V-Z02 高负载精密Z向位移台

精密级Z向位移台

非常准确和可靠的定位。用于在高负载时进行平稳进给的防蠕动交叉滚柱导轨。

直线电机直接驱动器

三相磁性直接驱动器在动力传动系统中未使用机械零件，其可直接将驱动力传输至运动平台，且无摩擦。驱动器可实现高速度和高加速度。无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务，因为其不会与永久性磁铁发生不良作用。这样即使在超低的速度下也能保持平稳的运行，同时，在高速状态下也不会产生振动。

增量式直线光栅尺用于高精度位置测量

非接触式可选编码器以极高的精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械间隙或弹性形变不会对测量造成影响。

平衡配重系统

集成气动平衡器，作用力高达100N。

应用领域

适用于工业和科研领域，例如：半导体检测。精密自动化领域的高动态应用。