通过柔性铰链接头实现优秀的导向精度

集成导向、运动放大器和预载

  • 在纳米定位技术中,柔性铰链导向已被证实适用于高达几毫米的定位任务。柔性接头的运动基于固体的弹性变形。这避免了静态、滚动或滑动摩擦。

特点

其优点是高刚性、负载容量和耐磨性。柔性铰链无需维护,可使用非磁性材料制造,不需要润滑剂或消耗品,因此可在真空环境下工作。

作为杠杆的柔性铰链

压电陶瓷促动器的行程也可通过集成杠杆机构增加。促动器被机械地集成在柔性接头内,行程可扩展至2 mm。由于简单的杠杆结构失去了相当数量的指导精度和刚度,然而,设计需要更复杂的几何形状。

亚纳米精度

柔性铰链允许具有超高路径精度的运动。为了补偿高速或横向偏移,PI已经开发出了特殊的多连杆柔性导向。这些导向系统应用于大多数PI纳米级定位系统,在亚纳米或微弧度范围内允许平面度和实现度。

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Positioning system based on piezoelectric actuators with a travel range of up to 250 µm and a repeatability of around 1 nm.

线性压电柔性铰链平台

压电柔性铰链倾斜镜

压电柔性铰链倾斜镜

XY压电柔性铰链平台

XY压电柔性铰链平台

XYZ压电柔性铰链扫描仪

XYZ压电柔性铰链扫描仪

最高精度的3轴纳米级定位扫描仪

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样本

Technology: Piezo Actuators with Guiding and Preload

版本/日期
TEC72 2017-10
pdf - 371 KB
English
样本

Excellent Guiding Accuracy through Flexures

版本/日期
TEC64 2017-10
pdf - 424 KB
English