固件
FMPA
平面度
柔性铰链导向
 

安装在控制器中的软件。

“Fast Multichannel Photonic Alignment（快速多通道光子对准）”的首字母缩写。

请参见 >> 串扰。 

固体的运动基于固体的弹性变形，从而避免了静态、滚动或滑动摩擦。诸如柔性铰链或导向系统的固体元件的特征在于其高刚度和高负载能力，并且几乎对冲击或振动不敏感。它们无磨损，免维护，真空兼容，可在很大的温度范围内工作并且无需润滑。