- 产品 - Physik Instrumente (PI) SE & Co. KG
PI高速XYZ纳米定位器： 出众精度，99.97%线性度，提升工业与科研效率
凭借其出众性能，PIMars系统为精度关键型应用提供显著的附加价值。 这些系统实现了99.97%的线性度和2 nm的重复精度，行程高达300 µm，步进和稳定时间缩短至10 ms以内。 优良的平面度（Z向运动直线度和平整度达±30 nm）使其在复杂装置中仍能保持出众精度。
效率与工艺可靠性
工业应用与复杂科研环境需要长期稳定性和工艺可靠性，以充分减少停机时间并降低维护成本。 PIMars系统采用压电驱动与并行位置测量技术，可在高速运行下保持纳米级运动精度。 速度与精度的结合显著提升了生产力，并适用于关键应用。 这种运动技术不受振动、冲击或温度变化影响，始终保持无磨损、刚性与鲁棒性。 零间隙柔性导向机构也在此发挥关键作用。
科研与工业领域的广范围应用场景
PI高精度XYZ纳米定位系统支持多学科应用领域。 显微成像与生命科学领域：在特高分辨率和共聚焦显微镜、原子力显微镜(AFM)及活细胞成像中实现特高精度。 光子学与光学领域：解决光纤对准、光学对准、干涉测量及精密光学调整等难题。 此外，通光孔径设计为光束对准任务及各类光子学、显微应用提供额外灵活性。 半导体与计量领域：XYZ纳米定位系统用于晶圆检测、光刻、掩模对准和缺陷检测等场景。 在纳米技术领域，PI系统也为纳米结构的精密操纵与组装提供重要技术支持。
有关更多信息，请参见： P-561 • P-562 • P-563 PIMars纳米定位平台
Physik Instrumente (PI)简介
PI总部位于德国卡尔斯鲁厄，在工业自动化、光子学、半导体、显微镜及生命科学领域等细分市场中，是高精度定位技术和压电应用的市场和技术领导者。 五十多年来，PI的1900多名专家与全球客户密切合作，不断地在技术上寻求可行的突破。 各种驱动技术、内部开发的传感器技术、电子和控制技术为此提供了基础。 PI产品组合范围宽广，从组件到子系统，再到定制的完整解决方案。 公司的已批及待批专利共计超过560项，由此彰显了公司在精密定位和压电技术领域的出众能力。 PI在全球范围内运营，在欧洲、北美和亚洲拥有9个生产基地以及16个销售与服务子公司。