L-611 V6 • V7 • V9 Precision Rotation Stage Suitable for Vacuum

适用于高达10^-9百帕的真空度
无限行程
极高的分辨率
步进电机
方向感应参考点开关
可以进行多轴搭建

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L-611.991300V7

L-611.991200V6，尺寸单位为毫米。请注意，在图中使用逗号而非小数点。

L-611.991300V7，尺寸单位为毫米。请注意，在图中使用逗号而非小数点。

L-611.991600V9，尺寸单位为毫米。请注意，在图中使用逗号而非小数点。

转台的轴和力矩方向

低游隙带预载蜗轮副实现精密定位。带预载枢轴承实现高运动精度。通光孔径直径为35毫米。双向旋转行程无限。参考点开关。

最值得注意的是，对于导轨和传动螺杆的润滑，使用具有特别低除气的材料。因此，可承受温度高达80摄氏度。通过对PI V6真空等级的这一和其他修改，此定位器可以使用高达10^-6百帕。

在这种情况下，使用适合高真空的特殊组件，如电机、测量系统和限位开关。此外，表面由无涂层铝制成，传动螺杆和导向装置由不锈钢制成。这样，PI V7真空等级就达到了，这意味着高达10^-7百帕。

在此真空等级中，产品在所有细节上都进行了优化，并采用了适用于超高真空的组件，以便达到高达10^-9百帕的PI V9真空等级。除其他外，只有选定类型的塑料用于此目的，使用测量系统时耐受温度为120摄氏度，不使用测量系统时耐受温度为150摄氏度。

可按需提供用于摆动、轴向和径向蠕动的单独测量日志。请下单时标明。

真空室。研究. 高能束线设备. 显微镜. 电子元件组装和检验.

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数据表

版本/日期

2025-04-14

pdf - 2 MB

版本/日期

2025-04-14

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版本/日期

2021-01-14

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运动	L-611.991x00Vx	单位	公差
主动轴	θ_Z
旋转范围	>360	°
摆动	±15	微弧度	典型值
平面度	±1	微米	典型值
偏心度	±2.5	微米	典型值
角速度	20	度/秒	最大

定位	L-611.991200V6	L-611.991300V7	L-611.991600V9	单位	公差
集成传感器	–	–	–
设计分辨率	349	349	349	微弧度
最小位移	8.72	8.72	8.72	微弧度	典型值
单向重复精度	20	20	20	微弧度	典型值
双向重复性	±175	±175	±175	微弧度	典型值
参考点开关	霍尔效应，常闭触点，5伏，NPN	机械式常闭触点，5伏，NPN	机械式常闭触点，5伏，NPN

机械特性	L-611.991x00Vx	单位	公差
轴承	滚珠轴承
蜗轮速比	90:1
负载能力/轴向力	100	牛	最大
允许侧向力	50	牛	最大
θ_X向上的允许力矩M_X	40	牛米	最大
θ_Y向上的允许力矩M_y	40	牛米	最大
θ_Z向上的允许力矩M_z	3	牛米	最大
惯性力矩	770	千克平方毫米	±20 %

驱动特性	L-611.991x00Vx	单位	公差
电机类型	两相步进电机
工作电压，标称值	24	伏	标称
工作电压，最大值	48	伏	最大
电机分辨率	200	全步/转

其他	L-611.991200V6	L-611.991300V7	L-611.991600V9	单位	公差
工作温度范围	5到40	5至40	5到40	摄氏度
材料	阳极氧化铝、不锈钢、红铜	铝、不锈钢、红铜	铝、不锈钢、红铜
质量	2.6	2.6	2.6	千克	±5 %
移动质量	1.1	1.1	1.1	千克	±5 %
固定电缆*，在真空侧：电缆长度	–	2	2	米
连接器	HD D-sub 26（公头）	D-sub 15（母头）	D-sub 15（母头）
推荐控制器/驱动器	C-663.12单轴 SMC Hydra（双轴）带C-663.12C885的C-885（多达20轴） ACS模块化控制器	C-663.12单轴 SMC Hydra（双轴）带C-663.12C885的C-885（多达20轴） ACS模块化控制器	C-663.12单轴 SMC Hydra（双轴）带C-663.12C885的C-885（多达20轴） ACS模块化控制器

* 电缆固定在产品上

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数据表

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2025-04-14

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2021-01-14

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文件

L-611 Precision rotation stage for vacuum applications (1 E-7 hPa)

版本/日期

2020-06-29

pdf - 303 KB

English

文件

L-611 Precision rotation stage for vacuum applications (1 E-6 hPa), with stepper drive

版本/日期

2020-06-29

pdf - 410 KB

English

文件

L-611 Precision rotation stage for vacuum applications (1 E-9 hPa)

版本/日期

2020-06-26

pdf - 392 KB

English

文件

带电动的定位器：DT-xx/HPS-170/L-xxx/LS-xxx/PRS-xxx/RS-40/UPL-120/VT-80/WT-xx/WT-xxx

版本/日期

3.0.0 2024-01-15

pdf - 261 KB

版本/日期

3.0.0 2024-01-15

pdf - 295 KB

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2023-03-30

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L-611.991200V6

精密转台，步进电机，Ø35毫米通光孔径，真空兼容至10^-6百帕

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L-611.991300V7

精密转台，步进电机，Ø35毫米通光孔径，真空兼容至10^-7百帕

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精密转台，步进电机，Ø35毫米通光孔径，真空兼容至10^-9百帕

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User Manual L611T0006

User Manual L611T0011

User Manual L611T0007

简单说明MP146EK

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