六足位移台有助于提高非球面透镜分析的精度和速度

非球面透镜在光轴周围具有旋转对称的光学器件,其曲率半径随距中心的距离呈径向变化。这使光学系统能够以更少的元件获得高质量的图像,同时节省成本并减轻重量。然而,测试非球面形状的精度意味着这类透镜的质量对于制造商来说是一个相当大的挑战:这需要以纳米级精度测量形状的最微小偏差,同时缩短测量和设置时间。

因此,计量公司Mahr开发了一种新型仪器,可直接在生产线上对不同的非球面进行精密、快速、灵活的测量,而不需要CGH、经典缝合或触觉接触。与需要几分钟测量时间的现有系统相比,此倾斜波阵面干涉仪仅需20到30秒即可测量整个表面。在评估前一个测试对象时,即可测量下一个测试对象。干涉仪的设计允许以高横向分辨率测量单个表面形状并测量50纳米以下的不确定度。

与其他测量设备类似,干涉仪需要进行参考和校准。为此,应将根据高精度和已知几何规格制造的球体移至测量体积中的不同位置。由于校准球的横向位置误差会影响校正算法,因此必须在空间中精确定位校准球,并且其位置在测量期间必须保持稳定。此校准过程应涵盖整个测量体积,因此应在多个不同的位置进行校准。

为了满足对干涉仪中定位任务的高要求,PI支持带有六轴并联运动六足位移台的Mahr。它们用于在多个自由度上准确定位校准球和测试对象,因此能够改进形状精度的光学分析。

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