.12C885 G-901 G-910 ACS模块化控制器 | C-663.12 C-885与C-663.12C885 G-901 G-910 ACS模块化控制器 | C-663.12 C-885与C-663.12C885 G-901 G-910 ACS模块化控制器 |
PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明，所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识 是指属性的统计平均值，并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中，我们只检测选定的属性，而不是全部属性。请注意，产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。
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用户使用手册MP186
L-509真空兼容型精密线性平台(1 E-7 hPa)
版本/日期
1.3 2024-04-17
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用户使用手册L509T0018
L-509真空兼容型精密线性平台(1 E-9 hPa)
版本/日期
1.3 2024-04-17
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文件
用户使用手册MP174
L-509真空兼容型精密线性平台(1 E-6 hPa)
版本/日期
1.3 2024-04-22
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版本/日期
1.3 2024-04-22
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L-509.0x1100V6 3D模型
版本/日期
2017-08-11
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L-509.0x1300V7 3D模型
版本/日期
2018-02-28
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3D模型
L-509.0x1600V9 3D模型
版本/日期
2025-05-20
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3D模型
L-509.0x4132V6 3D模型
版本/日期
2018-04-04
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L-509.031100V6
真空兼容型精密线性平台；两相步进电机；行程为52mm；有效载荷为100N；最大速度为10mm/s；滚珠丝杠；真空兼容至10⁻⁶hPa
L-509.051100V6
真空兼容型精密线性平台；两相步进电机；行程为102mm；有效载荷为100N；最大速度为10mm/s；滚珠丝杠；真空兼容至10⁻⁶hPa
L-509.024132V6
真空兼容型精密线性平台；直流齿轮电机；行程为26mm；有效载荷为100N；最大速度为1.5mm/s；滚珠丝杠；增量旋转编码器，A/B正交，RS422；真空兼容至10⁻⁶hPa
L-509.034132V6
真空兼容型精密线性平台；直流齿轮电机；行程为52mm；有效载荷为100N；最大速度为1.5mm/s；滚珠丝杠；增量旋转编码器，A/B正交，RS422；真空兼容至10⁻⁶hPa
L-509.054132V6
真空兼容型精密线性平台；直流齿轮电机；行程为102mm；有效载荷为100N；最大速度为1.5mm/s；滚珠丝杠；增量旋转编码器，A/B正交，RS422；真空兼容至10⁻⁶hPa
L-509.021300V7
真空兼容型精密线性平台；两相步进电机；行程为26mm；有效载荷为100N；最大速度为10mm/s；滚珠丝杠；真空兼容至10⁻⁷hPa；2m电缆长度
L-509.031300V7
真空兼容型精密线性平台；两相步进电机；行程为52mm；有效载荷为100N；最大速度为10mm/s；滚珠丝杠；真空兼容至10⁻⁷hPa；2m电缆长度
L-509.051300V7
真空兼容型精密线性平台；两相步进电机；行程为102mm；有效载荷为100N；最大速度为10mm/s；滚珠丝杠；真空兼容至10⁻⁷hPa；2m电缆长度
L-509.031600V9
真空兼容型精密线性平台；两相步进电机；行程为52mm；有效载荷为100N；最大速度为10mm/s；滚珠丝杠；真空兼容至10⁻⁹hPa；2m电缆长度
L-509.051600V9
真空兼容型精密线性平台；两相步进电机；行程为102mm；有效载荷为100N；最大速度为10mm/s；滚珠丝杠；真空兼容至10⁻⁹hPa；2m电缆长度
