用于非接触式非球面计量的六足位移台

用于非接触式非球面计量的六足位移台

非球面或非球面透镜是一种其表面由多项式方程定义的光学元件。非球面围绕光轴旋转对称、但其曲率半径随着距中心的距离而变化。与传统透镜相比,非球面透镜具有更高的性能,可降低所用元件的尺寸、质量和数量-这些是实现小型化的重要特性。医疗器械、望远镜和相机制造商均采用非球面来改进其产品。正如俗语所说、“有一利必有一弊”、就非球面而言、此类透镜的生产和计量往往需要比传统透镜更具复杂性和更富创新性的技术。

一种称为“倾斜波面干涉测量(TWI)”的新型非接触式计量方法利用六足位移台并联运动6轴运动系统的多轴灵活性和精度来定位校准球。

The Measuring and Referencing Process

这种由计量专家Mahr实现的新方法已然将速度和灵活性融合到一个流程中。这部新机器可以直接在生产线上用高横向分辨率测量表面形状。测量不确定度小于50纳米。