超声波驱动的小型偏摆镜

紧凑设计,实现高精度双轴光束偏转

高精度激光束偏转在诸多应用中起到决定性作用。 光通信、量子技术等领域既需要较大的角度范围,也在不断探索减小反射镜系统尺寸的方法。 小型偏摆镜系统能够同时满足这两项需求: 其超声波驱动器可实现大行程,同时占用空间小。 此创新驱动概念可在两个自由度上实现静音运动。 枢轴点位于镜面中心,使得偏摆运动准确、可重复,且无平移偏移。 因此,该技术以较小的占地面积实现了良好的定位质量,而在此之前,如此小的占地面积只能以大幅缩减行程为代价。

紧凑设计,实现大行程

超声波驱动器是新型小型偏摆镜的核心部件。 与传统的电磁或压电陶瓷解决方案相比,这种压电驱动技术能够在尺寸和重量大幅减小的情况下,实现大行程与大偏摆角。 

自锁功能与高机械刚性

基于压电陶瓷的超声波驱动器具有高动态性能与固有的自锁能力。 无需持续供电即可将所需的偏摆角牢牢固定在位,这对节能型和移动系统而言是一大优势。 系统机械刚性高,可实现快速、准确的定位,并且坚固耐用。

Physik Instrumente - Mathias Winter

这种超声波驱动概念使我们能够以紧凑的自锁式设计,实现大偏摆角与高精度,这是传统反射镜技术难以做到的。

压电驱动器与系统技术主管Mathias Winter

超声波偏摆镜: 今日科技成就,明日应用潜能

双轴小型偏摆镜适合优先考虑光束偏转与对准的光学精密应用。 典型用例包括高精度激光束偏转以及紧凑光学装置中的双自由度光束调节。 不同于优先抑制高频振荡的传统快速偏摆镜(FSM),这些应用侧重于以较低功耗实现准确、稳定的定位,且操作时是静音的。

该设计支持比例调整和定制,以适配更大的反射镜、更大的偏摆角,或按需集成至特定光学模块。 鉴于这些特性,该技术有望为紧凑、高精度光束偏转解决方案树立新标准。

我们的小型超声波偏摆镜可根据您的光学系统进行扩展和定制。 欢迎联系我们的工程师,沟通您的具体要求。

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