纳米定位压电柔性铰链平台

PI的压电陶瓷柔性铰链平台将亚纳米级分辨率和导向精度以最小串扰相结合。这使得其特别适用于计量学中的应用、超高分辨率显微镜、干涉测量或半导体芯片生产的检测系统。压电陶瓷柔性铰链平台可用于毫秒稳定精密定位和动态扫描,频率高达几百赫兹,多达六自由度。

拥有专利的传感器设计、无摩擦柔性铰链导向和长使用寿命的PICMA®压电陶瓷促动器独特地组合在一起,带来了优异、坚实的机械部件。压电陶瓷运动控制器支持定位和扫描性能优化,可通过数字或模拟接口和轻松编程实现简易集成。

Piezo Flexure Tilting Mirrors

压电柔性铰链倾斜镜

XY Piezo Flexure Stages

XY压电柔性铰链平台

Positioning system based on piezoelectric actuators with a travel range of up to 250 µm and a repeatability of around 1 nm.

线性压电柔性铰链平台

PIFOC® Objective & PInano® Sample Scanners for Microscopy

用于显微镜学的PIFOC®物镜扫描仪和PInano®样本扫描仪

Multi-Axis Piezo Flexure Stages

多轴压电柔性铰链平台

XYZ Piezo Flexure Scanners

XYZ压电柔性铰链扫描仪