N-470.V PiezoMike线性促动器

尺寸小巧，作用力大，定位稳定，真空达10

保持力100N
步长为20nm
行程7mm至13mm
紧凑型设计
进给力22N
使用寿命>50,000,000步

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N-470（带夹紧螺栓），尺寸单位为mm。

N-470（带安装螺纹），尺寸单位为mm。

带压电电机的线性促动器

带压电陶瓷惯性驱动器的线性螺旋式促动器，可实现高分辨率和稳定定位。支持全步模式下的开环运行。

压电电机

采用结构紧凑、成本经济的惯性驱动原理（粘滑驱动）。驱动器在静止状态下可自锁，无需电流，且不产生任何热量。可依靠最大保持力锁定位置。

机械和光学机械部件的对准

光路稳定调节。长期定位：目标位置上的高稳定性，较长时间停机后仍能可靠启动。通过将压电陶瓷促动器与机械螺纹传动结合，实现高保持力和高分辨率。真空兼容，最高可达10^-6hPa。

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数据表

版本/日期

2026-09-30

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版本/日期

2026-09-30

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版本/日期

2026-10-27

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运动	单位	N-470.11V	N-470.11VY	N-470.12V	N-470.21V	N-470.21VY	N-470.22V
主动轴		X	X	X	X	X	X
X向行程	mm	7	7	7	13	13	13
X向最大速度，空载	mm/min	2.4	2.4	2.4	2.4	2.4	2.4

定位	单位	公差	N-470.11V	N-470.11VY	N-470.12V	N-470.21V	N-470.21VY	N-470.22V
步长	nm	典型值	20	20	20	20	20	20

驱动特性	单位	公差	N-470.11V	N-470.11VY	N-470.12V	N-470.21V	N-470.21VY	N-470.22V
驱动类型			压电惯性驱动器	压电惯性驱动器	压电惯性驱动器	压电惯性驱动器	压电惯性驱动器	压电惯性驱动器
工作电压，峰峰值	V		80	80	80	80	80	80
最大功耗	W		5	5	5	5	5	5
X向正向运动的驱动力	N	最大	22	22	22	22	22	22
连续运行期间的最大工作频率	Hz		200	200	200	200	200	200
短期最大工作频率	Hz		2000	2000	2000	2000	2000	2000

机械特性	单位	公差	N-470.11V	N-470.11VY	N-470.12V	N-470.21V	N-470.21VY	N-470.22V
X向刚性	N/µm	±10%	15	15	15	15	15	15
Y向允许推力	N	最大	1	1	1	1	1	1
X向保持力，被动	N	最小	100	100	100	100	100	100
总质量	g		80	80	80	85	85	85
材料			丝杆：不锈钢。外壳：不锈钢。	丝杆：不锈钢。外壳：不锈钢。	丝杆：不锈钢。外壳：不锈钢。	丝杆：不锈钢。外壳：不锈钢。	丝杆：不锈钢。外壳：不锈钢。	丝杆：不锈钢。外壳：不锈钢。
机械接口			M10×1安装螺纹	M10×1安装螺纹	9.5mm夹紧螺栓	M10×1安装螺纹	M10×1安装螺纹	9.5mm夹紧螺栓

其他	单位	N-470.11V	N-470.11VY	N-470.12V	N-470.21V	N-470.21VY	N-470.22V
工作温度范围	°C	10至40	10至40	10至40	10至40	10至40	10至40
真空等级	hPa	10^-6	10^-6	10^-6	10^-6	10^-6	10^-6
接头		裸绞线	裸绞线	裸绞线	裸绞线	裸绞线	裸绞线
电缆长度	m	1	1	1	1	1	1
推荐控制器/驱动器		E-872.401	E-872.401	E-872.401	E-872.401	E-872.401	E-872.401

X向最大速度（空载）：不适合连续运行（请参见用户手册）。

电缆长度/接头：促动器自带1m连接电缆，电缆末端为多股绞线；另配2m独立连接线，采用多股绞线转接3芯LEMO接头。

可按需提供定制版本。

PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明，所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。 “typ.”表示该项参数的统计平均值，并不代表每个交付产品都保证达到该数值。在产品交付前的最后检验中，我们只检测选定的属性，而不是全部属性。请注意，产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。

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产品注解

版本/日期

2020-05-20

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2026-09-30

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