晶圆检验和计量
高度动态且精确的运动系统用于晶圆定位
高效的晶圆检验和计量对于确保稳定、高性能的半导体制造过程至关重要。 半导体制造涉及多达800个复杂的生产步骤，因此需要在每个关键阶段进行精确的检验和计量，以保证高质量和产量。
PI的先进运动和定位解决方案处于支持关键应用的前沿，如叠加计量、薄膜计量、边缘位置误差(EPE)计量和自动光学检测(AOI)。 通过将晶圆扫描和高速测试能力与动态定位及超精确的Z轴聚焦调整相结合，PI实现了先进的过程控制，帮助制造商尽早发现缺陷。 这项技术设计为具有多种配置，以满足特定的应用需求，确保在不同半导体制造过程中具有灵活性和适应性。 通过尖端的运动控制和复杂的算法，这些解决方案减少了产量损失并降低了生产成本。
XY轴 - 精密扫描与步进和稳定运动
- 花岗岩底板，提供高刚性，增强平面度和直线度
- 无铁芯直接驱动直线电机，提供无齿槽高扫描速度及快速步进和稳定运动
- 高分辨率光栅尺可实现快速启动、高可靠性和高安全性
- 集成电缆管理可减少运动阻力并延长使用寿命
- 可选花岗岩平面扫描仪，配备空气轴承和偏转角控制，可24/7全天候高占空比运行，并具有较小的径向跳动误差与纳米级直线度和平面度
>> 直接驱动直线电机平台
>> 空气轴承平面扫描仪
θZ Z偏摆轴 - 晶圆定位
- 多轴混合压电电机技术，用于补偿晶圆错位和高带宽动态焦点跟踪
- 无需额外冷却或平衡的无能耗位置锁定
- 在检查过程中对晶圆稳定定位，位置稳定性小于10nm
- 移动和稳定时间小于10ms
- 集成直流电机用于提升晶圆性能，双向重复性小于1µm
>> 高动态且精密的压电晶圆定位解决方案
灵活轻松的自动化控制
- EtherCAT®控制器，支持开放网络连接
- 先进算法提供快速步进和稳定、高就位稳定性以及出色的恒定扫描速度
- 先进的ACS控制功能，可选配额外算法（轨迹优化、图像识别、“首次故障定位”、运动误差、输入整形和EtherCAT协议）
- 结合了支持双向通信的ACS和压电陶瓷控制器，可实现实时运动控制
- 控制器具有自动聚焦功能，可实现动态聚焦调整
- 前瞻功能可调整速度以保持精度
>> 运动控制器
θZ轴 - 晶圆或基板的精细旋转分度和对准
- 高精度且可重复的360°旋转，无空回
- 磁性直接驱动器可实现高速度和加速度
- 直接驱动、无槽、无刷力矩电机可提供低齿槽转矩并实现平稳的速度和低误差运动
- 超精密空气轴承由内部开发和制造
- 性能更上一层楼，进一步优化异步性能规格
>> 直接驱动力矩电机技术
Z轴 - 精密晶圆对准
- 低矮外形、高负载、结构紧凑的优异设计
- 直驱音圈技术可实现零齿槽效应、纳米级步长的平滑运动以及快速响应
- 高分辨率光栅尺可实现运动平台的纳米级定位
- 高精度防蠕动交叉滚柱轴承
- 气动平衡防止电机发热和碰撞
- 经济实惠，交付快捷
>> 直接驱动电机技术
XY轴 - 精密步进和稳定运动
- 基轴上配有高动态耦合无铁芯直线电机，可实现强大、快速和精密的运动
- 双光栅尺系统确保电机和偏转角对准，同时提高分辨率和精度
- 低矮外形的多轴承刚性平台，可减少阿贝偏移并提高平面度和直线度
- 设计可实现高度的灵活性和定制性
- 优化的集成电缆管理可减少运动阻力并延长使用寿命
- 花岗岩底座可确保运动系统的较高性能
- 选装主动式隔离减振
>> 直接驱动直线电机平台
灵活轻松的自动化控制
- EtherCAT®控制器，支持开放网络连接
- 先进算法提供快速步进和稳定、高就位稳定性以及出色的恒定扫描速度
>> ServoBoost™ - 控制器具有自动聚焦功能，可实现动态聚焦调整
- 前瞻功能可调整速度以保持精度
>> 运动控制器
规格
| 运动 | 定制的X轴 | 定制的Y轴 | V-Z03改进版 | Theta | 单位 | 公差 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 主动轴 | X | Y | Z | T | ||
| 行程 | 365 | 355 | 5 | 无限 | mm | |
| 最大加速度 | 15 | 15 | 3 | 41.8rad/s² | m/s² | 空载 |
| 最大速度 | 1000 | 1000 | 20 | 41.8rad/s | mm/s | 空载 |
| 双向重复性 | ±0.4 | ±0.4 | ±0.25 | ±1arcsec | µm | 典型值 |
| 精度（已校准） | ±1 | ±1 | ±0.5 | ±2arcsec | µm | 典型值 |
| 直线度 | ±2.5 | ±2.5 | ±1 | ±0.1 | µm | |
| 平面度 | ±2.5 | ±2.5 | ±1 | ±0.1 | µm | |
| 俯仰角 | ±5 | ±10 | ±10 | ±0.5 | arcsecs | |
| 偏转角 | ±10 | ±10 | ±10 | ±0.5 | arcsecs | |
| 最小位移 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.5arcsec | µm | |
| 抖动 | ±10 | ±10 | ±10 | ±0.2arcsec | nm | |
| 总体平面度 | 15 | µm | ||||
| 负载容量 | 5.0 | kg | ||||
| 电气性能 | |
|---|---|
| 运动控制器型号及版本 | SP+EC-08080864NBN5NDNN（1件） |
| 驱动器模块产品编号 |
NPMpm2D20N0YBBANNB（1件） NPMpm2B20N0YBBANNB（1件） UDMsa-1B101-TNNNN（2件） |
| 数字I/O | 否 |
| 安全扭矩切断(STO) | 是 |
| 控制集成解决方案 | 框架内的电气元件 |
| 配件 | 不适用 |
