P-518 • P-528 压电陶瓷Z向偏摆位移台

大通光孔径，高动态性能

三轴Z向偏摆位移台/单轴Z向位移台
Z向行程/偏摆角：闭环最高200µm/2mrad（开环最高240µm/2.4mrad）
并联运动，响应更快，多轴精度更高
零间隙高精度柔性铰链导向系统
PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命
通光孔径：66mm×66mm
采用电容传感器，线性度更高

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P-518，P-528 Z向偏摆位移台，尺寸单位为mm 请注意，在图中使用逗号代表小数点。

P-518，P-528 Z向位移台，尺寸单位为mm 请注意，在图中使用逗号代表小数点。

应用领域

计量
干涉测量
光子学/集成光学
光刻
纳米定位
扫描显微镜
样品对准
微加工

PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命

PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。 PICMA促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘促动器的十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

带电容传感器，实现亚纳米级分辨率

电容传感器以亚纳米级分辨率进行测量，且无接触。它们可带来良好的运动线性度、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

零间隙的柔性铰链导向机构带来高导向精度

柔性铰链导向机构无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。其刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。其可在较宽的温度范围内工作。

自动配置和快速部件更换

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的D-sub连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

采用并行位置测量，实现纳米级高跟踪精度

所有自由度均以同一固定参考基准进行测量轴间的非预期串扰可实时主动补偿（主动导向；取决于系统带宽）。即使在动态操作下，也能保持纳米级高跟踪精度。

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数据表

版本/日期

2026-03-16

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运动	P-518.TCD	P-518.ZCD	P-518.ZCL	P-528.TCD	P-528.ZCD	P-528.ZCL	公差
主动轴	Z ǀ θX ǀ θY	Z	Z	Z ǀ θX ǀ θY	Z	Z
Z向的行程	100 µm	100 µm	100 µm	200 µm	200 µm	200 µm
Z向的开环行程	140 µm	140 µm	140 µm	240 µm	240 µm	240 µm	±20 %
θX向的旋转范围	1 mrad	—	—	2 mrad	—	—
θY向的旋转范围	1 mrad	—	—	2 mrad	—	—
θX向的开环旋转范围	1.4 mrad	—	—	2.4 mrad	—	—	±20 %
θY向的开环旋转范围	1.4 mrad	—	—	2.4 mrad	—	—	±20 %
Z向的线性误差	0.03 %	0.03 %	0.03 %	0.03 %	0.03 %	0.03 %	typ.
θX向的线性误差	0.15 %	—	—	0.15 %	—	—	typ.
θY向的线性误差	0.15 %	—	—	0.15 %	—	—	typ.
角度误差E_AZ	± 25 µrad	± 25 µrad	± 25 µrad	± 50 µrad	± 50 µrad	± 50 µrad	max.
角度误差E_BZ	± 25 µrad	± 25 µrad	± 25 µrad	± 50 µrad	± 50 µrad	± 50 µrad	max.
角度误差E_CZ	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	max.
定位	P-518.TCD	P-518.ZCD	P-518.ZCL	P-528.TCD	P-528.ZCD	P-528.ZCL	公差
Z向的双向重复精度	5 nm	5 nm	5 nm	10 nm	10 nm	10 nm	typ.
θX向的双向重复精度	0.05 µrad	—	—	0.1 µrad	—	—	typ.
θY向的双向重复精度	0.05 µrad	—	—	0.1 µrad	—	—	typ.
Z向的开环分辨率	0.4 nm	0.2 nm	0.2 nm	0.6 nm	0.6 nm	0.6 nm	typ.
θX向的开环分辨率	0.04 µrad	—	—	0.06 µrad	—	—	typ.
θY向的开环分辨率	0.04 µrad	—	—	0.06 µrad	—	—	typ.
集成传感器	电容式，间接位置测量	电容式，直接位置测量	电容式，直接位置测量	电容式，间接位置测量	电容式，直接位置测量	电容式，直接位置测量
Z向的系统分辨率	0.8 nm	0.8 nm	0.8 nm	1 nm	1 nm	1 nm
θX向的系统分辨率	0.05 µrad	—	—	0.1 µrad	—	—
θY向的系统分辨率	0.05 µrad	—	—	0.1 µrad	—	—
驱动性能	P-518.TCD	P-518.ZCD	P-518.ZCL	P-528.TCD	P-528.ZCD	P-528.ZCL	公差
驱动类型	PICMA	PICMA	PICMA	PICMA	PICMA	PICMA
Z向的电容	2.1 µF	8.4 µF	8.4 µF	3.7 µF	14.8 µF	14.8 µF	±20 %
机械性能	P-518.TCD	P-518.ZCD	P-518.ZCL	P-528.TCD	P-528.ZCD	P-528.ZCL	公差
Z向的刚性	2.7 N/µm	2.7 N/µm	2.7 N/µm	1.5 N/µm	1.5 N/µm	1.5 N/µm	±20 %
Z向的谐振频率，空载	500 Hz	500 Hz	500 Hz	350 Hz	350 Hz	350 Hz	±20 %
在500g负载下Z向的谐振频率	350 Hz	350 Hz	350 Hz	210 Hz	210 Hz	210 Hz	±20 %
在2500g负载下Z向的谐振频率	200 Hz	200 Hz	200 Hz	130 Hz	130 Hz	130 Hz	±20 %
θX向的谐振频率，空载	530 Hz	—	—	390 Hz	—	—	±20 %
在500g负载下θX向的谐振频率	370 Hz	—	—	250 Hz	—	—	±20 %
在2500g负载下θX向的谐振频率	190 Hz	—	—	115 Hz	—	—	±20 %
θY向的谐振频率，空载	530 Hz	—	—	390 Hz	—	—	±20 %
在500g负载下θY向的谐振频率	370 Hz	—	—	250 Hz	—	—	±20 %
在2500g负载下θY向的谐振频率	190 Hz	—	—	115 Hz	—	—	±20 %
Z向的允许推力	50 N	50 N	50 N	50 N	50 N	50 N	max.
Z向的允许拉力	40 N	40 N	40 N	40 N	40 N	40 N	max.
导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨
总质量	1400 g	1400 g	1400 g	1420 g	1420 g	1420 g
材料	铝	铝	铝	铝	铝	铝
其他	P-518.TCD	P-518.ZCD	P-518.ZCL	P-528.TCD	P-528.ZCD	P-528.ZCL	公差
工作温度范围	-20至80 °C	-20至80 °C	-20至80 °C	-20至80 °C	-20至80 °C	-20至80 °C
接头	D-sub 25W3（公头）	D-sub 7W2（公头）	LEMO LVPZT	D-sub 25W3（公头）	D-sub 7W2（公头）	LEMO LVPZT
电缆长度	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m
推荐控制器/驱动器	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-713、E-727、E-754	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-713、E-727、E-754	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-713、E-727、E-754	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-713、E-727、E-754	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-713、E-727、E-754	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-713、E-727、E-754

Z向允许推/拉力：水平安装时（置于支撑面上，非悬挂安装）。

电容：按通道给出（引脚分配见用户手册）。

因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。

PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明，所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识是指属性的统计平均值，并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中，我们只检测选定的属性，而不是全部属性。请注意，产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。

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产品注解

版本/日期

2021-04-19

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版本/日期

2026-03-16

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